專利名稱:連續(xù)性處理的板式水冷電極組等離子體表面處理裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型揭示了一種連續(xù)性處理的板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，其結(jié)構(gòu)特征為它具有平行相隔一段距離而設(shè)的兩塊立板和垂直設(shè)于兩塊立板之間且相互平行成組的若干塊電極板，該立板固接有夾具板和對(duì)應(yīng)電極板數(shù)量的若干組絕緣板，電極板兩側(cè)邊緣插接定位于絕緣板，該立板在相對(duì)電極板縱向的上、下兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)輥且相對(duì)電極板組垂向的兩側(cè)分別安裝放料輥和收料輥，放料輥、導(dǎo)輥、收料輥構(gòu)成卷材脈沖形通過電極板組的支撐路徑，該夾具板設(shè)有對(duì)應(yīng)電極板之間供板材定位的嵌槽。應(yīng)用該表面處理裝置，可實(shí)現(xiàn)處理卷材與板材的自由轉(zhuǎn)換、應(yīng)用范圍廣，而且拓寬了裝置的應(yīng)用靈活性，使用效率高，節(jié)約了資源，降低了生產(chǎn)成本。
【專利說明】連續(xù)性處理的板式水冷電極組等離子體表面處理裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種等離子體表面處理設(shè)備，尤其涉及一種適用對(duì)多種不同類型材料進(jìn)行表面處理的等離子體裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]等離子體表面處理技術(shù)是指利用等離子體中包含大量的電子，離子及自由基等活性粒子，這些活性粒子碰撞到被處理物體的表面，會(huì)發(fā)生相應(yīng)的物理或化學(xué)反應(yīng)，使材料表面的性質(zhì)發(fā)生變化或是賦予新的功能，以達(dá)到其處理目的，滿足實(shí)際應(yīng)用的需要，是制備新材料的重要方法。等離子體表面處理技術(shù)具有節(jié)能環(huán)保的特點(diǎn)，在新材料領(lǐng)域有著廣泛的用途和市場(chǎng)。等離子體表面處理裝置是實(shí)現(xiàn)等離子體表面處理技術(shù)的基本條件和必備基礎(chǔ)。
[0003]然后，現(xiàn)有市售的等離子體處理設(shè)備的發(fā)展相對(duì)較為落后，且均是針對(duì)某種形狀的樣品而制造的單一產(chǎn)品。在對(duì)不同類型樣品進(jìn)行表面等離子體處理的過程中，往往需要廠家備齊面向各種樣品的各種等離子體處理設(shè)備，成本長(zhǎng)期難以得到控制。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]考慮上述現(xiàn)有等離子體表面處理裝置技術(shù)上的不足與需求，本實(shí)用新型旨在提出一種連續(xù)性處理的板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，解決此類設(shè)備通用型的問題。
[0005]本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)上述第一個(gè)目的的技術(shù)解決方案為:連續(xù)性處理的板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，其特征在于:所述裝置具有平行相隔一段距離而設(shè)的兩塊立板和垂直設(shè)于兩塊立板之間且相互平行成組的若干塊電極板，所述立板固接有夾具板和對(duì)應(yīng)電極板數(shù)量的若干組絕緣板，所述電極板兩側(cè)邊緣插接定位于絕緣板，所述立板在相對(duì)電極板縱向的上、下兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)輥且相對(duì)電極板組垂向的兩側(cè)分別安裝放料輥和收料輥，放料輥、導(dǎo)輥、收料輥構(gòu)成卷材脈沖形通過電極板組的支撐路徑，所述夾具板設(shè)有對(duì)應(yīng)電極板之間供板材定位的嵌槽。
[0006]進(jìn)一步地，所述電極板表面平鋪設(shè)有水冷管，水冷管兩端安裝絕緣套且穿出立板外聯(lián)水冷器。
