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非易失性存儲器的制作方法

文檔序號:11546348閱讀:281來源:國知局
非易失性存儲器的制造方法與工藝

本發(fā)明關(guān)于一種非易失性存儲器,且特別關(guān)于一種具時序控制器的非易失性存儲器。



背景技術(shù):

眾所周知,非易失性存儲器中包括一存儲單元陣列(memoryarray),存儲單元陣列由多個存儲單元(memorycell)排列而成,而每個存儲單元中均包含一浮動柵晶體管(floatinggatetransistor)。

另外,非易失性存儲器中還包括一控制電路(controllingcircuit),用以控制存儲單元陣列進行編程動作、讀取動作、或者擦除動作。

因此,非易失性存儲器在執(zhí)行各種動作時,控制電路會依序產(chǎn)生各種信號至存儲單元陣列。如果這些信號的時序出現(xiàn)錯誤,則會發(fā)生運作失敗(fail)的狀況。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的主要目的為提出一種非易失性存儲器,包括:一存儲單元陣列,具有多條字線與多條位線;以及一控制電路,連接至該多條字線與該多條位線,其中該控制電路包括:一處理電路,在一時鐘信號的一第一信號沿產(chǎn)生一讀取指令;一解碼器,連接至該處理電路,用以接收該處理電路產(chǎn)生的該讀取址令,并產(chǎn)生一地址信號;一驅(qū)動器,連接至該多條字線,并根據(jù)該地址信號來驅(qū)動該多條字線其中之一;一時序控制器,連接至該處理電路,在該處理電路產(chǎn)生該讀取址令時,依序產(chǎn)生一預充電信號與一重置信號;以及一感測放大器,連接至該多條字線,其中,在該預充電信號動作時,將該多條位線調(diào)整至第一預定電壓;且在該重置信號動作時,根據(jù)該地址信號從該多條位線中決定一選定位線組,并將該選定位線組調(diào)整至一第二預定電壓;其中,該解碼器由一第一類型元件所組成,該時序控制器由該第一類型元件與一第二類型元件所組成。

為了對本發(fā)明的上述及其他方面有更佳的了解,下文特舉較佳實施例,并配合附圖,詳細說明如下:

附圖說明

圖1為本發(fā)明非易失性存儲器示意圖。

圖2a所繪示為非易失性存儲器中的相關(guān)信號示意圖。

圖2b為時序控制器示意圖。

圖2c為前級脈沖產(chǎn)生電路示意圖。

圖3為制程變化時非易失性存儲器中的相關(guān)信號示意圖。

圖4a所繪示為本發(fā)明第二實施例的時序控制器。

圖4b所繪示為本發(fā)明非易失性存儲器中的相關(guān)信號示意圖。

圖5所繪示本發(fā)明第二脈沖產(chǎn)生器的一個范例。

符號說明

100:非易失性存儲器

110:存儲單元陣列

150:控制電路

152:處理電路

154:解碼器

156:驅(qū)動器

160:時序控制器

161:前級脈沖產(chǎn)生電路

162:感測放大器

163、221、223:非門

164:或非門

165、220:延遲電路

168:次級脈沖產(chǎn)生電路

172:第一脈沖產(chǎn)生器

174:第二脈沖產(chǎn)生器

176:或門

210:邏輯電路

222:第一反相電路

224:第二反相電路

具體實施方式

請參照圖1,其所繪示為本發(fā)明非易失性存儲器示意圖。非易失性存儲器100包括:一存儲單元陣列110與一控制電路150。再者,控制電路150中包括:一處理電路(processingcircuit)152、解碼器(decoder)154、驅(qū)動器(driver)156、時序控制器(timingcontroller)160、與感測放大器(senseamplifier)162。

控制電路150中,處理電路152連接至解碼器154,而解碼器154連接至驅(qū)動器156與感測放大器162。另外,處理電路152連接至時序控制器160,而時序控制器160連接至感測放大器162。

再者,存儲單元陣列110具有m條字線wl0~wlm-1以及n條位線bl0~bln-1。其中,驅(qū)動器156連接至存儲單元陣列110的位線wl0~wlm-1,感測放大器162連接至存儲單元陣列110的字線bl0~bln-1。

以下介紹非易失性存儲器100的讀取動作流程。基本上,非易失性存儲器100會根據(jù)一時鐘信號clk來運作。在進行讀取動作時,處理電路152會將讀取指令(readcommand)傳送至解碼器154,而解碼器154解碼(decode)讀取指令后產(chǎn)生一地址信號addr。再者,驅(qū)動器156根據(jù)地址信號addr來驅(qū)動m條字線wl0~wlm-1中的一特定字線。另外,感測放大器162根據(jù)地址信號addr,在n條位線bl0~bln-1中決定一選定位線組(selectedbitlineset),并且對選定位線組進行感測動作,以產(chǎn)生讀取數(shù)據(jù)(readdata)。

