專利名稱：積層型電子組件的制造方法及制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種積層電容器等的積層型電子組件的制造方法及制造裝置，特別涉及一種在綠色薄膜印刷出規(guī)定圖案的導(dǎo)體的工序。
積層電容器等的積層型電子組件是按以下所制造的。此例乃對(duì)于積層型電子組件的一例的積層電容器做說明。首先，用刮漿刀法等由陶瓷泥狀研磨劑制作出矩形的陶瓷綠色薄膜。其次，對(duì)該陶瓷綠色薄膜，用網(wǎng)版印刷法等，以規(guī)定圖案來印刷導(dǎo)電性焊膏。其次，將涂布有導(dǎo)電性焊膏的陶瓷綠色薄膜以及不涂布的陶瓷綠色薄膜，按規(guī)定順序來積層、壓固，制作出多層薄膜。其次，將該多層薄膜配置單位零件的形狀加以切斷，制成出未燒成芯片。其次，在該未燒成芯片的端部涂上外部電極用的導(dǎo)電性焊膏，將此加以燒成而得到積層電容器。再者，未燒成芯片和外部電極用的導(dǎo)電性焊膏不是同時(shí)燒成的，只先燒成未燒成芯片后，涂上外部電極用的導(dǎo)電性焊膏，其后就可燒接導(dǎo)電性焊膏。
可是，此種制造過程，是先對(duì)于陶瓷綠色薄膜的導(dǎo)電性焊膏的印刷工序中，事先準(zhǔn)備堆多數(shù)層的作為印刷對(duì)象的矩形陶瓷綠色薄膜的情形。在此種情形下，通常是對(duì)于印刷裝置用手工供給陶瓷綠色薄膜的關(guān)系，故制造效率非常差。
另一方面，為了對(duì)應(yīng)于近年小型化、高密度化的趨勢(shì)，故相對(duì)于陶瓷綠色薄膜的導(dǎo)電性焊膏的印刷精度是很重要的。通常的積層型電子組件的制造，是采用對(duì)于一種積層型電子組件，利用多個(gè)種圖案印刷出具有導(dǎo)體的陶瓷綠色薄膜。在是，其課題即是在在用多個(gè)種圖案，以高精度進(jìn)行導(dǎo)體的印刷工序。
本發(fā)明系為有鑒在上述情形的發(fā)明，其目的在在提供一種有效提供積層型電子組件的制造效率的積層型電子組件的制造方法及裝置。
為達(dá)成前述目的，本發(fā)明第1發(fā)明系提案一種對(duì)于包括有在規(guī)定形狀的綠色薄膜表面印刷出規(guī)定圖案的導(dǎo)體的印刷工序、和使得被印刷在綠色薄膜的導(dǎo)體干燥的干燥工序的積層型電子組件的制造方法中，其特征為具備有對(duì)于將綠色薄膜吸附保持在吸附面的保持盤來供給綠色薄膜的工序、和將保持有綠色薄膜的保持盤搬送到印刷位置的搬送工序、和對(duì)著被保持在被搬送的保持盤的綠色薄膜表面，印刷出規(guī)定圖案的導(dǎo)體的前述印刷工序、和將印刷有導(dǎo)體的綠色薄膜，從保持盤取出，且將取出的綠色薄膜供給到搬送裝置的工序、和使得經(jīng)過搬送裝置在搬送途中被印刷在綠色薄膜的導(dǎo)體干燥的前述干燥工序、和將綠色薄膜從搬送裝置取出，且將取出的綠色薄膜搬送到規(guī)定的保管場(chǎng)所的工序。
若按本發(fā)明，規(guī)定形狀的綠色薄膜會(huì)先被搬送到保持盤，并被保持在該保持盤。而該保持盤會(huì)被搬送到導(dǎo)體的印刷位置，并在此印刷出規(guī)定圖案的導(dǎo)體。的后，綠色薄膜會(huì)從保持盤被取出，一邊經(jīng)過搬送裝置搬送一邊干燥被印刷的導(dǎo)體。最后將綠色薄膜搬送到規(guī)定的保管場(chǎng)所。按此對(duì)規(guī)定形狀的綠色薄膜，依序進(jìn)行導(dǎo)體的印刷及干燥、收納，即可提高積層型電子組件的制造效率。
又，本發(fā)明第2發(fā)明系提案一種在本發(fā)明第1發(fā)明所述的積層型電子組件的制造方法中，分別將在前述印刷工序所用的印刷裝置，以多個(gè)配置在各不同印刷位置的場(chǎng)所，且對(duì)于連續(xù)所供給的綠色薄膜，根據(jù)所定的規(guī)定在每次供給綠色薄膜時(shí)，從前述多個(gè)個(gè)印刷裝置選擇一個(gè)印刷裝置，并將選擇保持有綠色薄膜的保持盤搬送到印刷裝置方面的印刷位置。
若按本發(fā)明，因具備有多個(gè)個(gè)印刷裝置，故可在各印刷裝置，印刷出不同圖案的導(dǎo)體。藉此，對(duì)所供給的綠色薄膜而言，就可依任意的順序得到具有各種印刷圖案的綠色薄膜。
更在本發(fā)明第3發(fā)明提案一種對(duì)于本發(fā)明第1發(fā)明所述的積層型電子組件的制造方法，其中，各別將在前述印刷工序所用的印刷裝置，以多個(gè)配置在不同印刷位置的場(chǎng)所的同時(shí)，還對(duì)應(yīng)于各印刷裝置以多個(gè)配置在保持盤，并對(duì)于連續(xù)被供給的綠色薄膜，根據(jù)所定的規(guī)定在每次供給綠色薄膜時(shí)，從前述多個(gè)個(gè)印刷裝置選擇一個(gè)印刷裝置，將綠色薄膜供給到對(duì)應(yīng)于被選擇的印刷裝置的保持盤，并搬送到選擇保持有綠色薄膜的保持盤的印刷裝置方面的印刷位置為其特征。
若按本發(fā)明，即與本發(fā)明第2發(fā)明所述的發(fā)明相同，對(duì)于被供給的綠色薄膜而言，可依任意的順序得到具有各種印刷圖案的綠色薄膜。又，具備有多個(gè)個(gè)保持盤，例如在以一個(gè)印刷裝置實(shí)施印刷處理的期間，對(duì)應(yīng)于其它的印刷裝置對(duì)保持盤實(shí)施綠色薄膜供給等，就可達(dá)到印刷處理和搬送處理的并列化。藉此，積層型電子組件的制造效率會(huì)更為提升。
更在本發(fā)明第4發(fā)明提案一種對(duì)于本發(fā)明第2發(fā)明或第3發(fā)明的任一項(xiàng)所述的積層型電子組件的制造方法，其中，對(duì)應(yīng)于多個(gè)的印刷裝置來配置多個(gè)個(gè)綠色薄膜的保管場(chǎng)所，且向前述綠色薄膜的保管場(chǎng)所的搬送則是對(duì)于對(duì)應(yīng)于所搬送的綠色薄膜進(jìn)行印刷的印刷裝置的保管場(chǎng)所來進(jìn)行的。