[0007]進(jìn)一步地，所述電極板為三塊成組，相對(duì)電極板縱向的上側(cè)設(shè)有四根導(dǎo)輥、下側(cè)設(shè)有兩根導(dǎo)輥。
[0008]進(jìn)一步地，所述電機(jī)板為四塊成組，相對(duì)電極板縱向的上側(cè)設(shè)有四根導(dǎo)輥、下側(cè)設(shè)有三根導(dǎo)輥。
[0009]進(jìn)一步地，所述導(dǎo)棍與嵌槽在電極板縱向上相錯(cuò)位。
[0010]進(jìn)一步地，所述導(dǎo)輥與嵌槽在電極板縱向上對(duì)齊，且嵌槽一側(cè)設(shè)有用于板材滑入的導(dǎo)向坡面。
[0011]進(jìn)一步地，所述電極板具有若干種幅寬規(guī)格，任一幅寬規(guī)格的電極板替換式插接定位于絕緣板。
[0012]本實(shí)用新型等離子體表面處理裝置的研制與應(yīng)用，較之于現(xiàn)有技術(shù)具有以下多方面突出的優(yōu)點(diǎn):一者處理結(jié)構(gòu)功能集成程度高，可實(shí)現(xiàn)處理卷材與板材的自由轉(zhuǎn)換；應(yīng)用范圍廣，而且使用效率高，節(jié)約了資源，降低了生產(chǎn)成本；二者該裝置采用水冷附件，工作環(huán)境溫度較低，避免了一些材質(zhì)不耐高溫不宜處理的難題；再者該裝置升級(jí)空間較大，基于該裝置的基本結(jié)構(gòu)，在真空腔增設(shè)一進(jìn)氣口，即可對(duì)材料進(jìn)行活化或接枝處理；又或是增大電極板的幅寬便可處理不同寬度的卷材和板材，拓寬了裝置的應(yīng)用靈活性。

【附圖說明】

[0013]圖1是本實(shí)用新型等離子體表面處理裝置實(shí)施例一的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2是本實(shí)用新型等離子體表面處理裝置實(shí)施例一的徑向截面示意圖。
[0015]圖3是本實(shí)用新型等離子體表面處理裝置實(shí)施例二的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖4是本實(shí)用新型等離子體表面處理裝置實(shí)施例三的徑向截面示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0017]本實(shí)用新型為一種連續(xù)性處理的板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，旨在解決可分別處理卷材、板材的難題，實(shí)現(xiàn)處理卷材與板材的自由轉(zhuǎn)換，提高設(shè)備的利用率，降低了企業(yè)生產(chǎn)成本；且該裝置采用水冷結(jié)構(gòu)，設(shè)備工作完成后無需空冷即可繼續(xù)操作，大大提高了設(shè)備的工作效率；并且可以為因溫度過高而不適宜處理的某些材質(zhì)提供了可行性，拓寬了處理材質(zhì)的多樣性。
[0018]下面從本實(shí)用新型的核心結(jié)構(gòu)特征來了解本創(chuàng)作的創(chuàng)新設(shè)計(jì)，如圖1至圖4所示，該板式水冷電極組等離子體表面處理裝置具有平行相隔一段距離而設(shè)的兩塊立板I和若干塊電極板，該些電極板垂直設(shè)于兩塊立板I之間且相互平行成組。該立板I固接有夾具板11和對(duì)應(yīng)電極板數(shù)量的若干組絕緣板12，電極板兩側(cè)邊緣插接定位于絕緣板之中(類似于內(nèi)存裝接結(jié)構(gòu))，該立板I在相對(duì)電極板縱向的上、下兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)輥且相對(duì)電極板組垂向的兩側(cè)分別安裝放料輥和收料輥，而且該放料輥4、導(dǎo)輥、收料輥5構(gòu)成卷材脈沖形通過電極板組的支撐路徑，而夾具板11設(shè)有對(duì)應(yīng)電極板之間供板材定位的嵌槽111。以此賦予裝置同時(shí)適用于卷材和板材可選處理的多用性。
[0019]本實(shí)用新型上述方案可進(jìn)一步優(yōu)化，其做法是在上述電極板表面平鋪設(shè)有水冷管6，水冷管6兩端安裝絕緣套7且穿出立板I外聯(lián)水冷器(未圖示)。以此可實(shí)現(xiàn)對(duì)該等離子體表面處理裝置作業(yè)時(shí)和作業(yè)切換過程中電極板快速降溫。