舉例來說,當?shù)刂沸盘朼ddr產(chǎn)生后,驅(qū)動器156驅(qū)動字線wl1。因此,存儲單元陣列110中連接至字線wl1上的n個存儲單元會被驅(qū)動。而字線wl1上的n個存儲單元對應(yīng)地連接至n條位線bl0~bln-1。

再者,感測放大器162根據(jù)地址信號addr,決定位線bl0~bl7為選定位線組。因此,感測放大器162即感測位線bl0~bl7上的電壓變化,并進而決定位線bl0~bl7上的邏輯電平作為讀取數(shù)據(jù)。換言之,讀取數(shù)據(jù)即代表連接至字線wl1上前八個存儲單元的儲存狀態(tài)。

另外,在解碼器154產(chǎn)生地址信號addr的過程,感測放大器162需要根據(jù)時序控制器160的預充電信號precharge以及重置信號reset來動作位線,才可正確地產(chǎn)生讀取數(shù)據(jù)。

請參照圖2a,其所繪示為非易失性存儲器中的相關(guān)信號示意圖。圖2b為時序控制器示意圖。第2c圖為前級脈沖產(chǎn)生電路示意圖。

如圖2a所示,在時間點t1,在時鐘信號clk的上升沿,處理電路152將讀取指令傳送至解碼器154。同時,處理電路152控制時序控制器160產(chǎn)生預充電信號precharge至感測放大器162。

時間點t1至時間點t2之間為預充電周期(prechargeperiod)。在時間點t1,時序控制器160產(chǎn)生一個脈沖(pulse)的預充電信號precharge至感測放大器162,且預充電信號precharge的脈沖寬度(pulsewidth)即代表該預充電周期。

在預充電周期內(nèi),解碼器154解碼讀取指令并產(chǎn)生地址信號addr。而感測放大器162根據(jù)預充電信號precharge,在預充電周期內(nèi)將所有的位線bl0~bln-1預充電至第一預定電壓(firstpredeterminedvoltage)。舉例來說,預充電周期為10ns,第一預定電壓為3.0v。

時間點t2至時間點t3之間為重置周期(resetperiod)。在時間點t2,時序控制器160根據(jù)預充電信號precharge的下降沿,產(chǎn)生一個脈沖的重置電信號reset至感測放大器162,且重置信號reset的脈沖寬度即代表該重置周期。

在重置周期內(nèi),而感測放大器162根據(jù)地址信號addr在位線bl0~bln-1之中決定選定位線組,并重置該選定位線組至一第二預定電壓,而其他的位線則維持在第一預定電壓。舉例來說,重置周期為10ns。再者,第一預定電壓不同于第二預定電壓,且第二預定電壓為,例如,接地電壓(groundvoltage)。

在時間點t3之后即為發(fā)展與感測周期(developingandsensingperiod)。在發(fā)展與感測周期,連接于選定位線組的對應(yīng)存儲單元會產(chǎn)生存儲單元電流(cellcurrent)至感測放大器162。而根據(jù)存儲單元不同的儲存狀態(tài),會有不同大小的存儲單元電流作為充電電流(chargecurrent)。

因此,在發(fā)展與感測周期,選定位線組上的電壓會由第二電壓(例如接地電壓)開始變化,而感測電放大器162即根據(jù)每條位線的電壓變化大小來決定選定位線組上的邏輯電平,并作為讀取數(shù)據(jù)。

如圖2b所示,為了讓時序控制器160能夠產(chǎn)生預充電信號precharge以及重置信號reset。本發(fā)明第一實施例的時序控制器160包括一前級脈沖產(chǎn)生電路(primarypulsegeneratingcircuit)161與次級脈沖產(chǎn)生電路(secondarypulsegeneratingcircuit)168。

前級脈沖產(chǎn)生電路161接收時鐘信號clk,并根據(jù)時鐘信號clk的上升沿(risingedge)產(chǎn)生預充電信號precharge。另外,次級脈沖產(chǎn)生電路168接收預充電信號precharge,并根據(jù)預充電信號precharge的下降沿(fallingedge)產(chǎn)生重置信號reset。因此,時序控制器160即可依序產(chǎn)生一個脈沖的預充電信號precharge以及一個脈沖的重置信號reset。

圖2c為前級脈沖產(chǎn)生電路161的一個范例。前級脈沖產(chǎn)生電路161包括一邏輯電路與一延遲電路(delayingcircuit)165,而邏輯電路包括一非門163與一或非門164。其中,非門163接收時鐘信號clk產(chǎn)生反相的時鐘信號clkb;延遲電路(delayingcircuit)165接收時鐘信號clk,延遲時間t之后,產(chǎn)生延遲的時鐘信號clkd。或非門164接收反相的時鐘信號clkb與延遲的時鐘信號clkd,并產(chǎn)生脈沖寬度為t的預充電信號precharge。同理,次級脈沖產(chǎn)生電路168也可以利用類似的邏輯電路與延遲電路來產(chǎn)生重置信號reset,此處不再贅述。