若按本發(fā)明，用不同的印刷裝置被印刷的綠色薄膜就會(huì)分別被搬送到不同的保管場(chǎng)所。因而不必在后工序中選別綠色薄膜，積層型電子組件的制造效率會(huì)更為提升。
更在本發(fā)明第5發(fā)明提案一種對(duì)于本發(fā)明第1發(fā)明至第4發(fā)明的任一項(xiàng)所述的積層型電子組件的制造方法，其中，在前述印刷工序中，根據(jù)所定的規(guī)定，在每次印刷時(shí)，將相對(duì)于綠色薄膜的印刷位置，在與印刷面平行的方向呈相對(duì)錯(cuò)開后進(jìn)行印刷。
若按本發(fā)明，因?yàn)橛∷⒚媸窍鄬?duì)性平行移動(dòng)的被印刷，所以印刷裝置不必改變所印的圖案，即可在綠色薄膜形成多個(gè)種導(dǎo)體圖案。又，用同一印刷裝置，對(duì)綠色薄膜形成多個(gè)種導(dǎo)體圖案，與采用不同印刷裝置印刷的場(chǎng)合比較，其印刷精度誤差少。藉此，即可提升積層型電子組件的制造效率以及達(dá)到高精度化。
更在本發(fā)明第6發(fā)明提案一種對(duì)于本發(fā)明第5發(fā)明所述的積層型電子組件的制造方法，其中，將綠色薄膜的保管場(chǎng)所對(duì)應(yīng)于前述印刷工序方面的印刷位置而配置多個(gè)個(gè)，而向前述綠色薄膜保管場(chǎng)所的搬送則是對(duì)于對(duì)應(yīng)于綠色薄膜進(jìn)行印刷的印刷位置的保管場(chǎng)所而進(jìn)行的。
若按本發(fā)明，即與本發(fā)明第4發(fā)明相同，在不同的印刷位置被印刷的綠色薄膜會(huì)分別被搬送到不同的保管場(chǎng)所。因而，不必在后工序中選別綠色薄膜，積層型電子組件的制造效率就更為提升。
更在本發(fā)明第7發(fā)明提案一種對(duì)于具備有在規(guī)定形狀的綠色薄膜表面印刷出規(guī)定圖案的導(dǎo)體的印刷裝置、和使得被印刷在綠色薄膜的導(dǎo)體干燥的干燥裝置的積層型電子組件的制造裝置中，其具備有將綠色薄膜吸附保持在吸附面的保持盤、和將綠色薄膜供給到保持盤的綠色薄膜供給裝置、和將保持有綠色薄膜的保持盤從綠色薄膜的供給位置經(jīng)過前述印刷裝置搬送到印刷位置的保持盤搬送裝置、和在綠色薄膜的搬送途中，將被印刷在綠色薄膜的導(dǎo)體，用前述干燥裝置干燥的綠色薄膜搬送裝置、和使得印刷有導(dǎo)體的綠色薄膜從保持盤移動(dòng)到綠色薄膜搬送裝置的綠色薄膜移動(dòng)裝置、和從薄膜搬送裝置取出被干燥處理的綠色薄膜，且將取出的綠色薄膜搬送到規(guī)定的保管場(chǎng)所的綠色薄膜取出裝置。
更在本發(fā)明第8發(fā)明提案一種對(duì)于本發(fā)明第7發(fā)明所述的積層型電子組件的制造裝置，其中，分別將前述印刷裝置以多個(gè)配置在不同印刷位置的場(chǎng)所的同時(shí)，前述保持盤搬送裝置系對(duì)于利用前述綠色薄膜供給裝置所連續(xù)供給的綠色薄膜，根據(jù)所定的規(guī)定在每次供給綠色薄膜時(shí)，從前述多個(gè)的印刷裝置選擇一個(gè)印刷裝置，且搬送到選擇保持有綠色薄膜的保持盤的印刷裝置方面印刷位置。
更在本發(fā)明第9發(fā)明提案一種對(duì)于本發(fā)明第7發(fā)明所述的積層型電子組件的制造裝置中，分別將前述印刷裝置以多個(gè)配置在不同印刷位置的場(chǎng)所的同時(shí)，并對(duì)應(yīng)于各印刷裝置以多個(gè)配置在前述保持盤，前述保持盤搬送裝置系對(duì)于利用前述綠色薄膜供給裝置所連續(xù)供給的綠色薄膜，根據(jù)所定的規(guī)定在每次供給綠色薄膜時(shí)，從前述多個(gè)的印刷裝置選擇一個(gè)印刷裝置，且將綠色薄膜供給到對(duì)應(yīng)于被選擇的印刷裝置的保持盤，并搬送到選擇保持有綠色薄膜的保持盤的印刷裝置方面的印刷位置。
更在本發(fā)明第10發(fā)明提案一種對(duì)于本發(fā)明第8發(fā)明或第9發(fā)明的任一項(xiàng)所述的積層型電子組件的制造裝置中，將綠色薄膜的保管場(chǎng)所對(duì)應(yīng)于多個(gè)個(gè)印刷裝置而配置多個(gè)個(gè)，且前述綠色薄膜取出裝置系欲將該綠色薄膜搬送到對(duì)應(yīng)于綠色薄膜進(jìn)行印刷的印刷裝置的保管場(chǎng)所。
更在本發(fā)明第11發(fā)明提案一種對(duì)于本發(fā)明第7發(fā)明至第10發(fā)明的任一項(xiàng)所述的積層型電子組件的制造裝置中，前述印刷裝置系具備有將相對(duì)于綠色薄膜的印刷位置，在與印刷面平行的方向相對(duì)式錯(cuò)開的移動(dòng)裝置，根據(jù)所定的規(guī)定在每次印刷利用前述移動(dòng)裝置錯(cuò)開印刷位置后加以印刷。
更在本發(fā)明第12發(fā)明提案一種對(duì)于本發(fā)明第11發(fā)明所述的積層型電子零件的制造裝置中，將綠色薄膜的保管場(chǎng)所對(duì)應(yīng)于前述印刷裝置的印刷位置而配置多個(gè)個(gè)，前述綠色薄膜取出裝置是將該綠色薄膜搬送到對(duì)應(yīng)于綠色薄膜進(jìn)行印刷的印刷位置的保管場(chǎng)所。
若按該些發(fā)明的積層型電子組件的制造裝置，即可確實(shí)的實(shí)施前述本發(fā)明第1發(fā)明至第6發(fā)明所述的發(fā)明。亦即，有關(guān)本發(fā)明的積層型電子組件的制造裝置乃為一種制造效率高的裝置。


圖1表示對(duì)于有關(guān)實(shí)施形態(tài)1的綠色薄膜的導(dǎo)體進(jìn)行印刷、干燥工序的裝置的概略俯視圖。