[0020]以下通過兩個(gè)具體的實(shí)施例作業(yè)演示，具象闡述本實(shí)用新型表面處理裝置的結(jié)構(gòu)特征和功能實(shí)現(xiàn)。
[0021]實(shí)施例一，如圖1和圖2所示此處的表面處理裝置適用于對(duì)卷材(柔性的)進(jìn)行等離子體表面處理。從圖示可見:該裝置處理對(duì)象為卷材81。并且該裝置具有平行相隔一段距離而設(shè)的兩塊立板I和三塊電極板21、22、23，該些電極板垂直設(shè)于兩塊立板I之間且相互平行成組。該立板I固接有夾具板11和對(duì)應(yīng)電極板數(shù)量的三組絕緣板12，電極板兩側(cè)邊緣分別插接定位于對(duì)應(yīng)的絕緣板之中(類似于內(nèi)存裝接結(jié)構(gòu))，該立板I在相對(duì)電極板縱向的上側(cè)設(shè)有四根導(dǎo)輥3a、3b、3c、3d，下側(cè)設(shè)有兩根導(dǎo)輥3e、3f且相對(duì)電極板組垂向的兩側(cè)分別安裝放料輥4和收料輥5，而且該放料輥4、導(dǎo)輥3a?3f、收料輥5構(gòu)成卷材81脈沖形通過電極板組的支撐路徑，而夾具板11設(shè)有對(duì)應(yīng)電極板之間供板材定位的嵌槽111 (本實(shí)施例中該夾具板閑置)。
[0022]這里，導(dǎo)輥3b與導(dǎo)輥3f上下對(duì)齊，導(dǎo)輥3c與導(dǎo)輥3e上下對(duì)齊，而所謂脈沖形通過電極板組指的是卷材81的一端從放料輥4上放出，經(jīng)導(dǎo)輥3a、3b繞接后直下從電極板21、22之間穿過，而后經(jīng)導(dǎo)輥3f、3e繞接后直上從電極板22、23之間穿過，再經(jīng)導(dǎo)輥3c、3d繞接后再直下從電極板23右側(cè)穿過繞接到收料輥5之上。由此使得卷材81能夠在傳送路徑上多次通過兩電極板之間，經(jīng)外在電源激發(fā)出等離子完成對(duì)板材的表面處理過程。
[0023]當(dāng)然，除圖示的實(shí)施例外，上述電機(jī)板還可以是四塊成組，相對(duì)電極板縱向的上側(cè)設(shè)有四根導(dǎo)輥、下側(cè)設(shè)有三根導(dǎo)輥。如此則卷材可多穿過一次電極板之間，進(jìn)行更深度的等離子體表面處理作業(yè)。
[0024]實(shí)施例二，如圖3和圖4所示此處的表面處理裝置適用于對(duì)板材(偏剛性的)進(jìn)行等離子體表面處理。從圖示可見:該裝置處理對(duì)象為板材82，其一體裝設(shè)有板材支架821。并且該裝置具有平行相隔一段距離而設(shè)的兩塊立板I和三塊電極板21、22、23，該些電極板垂直設(shè)于兩塊立板I之間且相互平行成組。該立板I固接有夾具板11和對(duì)應(yīng)電極板數(shù)量的三組絕緣板12，電極板兩側(cè)邊緣分別插接定位于對(duì)應(yīng)的絕緣板之中(類似于內(nèi)存裝接結(jié)構(gòu))，該立板I在相對(duì)電極板縱向的上側(cè)設(shè)有四根導(dǎo)棍3a、3b、3c、3d，下側(cè)設(shè)有兩根導(dǎo)棍3e、3f且相對(duì)電極板組垂向的兩側(cè)分別安裝放料輥4和收料輥5，而且該放料輥4、導(dǎo)輥3a?3f、收料輥5構(gòu)成卷材81脈沖形通過電極板組的支撐路徑(本實(shí)施例中，上述導(dǎo)輥和收、放料輥閑置)。而夾具板11設(shè)有對(duì)應(yīng)電極板之間供板材定位的嵌槽111，經(jīng)外在電源激發(fā)出等離子完成對(duì)板材的表面處理過程。
[0025]特別地，該實(shí)施例中，部分導(dǎo)輥與嵌槽在電極板縱向上對(duì)齊，如導(dǎo)輥3b對(duì)應(yīng)一個(gè)嵌槽111，導(dǎo)輥3c對(duì)應(yīng)另一個(gè)嵌槽111，且嵌槽的一側(cè)設(shè)有用于板材滑入的導(dǎo)向坡面112。因?yàn)橥ǔ?dǎo)輥是設(shè)于兩塊電極板之間的等距中心面內(nèi)的，故將嵌槽對(duì)齊導(dǎo)輥設(shè)置可提高等離子體表面處理效果，而采用該導(dǎo)向坡面，可使得板材82裝接時(shí)有效避開導(dǎo)輥而自上而下順利放入，定位于嵌槽之中。
[0026]當(dāng)然，除圖示的實(shí)施例外，上述導(dǎo)輥與嵌槽在電極板縱向上也可以稍微相錯(cuò)位，只需滿足不干涉板材插入并定位于嵌槽之中且在兩塊電極板之間的距離差在合理范圍內(nèi)即可。