圖2表示圖1的AA線端視圖。
圖3表示保持盤的外觀立體圖。
圖4表示薄膜搬送機(jī)的側(cè)視圖。
圖5表示積層電容器的部分剖斷立體圖。
圖6表示欲說明積層體的積層構(gòu)造的分解立體圖。
圖7表示在網(wǎng)版印刷出所用的第1網(wǎng)版的俯視圖。
圖8表示在網(wǎng)版印刷出所用的第2網(wǎng)版的俯視圖。
圖9表示圖1及圖2所示的裝置的動(dòng)作說明圖。
圖10表示圖1及圖2所示的裝置的動(dòng)作說明圖。
圖11表示圖1及圖2所示的裝置的動(dòng)作說明圖。
圖12表示圖1及圖2所示的裝置的動(dòng)作說明圖。
圖13表示圖1及圖2所示的裝置的動(dòng)作說明圖。
圖14表示圖1及圖2所示的裝置的動(dòng)作說明圖。
圖15表示對(duì)于有關(guān)實(shí)施形態(tài)2的綠色薄膜的導(dǎo)體進(jìn)行印刷、干燥工序的裝置的概略俯視圖。
圖16表示欲說明對(duì)綠色薄膜進(jìn)行導(dǎo)電性焊膏的印刷圖案的圖。
標(biāo)號(hào)說明1供給臺(tái)2第1收容臺(tái)3第2收容臺(tái)10綠色薄膜20第1保持盤30第2保持盤40第1印刷裝置50第2印刷裝置60搬送皮帶70干燥裝置80第1薄膜搬送機(jī)90第2薄膜搬送機(jī)101移開置換位置301第1網(wǎng)版311第2網(wǎng)版400保持盤410印刷裝置實(shí)施形態(tài)1對(duì)于本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)1參照?qǐng)D1及圖2做一說明。圖1系對(duì)于綠色薄膜的導(dǎo)體進(jìn)行印刷、干燥工序的裝置的概略俯視圖，圖2系為圖1的AA線的端視圖，圖3系為保持盤的外觀立體圖，圖4系為薄膜搬送機(jī)的側(cè)視圖。
該裝置是用來對(duì)于事先堆棧而收容在供給臺(tái)1的矩形陶瓷綠色薄膜10，實(shí)施印刷、干燥導(dǎo)電性焊膏的工序。綠色薄膜10是為了搬送時(shí)保護(hù)等等而被形成在同形的PET薄膜(圖標(biāo)省略)上。再者，對(duì)應(yīng)于需要也可以不要PET薄膜。又，因?yàn)榫G色薄膜10可經(jīng)過例如定厚器漿葉法等與習(xí)知同樣的手法來制造，故此例中省略其說明。
在供給臺(tái)1的近傍，乃如圖1及圖2所示，配置有將綠色薄膜10吸附保持在上面的2個(gè)第1保持盤20及第2保持盤30。該第1保持盤20，乃如圖3所示，具備有，具有被形成在上面的吸附面22的保持部21、和用來支持保持部21的同時(shí)使保持部21在X方向、Y方向、θ方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部23、和基臺(tái)24。藉此，即可經(jīng)過驅(qū)動(dòng)部23的驅(qū)動(dòng)一邊平行的維持吸附面22一邊來移動(dòng)保持部21。
第1保持盤20的吸附面22例如是由陶瓷燒結(jié)體，更具體是由具有氧化鋯燒結(jié)金屬體等的通氣性的多孔質(zhì)構(gòu)件制成的。在保持部21的側(cè)面連接一與氣閥(圖示省略)連接的吸氣管25。藉由驅(qū)動(dòng)該氣閥，對(duì)形成在保持部21的內(nèi)側(cè)的氣室進(jìn)行負(fù)壓作用，使綠色薄膜10被吸附保持在吸附面22。
第1保持盤20的基臺(tái)24系具備有，被設(shè)在下部四個(gè)角的導(dǎo)軌26、和被設(shè)在導(dǎo)軌26的間的螺帽27。在導(dǎo)軌26系插通有左右一對(duì)并且互相平行鋪設(shè)的軌道31。又，在螺帽27系螺合有與軌道31平行鋪設(shè)的螺栓32。在螺栓32的一端系連接有調(diào)節(jié)器等的驅(qū)動(dòng)裝置33。若經(jīng)該驅(qū)動(dòng)裝置33使螺栓32旋轉(zhuǎn)，第1保持盤20就會(huì)沿著軌道31而移動(dòng)。
第2保持盤30系具有與第1保持盤20同樣的構(gòu)成。又，第2保持盤30系與第1保持盤20隔著規(guī)定距離，而與軌道31及螺栓32連接在同軸上。藉此，經(jīng)過前述驅(qū)動(dòng)裝置33的驅(qū)動(dòng)，第1保持盤20和第2保持盤30就會(huì)一邊維持規(guī)定間隔一邊沿著軌道31而移動(dòng)。
如圖1所示，當(dāng)?shù)?保持盤30位在供給臺(tái)1的旁邊(圖中的移開置換位置101)時(shí)，在第1保持盤20的上方設(shè)有第1印刷裝置40。另一方面，當(dāng)?shù)?保持盤20位在供給臺(tái)1的旁邊(圖中的移開置換位置101)時(shí)，在第2保持盤30的上方設(shè)有第2印刷裝置50。各印刷裝置40、50系具備有網(wǎng)版、滑動(dòng)臺(tái)、導(dǎo)電性焊膏供給部等。經(jīng)過印刷裝置40，50在保持盤20，30上的綠色薄膜10的表面，涂布、印刷出規(guī)定圖案的導(dǎo)電性焊膏。
在供給臺(tái)1和移開置換位置101的延長(zhǎng)線上，設(shè)置供搬送綠色薄膜10的搬送皮帶60。搬送皮帶60系具備有皮帶61和驅(qū)動(dòng)滾輪62，將驅(qū)動(dòng)滾輪62連續(xù)或間歇性的驅(qū)動(dòng)，并將載置在皮帶61上的綠色薄膜10搬送到規(guī)定方向。本實(shí)施形態(tài)乃如圖所示，是在與軌道31垂直的方向進(jìn)行搬送。
搬送皮帶60的中央附近設(shè)置有，將被印刷在綠色薄膜10的導(dǎo)電性焊膏，在經(jīng)過搬送皮帶60搬送的途中使的干燥的干燥裝置70。干燥裝置70是藉由裝的加熱器等的加熱裝置(圖示省略)來加熱在皮帶61上移動(dòng)的綠色薄膜。
如圖2所示，在供給臺(tái)至搬送皮帶60始端的整個(gè)領(lǐng)域的上方，設(shè)置第1薄膜搬送機(jī)80。第1薄膜搬送機(jī)80系吸附保持住堆棧并收容在供給臺(tái)1的綠色薄膜10，且將薄膜供給到停止在移開置換位置101的第1保持盤20或者第2保持盤30。又，第1薄膜搬送機(jī)80是當(dāng)?shù)?保持盤20或者第2保持盤30位在移開置換位置101的場(chǎng)合下，來吸附保持住被保持在各保持盤20或者30的印刷后的綠色薄膜10，且將薄膜搬送到搬送皮帶60的搬送始點(diǎn)。
如圖4所示，第1薄膜搬送機(jī)80系具備有，滑塊81、和介在支柱82a被設(shè)在滑塊81的下面的基板82、和在下面形成多數(shù)個(gè)吸附孔83a的吸附頭83、和為了使吸附頭83在上下移動(dòng)的被設(shè)在基板82的汽缸84、和供引導(dǎo)吸附頭83上下移動(dòng)而設(shè)的2根導(dǎo)桿85。在滑塊81的上面設(shè)有可滑動(dòng)的嵌合在桿86的導(dǎo)部81a。汽缸84的桿軸84a系被連結(jié)在吸附頭83。桿軸86的端部系設(shè)有欲令薄膜搬送機(jī)80在桿軸86的長(zhǎng)邊方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)87。
在搬送皮帶60的終端位置的近傍，設(shè)置有位在綠色薄膜10的保管場(chǎng)所的第1收容臺(tái)2和第2收容臺(tái)3。此例中，搬送皮帶60的終端位置、第1收容臺(tái)2、第2收容臺(tái)3系略并排在一直線上。第1收容臺(tái)2系堆棧并收納著在第1印刷裝置40被印刷的綠色薄膜10。又，第2收容臺(tái)3系堆棧并收納著在第2印刷裝置50被印刷的綠色薄膜10。
如圖2所示，在搬送皮帶60的終端位置至第2收容臺(tái)3的領(lǐng)域的上方設(shè)有第2薄膜搬送機(jī)90。第2薄膜搬送機(jī)90系吸附保持著經(jīng)過搬送皮帶60被搬送的綠色薄膜10，并將該薄膜搬送到第1收容臺(tái)2或第2收容臺(tái)3。就第2薄膜搬送機(jī)90的構(gòu)成而言，參照?qǐng)D4，是與前述的第1薄膜搬送機(jī)90相同，可將綠色薄膜保持在吸附頭93，又，第2薄膜搬送機(jī)90系經(jīng)過驅(qū)動(dòng)馬達(dá)97的驅(qū)動(dòng)而沿著桿軸96做移動(dòng)。
此例中，對(duì)于本實(shí)施形態(tài)方面的制造對(duì)象的積層電子零件，參照?qǐng)D5及圖6做一說明。本實(shí)施形態(tài)中，是以制造出作為積層電子組件的一例的積層電容器。圖5系積層電容器的部分剖斷的立體圖，圖6系欲說明積層體方面的積層構(gòu)造的分解立體圖。
如圖5所示，積層電容器200系具備有，埋設(shè)有以略直方體形狀的誘電體陶瓷所制成的部電極202的積層體201、和被形成在該積層體201的兩端部的外部電極203。積層體201乃如圖6所示，為一種在表面積層多數(shù)層形成矩形內(nèi)部電極202的電介體陶瓷層202的構(gòu)造。此例中，內(nèi)部電極202乃在多個(gè)個(gè)誘電體陶瓷層202方面，交互露出在一方或者另一方的端部，并與被形成在該端部的外部電極203連接。
此種積層電容器200乃如前所述，例如采用網(wǎng)版印刷裝置等，是將形成在部電極202的導(dǎo)電性焊膏，對(duì)于一枚綠色薄膜進(jìn)行一次多份的印刷。此例中，網(wǎng)版印刷裝置是用2種網(wǎng)版。此乃如圖6所示，欲在相鄰的誘電體陶瓷層202用不同的圖案形成內(nèi)部電極202所必要的。
對(duì)于此2種網(wǎng)版，參照?qǐng)D7及圖8做一說明。圖7系為網(wǎng)版印刷出所用的第1網(wǎng)版的俯視圖，圖8系為網(wǎng)版印刷出所用的第2網(wǎng)版的俯視圖。再者，圖7及圖8系為省略網(wǎng)版的一半所做的記載。又，在圖中，虛線是表示在印刷、積層后切斷綠色薄膜的積層體的位置，為了表示藉由虛線所區(qū)隔的區(qū)域，故紙面上下方向所示為行方向，紙面左右方向所示為列方向。
第1網(wǎng)版301乃如第7圖所示，具備有網(wǎng)版本體302和支持網(wǎng)版的框體303。在網(wǎng)版本體302形成規(guī)定個(gè)數(shù)(圖為12行×6列＝72個(gè))的積層電容器用的圖案304。此例中，1行的圖案304，就相鄰的行而言，是僅列方向互相錯(cuò)開1列而配置的。亦即，第奇數(shù)行的圖案304分別為同一圖案，第偶數(shù)行的圖案304也分別為同一圖案。
第2網(wǎng)版311乃如圖8所示，與第1網(wǎng)版301相同，具備有網(wǎng)版本體312和支持網(wǎng)版的框體313。在網(wǎng)版本體312形成規(guī)定個(gè)數(shù)(圖為12行×6列＝72個(gè))的積層電容器用的圖案314。此例中，第2網(wǎng)版311系在第1網(wǎng)版301的圖案，以1行或1列形成在行方向或者列方向(圖為行方向)。亦即，第2網(wǎng)版311的第奇數(shù)行的圖案314系與第1網(wǎng)版301的第偶數(shù)行的圖案304相同，第2網(wǎng)版311的第偶數(shù)行的圖案314系與第1網(wǎng)版301的第奇數(shù)行的圖案304相同。
此種利用第1網(wǎng)版301來印刷導(dǎo)體的綠色薄膜、和利用第2網(wǎng)版311來印刷導(dǎo)體的綠色薄膜加以交互積層，并切斷該薄膜積層體，藉此即如圖6所示，與外部電極的連接部會(huì)交互形成在積層體的端部。