[0027]需要進(jìn)一步指出的是，除上述兩個(gè)實(shí)施例及其擴(kuò)展實(shí)施例外，上述電極板還可以具有若干種幅寬規(guī)格，任一幅寬規(guī)格的電極板替換式插接定位于絕緣板。由此，上述兩塊立板為間距可調(diào)型的定位支撐結(jié)構(gòu)，以滿足不同寬幅要求的板材或卷材的表面處理需求。
[0028]綜上可見，本實(shí)用新型的特點(diǎn)在于:A、處理結(jié)構(gòu)功能集成程度高，可實(shí)現(xiàn)處理卷材與板材的自由轉(zhuǎn)換；應(yīng)用范圍廣，而且使用效率高，節(jié)約了資源，降低了生產(chǎn)成本。B、該裝置采用水冷設(shè)計(jì)，工作環(huán)境溫度較低，避免了一些材質(zhì)不耐高溫、不宜處理的難題。C、該裝置升級(jí)空間較大，基于該裝置的基本結(jié)構(gòu)，在真空腔增設(shè)一進(jìn)氣口，即可對(duì)材料進(jìn)行活化或接枝處理；又或是增大電極板的幅寬便可處理不同寬度的卷材和板材，拓寬了裝置的應(yīng)用領(lǐng)域。D、該裝置利用等離子體對(duì)材料進(jìn)行表面處理，節(jié)能又環(huán)保。
[0029]以上結(jié)合附圖的實(shí)施例描述，旨在便于理解本實(shí)用新型的創(chuàng)新實(shí)質(zhì)，但并非以此來限制本實(shí)用新型多樣性的實(shí)施方式及要求的權(quán)利要求保護(hù)范圍。但凡理解本實(shí)用新型，并根據(jù)上述實(shí)施例進(jìn)行的等效結(jié)構(gòu)變化或構(gòu)件替換，能夠?qū)崿F(xiàn)相同目的和效果的設(shè)計(jì)，均應(yīng)視為對(duì)本專利申請(qǐng)保護(hù)內(nèi)容的侵犯。
【權(quán)利要求】
1.板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，其特征在于:所述裝置具有平行相隔一段距離而設(shè)的兩塊立板和垂直設(shè)于兩塊立板之間且相互平行成組的若干塊電極板，所述立板固接有夾具板和對(duì)應(yīng)電極板數(shù)量的若干組絕緣板，所述電極板兩側(cè)邊緣插接定位于絕緣板，所述立板在相對(duì)電極板縱向的上、下兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)輥且相對(duì)電極板組垂向的兩側(cè)分別安裝放料輥和收料輥，放料輥、導(dǎo)輥、收料輥構(gòu)成卷材脈沖形通過電極板組的支撐路徑，所述夾具板設(shè)有對(duì)應(yīng)電極板之間供板材定位的嵌槽。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，其特征在于:所述電極板表面平鋪設(shè)有水冷管，水冷管兩端安裝絕緣套且穿出立板外聯(lián)水冷器。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，其特征在于:所述電極板為三塊成組，相對(duì)電極板縱向的上側(cè)設(shè)有四根導(dǎo)輥、下側(cè)設(shè)有兩根導(dǎo)輥。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，其特征在于:所述電極板為四塊成組，相對(duì)電極板縱向的上側(cè)設(shè)有四根導(dǎo)輥、下側(cè)設(shè)有三根導(dǎo)輥。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，其特征在于:所述導(dǎo)輥與嵌槽在電極板縱向上相錯(cuò)位。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，其特征在于:所述導(dǎo)輥與嵌槽在電極板縱向上對(duì)齊，且嵌槽一側(cè)設(shè)有用于板材滑入的導(dǎo)向坡面。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，其特征在于:所述電極板具有若干種幅寬規(guī)格，任一幅寬規(guī)格的電極板替換式插接定位于絕緣板。
【文檔編號(hào)】H01J37-32GK204271037SQ201420434987
【發(fā)明者】溫貽芳, 蔡高遠(yuǎn), 薛迎春, 丁琳, 王紅衛(wèi), 周紅英, 徐黎 [申請(qǐng)人]蘇州工業(yè)職業(yè)技術(shù)學(xué)院