其次，將有關(guān)本實(shí)施形態(tài)的網(wǎng)版印刷及干燥的工序參照?qǐng)D9至第圖14做一說明。圖9至圖14系為圖1及圖2所示的裝置的動(dòng)作說明圖。
首先，如圖9所示，將使用第1薄膜搬送機(jī)80而堆棧在供給臺(tái)1的綠色薄膜10a，供給到停止在移開置換位置101的第1保持盤20。具體是將第1薄膜搬送機(jī)80移動(dòng)到供給臺(tái)1的上方。并驅(qū)動(dòng)汽缸84，藉此讓吸附頭83下降到吸附面接近在綠色薄膜10a上面的位置或者近傍。并在吸附面產(chǎn)生負(fù)壓作用，而將綠色薄膜10a保持在吸附頭83。其次，吸附頭83上升后，將第1薄膜搬送機(jī)80移動(dòng)到第1保持盤20的上方。接著使吸附頭83下降。其次，解除吸附面的負(fù)壓作用。藉此，綠色薄膜10a就會(huì)被載置在第1保持盤20上。此例中，第1保持盤20會(huì)令吸附面22產(chǎn)生負(fù)壓作用，而確實(shí)的保持綠色薄膜10a。
其次，如圖10所示，使驅(qū)動(dòng)裝置33驅(qū)動(dòng)，而將第1保持盤20，從移開置換位置101移動(dòng)到第1印刷裝置40的印刷位置。此時(shí)，在驅(qū)動(dòng)裝置33所驅(qū)動(dòng)控制的螺栓32，在同軸結(jié)合第1保持盤20和第2保持盤30兩者，第2保持盤30就會(huì)與第1保持盤20一起連動(dòng)，而從第2印刷裝置50的印刷位置移動(dòng)到移開置換位置101。再者，在此過程中，被保持在第2保持盤30的綠色薄膜10b是經(jīng)過第2印刷裝置50完成印刷處理。
其次，如圖11所示，就第1印刷裝置40而言，對(duì)于被保持在第1保持盤20的綠色薄膜10a，用規(guī)定圖案來印刷導(dǎo)電性焊膏。具體而言，是先根據(jù)利用定位用的CCD照相機(jī)41所拍攝的影像情報(bào)，使第1保持盤40的驅(qū)動(dòng)部23驅(qū)動(dòng)，并將保持部21相對(duì)于印刷面做平行移動(dòng)，藉此進(jìn)行綠色薄膜10a的位置調(diào)整。并用前述的第1網(wǎng)版301和滑動(dòng)臺(tái)42，將導(dǎo)電性焊膏涂布、印刷在綠色薄膜10a。
其次，如圖12所示，使驅(qū)動(dòng)裝置33驅(qū)動(dòng)，使第1保持盤20從第1印刷裝置40方面的印刷位置移動(dòng)到移開置換位置101。此時(shí)，在驅(qū)動(dòng)裝置33所驅(qū)動(dòng)控制的螺栓32，在同軸結(jié)合第1保持盤20和第2保持盤30兩者，第2保持盤30就會(huì)與第1保持盤20一起連動(dòng)，并從移開置換位置101移動(dòng)到第2印刷裝置50方面的印刷位置。再者，在此過程中，被保持在第2保持盤30的綠色薄膜10b是種經(jīng)過第1薄膜搬送機(jī)80從供給臺(tái)1被供給的綠色薄膜。對(duì)此第2保持盤30供給綠色薄膜，是在第1印刷裝置40的印刷處理中被實(shí)施的。
其次，如圖13所示，用第1薄膜搬送機(jī)80，將被保持在第1保持盤20的綠色薄膜10a，移開置換到搬送皮帶60。被載置在搬送皮帶60的綠色薄膜10a會(huì)在經(jīng)過該搬送皮帶60的搬送途中，通過干燥裝置70。藉此干燥被印刷在綠色薄膜10a的導(dǎo)電性焊膏。
經(jīng)過以上工序，綠色薄膜10a會(huì)被保持在第1保持盤20，利用第1印刷裝置40實(shí)施印刷處理，并被供給到搬送皮帶60。此例中，在利用第1印刷裝置40的印刷處理時(shí)，第2保持盤30是停止在移開置換位置101。在是，將下一個(gè)綠色薄膜10b用第1薄膜搬送機(jī)80供給到第2保持盤30。而被保持在第2保持盤30的綠色薄膜10b，乃在第2印刷裝置50進(jìn)行印刷處理。在此第2印刷裝置50使用前述的第2網(wǎng)版311。在此印刷處理實(shí)施中，被保持在第1保持盤20的綠色薄膜10a被會(huì)移送到搬送皮帶60，進(jìn)而下一個(gè)綠色薄膜10a會(huì)被供給到第1保持盤20。在第2印刷裝置50中，被印刷處理的綠色薄膜10b，會(huì)接續(xù)被移送到搬送皮帶60的綠色薄膜10a，而被移送到搬送皮帶60。
如此，經(jīng)過第1薄膜搬送機(jī)80被依序供給的綠色薄膜，會(huì)對(duì)于第1保持盤20或第2保持盤30被交互供給。被供給到各保持盤20或30的綠色薄膜10，分別會(huì)在對(duì)應(yīng)于的印刷裝置40或50，而用互不相同的網(wǎng)版301或311來印刷導(dǎo)電性焊膏。經(jīng)過各印刷裝置40或50被印刷的綠色薄膜10a或10b會(huì)交互被供給到搬送皮帶60。
另一方面，經(jīng)過搬送皮帶60被搬送到終端位置的綠色薄膜10a或10b，乃如圖14所示，用第2薄膜搬送機(jī)90交互被搬送到第1收容臺(tái)2或第2收容臺(tái)3。如前所述，在印刷裝置40或50被印刷的綠色薄膜10a或10b會(huì)交互被供給到搬送皮帶60。因而，經(jīng)過第1印刷裝置40被印刷的綠色薄膜10a會(huì)被容納到第1收容臺(tái)2，經(jīng)過第2印刷裝置50被印刷的綠色薄膜10b會(huì)被容納到第2收容臺(tái)3。再者，因?yàn)榻?jīng)過第2薄膜搬送機(jī)90的具體搬送動(dòng)作，是與第1薄膜搬送機(jī)80相同的，故在此省略說明。
如以上詳述，若按本實(shí)施形態(tài)，堆棧在供給臺(tái)1的綠色薄膜10，會(huì)交互被供給到第1保持盤20或第2保持盤30，分別在對(duì)應(yīng)的印刷裝置40或50來實(shí)施印刷處理。并且在各印刷裝置40或50施行印刷處理的綠色薄膜10，會(huì)在經(jīng)過一個(gè)搬送皮帶60的搬送中，利用干燥裝置70被干燥。而且印刷、干燥后的綠色薄膜10會(huì)被收容到對(duì)應(yīng)于對(duì)于該綠色薄膜10進(jìn)行印刷處理的印刷裝置40或50的收容臺(tái)2或3。按此，對(duì)于規(guī)定形狀的綠色薄膜10的導(dǎo)體依序進(jìn)行印刷、干燥、容納處理，就會(huì)提升積層電容器等的積層型電子組件的制造效率。
特別是本實(shí)施形態(tài)，是用分別具有不同圖案的網(wǎng)版的2個(gè)印刷裝置40或50，就能同時(shí)制造出形成有不同導(dǎo)體圖案的綠色薄膜10a或10b。此就積層型電子組件的組成而言，有利在提升均質(zhì)化。又，形成不同導(dǎo)體圖案的綠色薄膜10a或10b，分別會(huì)被收容在不同的收容臺(tái)2或3，不必在后工序進(jìn)行綠色薄膜的選別，制造效率就更為提升。
進(jìn)而，本實(shí)施形態(tài)系對(duì)應(yīng)于各印刷裝置40或50，而分別具備有保持盤20或者30，對(duì)于各保持盤20或30交互的供給綠色薄膜10，經(jīng)過各印刷裝置40或50的印刷處理、和對(duì)于保持盤20或30的綠色薄膜10的供給或取出的處理就可并列同時(shí)進(jìn)行。藉此，制造效率會(huì)更為提升。
再者，本實(shí)施形態(tài)系將綠色薄膜10對(duì)于第1保持盤20或第2保持盤30而交互的供給，但本發(fā)明并不限在此。亦即，可以根據(jù)任意的規(guī)定來決定先供給的保持盤。再者，在此場(chǎng)合下，經(jīng)過第2薄膜搬送機(jī)90的綠色薄膜10的收容工序也可對(duì)應(yīng)于供給時(shí)的規(guī)定。
又，本實(shí)施形態(tài)是分別用2個(gè)保持盤及對(duì)應(yīng)于保持盤的印刷裝置，但本發(fā)明并不限在此。亦即，對(duì)應(yīng)于制造對(duì)象的積層型電子組件，可使用3臺(tái)以上的印刷裝置。
實(shí)施形態(tài)2對(duì)于本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)2參照?qǐng)D15做一說明。圖15系為對(duì)于綠色薄膜的導(dǎo)體進(jìn)行印刷、干燥工序的裝置的概略俯視圖。在圖中，在與實(shí)施形態(tài)1相同的構(gòu)成會(huì)附上同一符號(hào)。
此裝置系種對(duì)于事先堆棧并收容在供給臺(tái)1的矩形陶瓷綠色薄膜10，來實(shí)施印刷、干燥導(dǎo)電性焊膏的工序。在供給臺(tái)1的近傍，如圖15所示，配置有將綠色薄膜10吸附保持在上面的保持盤400。此保持盤400系利用驅(qū)動(dòng)裝置33的驅(qū)動(dòng)使螺栓32旋轉(zhuǎn)，藉此即可沿著軌道31而移動(dòng)。此保持盤400系可移動(dòng)的設(shè)在圖中的移開置換位置101至印刷裝置410的印刷位置。再者，就保持盤400的具體構(gòu)成而言，是與有關(guān)實(shí)施形態(tài)1的第1保持盤20及第2保持盤30相同。
在供給臺(tái)1與移開置換位置101的延長(zhǎng)線上，設(shè)置一用來搬送綠色薄膜10的搬送皮帶60。搬送皮帶60系具備有皮帶和驅(qū)動(dòng)滾輪(圖示均予省略)，使驅(qū)動(dòng)滾輪連續(xù)或間歇性的驅(qū)動(dòng)，并在規(guī)定方向搬送被載置在皮帶上的綠色薄膜10。本實(shí)施形態(tài)乃如圖所示，是在與軌道31垂直的方向進(jìn)行搬送。
在搬送皮帶60的中央附近設(shè)置有使得在搬送途中被印刷在綠色薄膜1 0的導(dǎo)電性焊膏，在經(jīng)過搬送皮帶60的搬送途中被干燥的干燥裝置70。干燥裝置70系利用內(nèi)裝的加熱器等的加熱裝置(圖示省略)，來加熱在皮帶61上移動(dòng)的綠色薄膜。
在供給臺(tái)1至搬送皮帶60的始端的領(lǐng)域的上方設(shè)有第1薄膜搬送機(jī)(圖示省略)。第1薄膜搬送機(jī)是吸附保持堆棧收容在供給臺(tái)1的綠色薄膜10，且將的供給到在移開置換位置101的保持盤400。又，第1薄膜搬送機(jī)80是當(dāng)保持盤400在移開置換位置101的場(chǎng)合下，來吸附保持被保持在該保持盤400的印刷后的綠色薄膜10，且將此搬送到搬送皮帶60的搬送始點(diǎn)。再者，就第1薄膜搬送機(jī)的構(gòu)成而言，是與實(shí)施形態(tài)1相同，故省略其說明。
在搬送皮帶60的終端位置近傍設(shè)置有位在綠色薄膜10的保管場(chǎng)所的第1收容臺(tái)2和第2收容臺(tái)3。此例中，搬送皮帶60的終端位置、第1收容臺(tái)2、第2收容臺(tái)3系并排在略一直線上。第1收容臺(tái)2及第2收容臺(tái)3是用來堆棧收納著在各個(gè)印刷裝置410被印刷的綠色薄膜10。
在搬送皮帶60的終端位置至第2收容臺(tái)3的領(lǐng)域的上方，設(shè)有第2薄膜搬送機(jī)(圖示省略)。第2薄膜搬送機(jī)系吸附保持著利用搬送皮帶60被搬送的綠色薄膜10，且將此搬送到第1收容臺(tái)1或第2收容臺(tái)3。就第2薄膜搬送機(jī)90的構(gòu)成而言，是與實(shí)施形態(tài)1相同，故省略其說明。
其次，參照?qǐng)D16來說明有關(guān)本實(shí)施形態(tài)的網(wǎng)版印刷及干燥的工序。圖16系為欲說明對(duì)綠色薄膜印刷導(dǎo)電性焊膏的印刷圖案的圖。
首先，用第1薄膜搬送機(jī)將綠色薄膜10供給到停止在移開置換位置101的保持盤400。其次，使保持盤400移動(dòng)到印刷裝置410的印刷位置。
其次，用印刷裝置41對(duì)著被保持在保持盤400的綠色薄膜10來實(shí)施導(dǎo)電性焊膏的印刷。此時(shí)，每實(shí)施印刷，就令保持盤400的保持部(圖示省略)相對(duì)于印刷面而在平行的方向移動(dòng)。藉此，被印刷在綠色薄膜10的導(dǎo)電性焊膏的圖案每次印刷就不同。亦即，對(duì)于綠色薄膜10在多個(gè)的位置實(shí)施印刷。本實(shí)施形態(tài)是用前述的第1網(wǎng)版301，在分別形成如圖16(a)及16(b)所示的導(dǎo)電性焊膏11般，對(duì)于依序供給的綠色薄膜10將保持盤400的保持部，在每次印刷時(shí)交互移動(dòng)。圖16(b)系對(duì)于圖16(a)的印刷位置，在紙面上方向，使得只等在一個(gè)單位零件的寬度的距離來移動(dòng)保持盤400，并進(jìn)行印刷。藉此，積層同圖16(a)與16(b)，且沿著同圖的虛線切斷成單位零件形狀，就可構(gòu)成積層不同單位零件的積層體圖案的內(nèi)部電極。
其次，使驅(qū)動(dòng)裝置33驅(qū)動(dòng)，并使保持盤400從印刷裝置410的印刷位置移動(dòng)到移開置換位置101。其次，用第1薄膜搬送機(jī)將被保持在保持盤400的印刷完的綠色薄膜，移開置換到搬送盤60。被載置在搬送盤60的綠色薄膜10會(huì)在搬送途中通過干燥裝置70。藉此，即可干燥被印刷在綠色薄膜10的導(dǎo)電性焊膏。
其次，經(jīng)過搬送皮帶60被搬送到終端位置的綠色薄膜10，會(huì)用第2薄膜搬送機(jī)被交互搬送到第1收容臺(tái)2或第2收容臺(tái)3。
如前所述，在印刷裝置410在兩個(gè)印刷位置被印刷的綠色薄膜10會(huì)被交互供給到搬送皮帶60。因而圖16(a)所示的綠色薄膜10會(huì)被收納在第1收容臺(tái)2，同圖16(b)所示的綠色薄膜10會(huì)被收納在第2收容臺(tái)3。
如以上詳述，若按本實(shí)施形態(tài)，被堆棧在供給臺(tái)1的綠色薄膜10會(huì)被供給到保持盤400，每次在印刷裝置410印刷時(shí)，會(huì)交互改變印刷位置而被印刷。而在印刷裝置410施行印刷處理的綠色薄膜10，會(huì)經(jīng)過搬送皮帶60在搬送中被干燥裝置70干燥。而綠色薄膜10就會(huì)被收容在對(duì)應(yīng)于對(duì)于該綠色薄膜10進(jìn)行印刷處理的印刷位置的收容臺(tái)2或3。因?yàn)榘创藢?duì)于規(guī)定形狀的綠色薄膜10的導(dǎo)體依序進(jìn)行印刷、干燥、收納處理，積層電容器等的積層型電子組件的制造效率就會(huì)提升。
特別是本實(shí)施形態(tài)是對(duì)于依序供給的綠色薄膜用一個(gè)網(wǎng)版來印刷多個(gè)圖案的導(dǎo)電性焊膏，就可減輕因使用不同網(wǎng)版所產(chǎn)生的印刷精度誤差。
藉此可提升積層型電子組件的制造效率及達(dá)到高精度化。又，綠色薄膜會(huì)分別被收容在對(duì)應(yīng)于印刷導(dǎo)電性焊膏圖案的收容臺(tái)2或3，而不必在后工序進(jìn)行綠色薄膜的選別，制造效率就更為提升。
再者，本實(shí)施形態(tài)是在印刷裝置410印刷時(shí)，將保持盤400的保持部在每次印刷時(shí)錯(cuò)開在多個(gè)的位置后進(jìn)行印刷，但本發(fā)明并不限在此。只要是可將印刷裝置和綠色薄膜的印刷面做相對(duì)式移動(dòng)，依然固定保持盤400使印刷裝置410移動(dòng)即可。更在本實(shí)施形態(tài)，在兩個(gè)印刷位置進(jìn)行印刷，藉此即可對(duì)于綠色薄膜10，以圖16(a)、16(b)所示的圖案，來涂布導(dǎo)電性焊膏11，但也可在3個(gè)以上的印刷位置來印刷。
甚至在本實(shí)施形態(tài)中，錯(cuò)開保持盤400的方向是相對(duì)于被形成在綠色薄膜10的導(dǎo)體圖案而采用積層型電子零件的寬度方向，但本發(fā)明并不限在此。也能令綠色薄膜10與積層型電子零件的長(zhǎng)度方向平行的方式呈相對(duì)式的錯(cuò)開。
如以上詳述，若按本發(fā)明對(duì)于規(guī)定形狀的綠色薄膜，依序進(jìn)行導(dǎo)體的印刷及干燥、收納，就可提升積層型電子組件的制造效率。
權(quán)利要求
1.一種積層型電子組件的制造方法，包括在規(guī)定形狀的綠色薄膜表面印刷出規(guī)定圖案的導(dǎo)體的印刷工序、和干燥被印刷在綠色薄膜的導(dǎo)體的干燥工序，其特征在于，對(duì)于將綠色薄膜吸附保持在吸附面的保持盤，供給綠色薄膜的工序，將保持綠色薄膜的保持盤搬送到印刷位置的工序，對(duì)被保持在被搬送的保持盤的綠色薄膜表面，印刷出規(guī)定圖案的導(dǎo)體的所述印刷工序，從保持盤取出印刷有導(dǎo)體的綠色薄膜，并將所取出的綠色薄膜供給到搬送裝置的工序，在由搬送裝置的搬送途中，使得被印刷在綠色薄膜的導(dǎo)體干燥的所述干燥工序，和從搬送裝置取出綠色薄膜，并將所取出的綠色薄膜搬送到規(guī)定的保管場(chǎng)所的工序。
2.如權(quán)利要求1所述的積層型電子組件的制造方法，其特征在于，將在所述印刷工序所用的印刷裝置，分別多個(gè)配置在印刷位置的場(chǎng)所，對(duì)于連續(xù)供給的綠色薄膜，根據(jù)所定的規(guī)定在每次供給綠色薄膜時(shí)，從所述多個(gè)印刷裝置選擇一個(gè)印刷裝置，并搬送到選擇保持有綠色薄膜的保持盤的印刷裝置的印刷位置。
3.如權(quán)利要求1所述的積層型電子組件的制造方法，其特征在于，分別將在所述印刷工序所用的印刷裝置，多個(gè)配置在不同印刷位置的場(chǎng)所，同時(shí)還對(duì)應(yīng)于各印刷裝置多個(gè)配置保持盤，對(duì)連續(xù)供給的綠色薄膜，根據(jù)所定的規(guī)定在供給每個(gè)綠色薄膜時(shí)，從所述多個(gè)印刷裝置選擇一個(gè)印刷裝置，對(duì)應(yīng)于所選擇的印刷裝置，對(duì)保持盤供給綠色薄膜，并搬送到選擇保持綠色薄膜的保持盤的印刷裝置的印刷位置。
4.如權(quán)利要求2或3所述的積層型電子組件的制造方法，其特征在于，對(duì)應(yīng)于多個(gè)的印刷裝置，配置多個(gè)綠色薄膜的保管場(chǎng)所，向所述綠色薄膜的保管場(chǎng)所的搬送，則是對(duì)于對(duì)應(yīng)于所搬送的綠色薄膜進(jìn)行印刷的印刷裝置的保管場(chǎng)所來進(jìn)行。
5.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的積層型電子組件的制造方法，其特征在于，在所述印刷工序中，根據(jù)所定的規(guī)定在每次印刷時(shí)，相對(duì)于綠色薄膜的印刷位置，在與印刷面平行的方向相對(duì)錯(cuò)開后進(jìn)行印刷。
6.如權(quán)利要求5所述的積層型電子組件的制造方法，其特征在于，對(duì)應(yīng)于所述印刷工序的印刷位置，多個(gè)配置綠色薄膜的保管場(chǎng)所，對(duì)應(yīng)于進(jìn)行搬送的綠色薄膜的印刷的印刷位置的保管場(chǎng)所，進(jìn)行向所述綠色薄膜的保管場(chǎng)所的搬送。
7.一種積層型電子組件的制造裝置，包括在規(guī)定形狀的綠色薄膜表面上印刷規(guī)定圖案的導(dǎo)體的印刷裝置、和使得被印刷在綠色薄膜的導(dǎo)體干燥的干燥裝置，其特征在于，將綠色薄膜吸附保持在吸附面的保持盤，將綠色薄膜供給到保持盤的綠色薄膜供給裝置，將保持有綠色薄膜的保持盤，從綠色薄膜的供給位置，經(jīng)過所述印刷裝置搬送到印刷位置的保持盤搬送裝置，在綠色薄膜的搬送途中，將被印刷到綠色薄膜的導(dǎo)體，用所述干燥裝置干燥的綠色薄膜搬送裝置，使得印刷有導(dǎo)體的綠色薄膜，從保持盤移動(dòng)到綠色薄膜搬送裝置的綠色薄膜移動(dòng)裝置，和從薄膜搬送裝置取出被干燥處理的綠色薄膜，并將取出的綠色薄膜搬送到規(guī)定的保管場(chǎng)所的綠色薄膜取出裝置。
8.如權(quán)利要求7所述的積層型電子組件的制造裝置，其特征在于，分別將所述印刷裝置，多個(gè)配置在不同印刷位置的場(chǎng)所，同時(shí)所述保持盤搬送裝置，對(duì)于在經(jīng)過所述綠色薄膜供給裝置連續(xù)供給的綠色薄膜，根據(jù)所定的規(guī)定將每個(gè)供給的綠色薄膜，從所述多個(gè)印刷裝置選擇一個(gè)印刷裝置，搬送到選擇保持有綠色薄膜的保持盤的印刷裝置的印刷位置。
9.如權(quán)利要求7所述的積層型電子組件的制造裝置，其特征在于，分別將所述印刷裝置多個(gè)配置在不同印刷位置的場(chǎng)所，同時(shí)對(duì)應(yīng)于各印刷裝置多個(gè)配置所述保持盤，所述保持盤搬送裝置，對(duì)于所述綠色薄膜供給裝置連續(xù)供給的綠色薄膜，根據(jù)所定的規(guī)定在每次供給綠色薄膜時(shí)，從所述多個(gè)印刷裝置選擇一個(gè)印刷裝置，將綠色薄膜供給到對(duì)應(yīng)于被選擇的印刷裝置的保持盤，并搬送到選擇保持有綠色薄膜的保持盤的印刷裝置的印刷位置。
10.如權(quán)利要求8或9所述的積層型電子組件的制造裝置，其特征在于，對(duì)應(yīng)于多個(gè)印刷裝置，多個(gè)配置綠色薄膜的保管場(chǎng)所，所述綠色薄膜取出裝置，將綠色薄膜搬送到對(duì)應(yīng)于綠色薄膜進(jìn)行印刷的印刷裝置的保管場(chǎng)所。
11.如權(quán)利要求7至10任一項(xiàng)所述的積層型電子組件的制造裝置，其特征在于，所述印刷裝置，包括使對(duì)于綠色薄膜的印刷位置在與印刷面平行的方向相對(duì)錯(cuò)開的移動(dòng)裝置，并根據(jù)所定的規(guī)定對(duì)每次印刷利用所述移動(dòng)裝置，錯(cuò)開印刷位置后進(jìn)行印刷。
12.如權(quán)利要求11所述的積層型電子組件的制造裝置，其特征在于，對(duì)應(yīng)于所述印刷裝置的印刷位置，多個(gè)配置綠色薄膜的保管場(chǎng)所，所述綠色薄膜取出裝置，將綠色薄膜搬送到對(duì)應(yīng)于綠色薄膜進(jìn)行印刷的印刷位置的保管場(chǎng)所。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種積層型電子組件的制造方法及制造裝置,從供給臺(tái)1交互的對(duì)第1保持盤20或者第2保持盤30供給綠色薄膜10,被保持在第1保持盤的綠色薄膜10是用第1印刷裝置40印刷導(dǎo)電性焊膏,保持在第2保持盤的綠色薄膜10是用第2印刷裝置50來印刷不同在前述第1印刷裝置40的圖案的導(dǎo)電性焊膏。用各印刷裝置被印刷處理的綠色薄膜10是交互的經(jīng)過搬送皮帶60被搬送,并經(jīng)干燥裝置70干燥后,對(duì)應(yīng)于印刷裝置被收容在收容臺(tái)2或3。本發(fā)明的積層型電子組件的制造方法及裝置可有效提升積層型電子組件的制造效率。
文檔編號(hào)H01G4/33GK1335631SQ0111697
公開日2002年2月13日 申請(qǐng)日期2001年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2000年5月16日
發(fā)明者關(guān)口義二, 安藤功一, 小泉?jiǎng)倌?申請(qǐng)人:太陽誘電株式會(huì)社