再者,由于存儲單元陣列110需要較高的操作電壓(operationvoltage),因此解碼器154與驅(qū)動器156需要利用高耐壓的元件(device)來實現(xiàn),例如高耐壓的pmos晶體管與nmos晶體管。而時序控制器160與感測放大器162則利用低耐壓的元件來實現(xiàn),例如低耐壓的pmos晶體管與nmos晶體管。

另外,在半導體制程中,可制造出兩種不同耐壓類型的元件。第一種類型的元件為高耐壓的元件,又稱為i/o元件(i/odevice),其需要較高的第一操作電壓,例如6v。另外,第二種類型的元件為低耐壓的元件,又稱為核心元件(coredevice),其需要較低的第二操作電壓,例如1.2v。換言之,i/o元件(i/odevice)與核心元件(coredevice)需分別連接至不同的電源域(powerdomain)。

眾所周知,由于集成電路的制程參數(shù)變化(variationoffabricationparameters),會產(chǎn)生各種工藝角(processcorner)的元件,并導致不同的運作速度。舉例來說,快速-快速角(fast-fastcorner,簡稱ffcorner)的元件、典型-典型角(typical-typicalcorner,簡稱ttcorner)的元件、或者慢速-慢速角(slow-slowcorner,簡稱sscorner)的元件。

典型-典型角(ttcorner)的元件,其nmos晶體管與pmos晶體管的運作速度(operationspeed)符合設(shè)計的要求(requirement)??焖?快速角(ffcorner)的元件,其nmos晶體管與pmos晶體管的運作速度較設(shè)計的要求還要快速。慢速-慢速角(sscorner)的元件,其nmos晶體管與pmos晶體管的運作速度較設(shè)計的要求還要慢速。

非易失性存儲器100的控制電路150中包括i/o元件所組成的解碼器154與驅(qū)動器165,以及核心元件所組成的時序控制器160、感測放大器162。而慢速-慢速角(sscorner)的i/o元件可能造成非易失性存儲器100讀取失敗的發(fā)生。說明如下:

請參照圖3,其所繪示為制程變化時非易失性存儲器中的相關(guān)信號示意圖。

假設(shè)解碼器154的i/o元件為典型-典型角(ttcorner)的元件時,解碼器154可在預充電周期內(nèi)(t1~t2)動作地址信號addr,如曲線<i>。

再者,當解碼器154的i/o元件為快速-快速角(ffcorner)的元件時,則地址信號addr的動作時間會往前移動。反之,當解碼器154的i/o元件為慢速-慢速角(sscorner)的元件時,則地址信號addr的動作時間會往后移動。

在正常運作時,解碼器154會在預充電周期內(nèi)產(chǎn)生地址信號addr,而感測放大器162會在重置周期內(nèi),根據(jù)地址信號addr進一步地決定選定位線組,并重置該選定位線組至一第二預定電壓。而進入發(fā)展與感測周期時,感測放大器162即可產(chǎn)生讀取數(shù)據(jù)。

然而,由于無法精準地控制集成電路的制程參數(shù),如果解碼器154由慢速-慢速角(sscorner)的i/o元件所組成,且解碼器154在重置周期之后才產(chǎn)生地址信號addr,如曲線<ii>所示。則感測放大器162在重置周期會決定出錯誤的選定位線組,并導致感測放大器162在發(fā)展與感測周期中產(chǎn)生錯誤的讀取數(shù)據(jù),造成非易失性存儲器100的讀取失敗(readfail)而無法正常運作。

由以上的說明可知,造成讀取失敗的原因在于制程變化,并使得解碼器154由慢速-慢速角(sscorner)的元件所組成,導致解碼器154無法在預定周期(預充電周期)產(chǎn)生地址信號addr。再者,由于時序控制器160無法響應(yīng)上述制程變化,進而導致讀取失敗。

請參照圖4a,其所繪示為本發(fā)明第二實施例的時序控制器。時序控制器160包括一前級脈沖產(chǎn)生電路161與次級脈沖產(chǎn)生電路168。

相同的運作原理,前級脈沖產(chǎn)生電路161接收時鐘信號clk,并根據(jù)時鐘信號clk的上升沿(risingedge)產(chǎn)生預充電信號precharge。次級脈沖產(chǎn)生電路168接收預充電信號precharge,并根據(jù)預充電信號precharge的下降沿(fallingedge)產(chǎn)生重置信號reset。因此,時序控制器160即依序產(chǎn)生一個脈沖的預充電信號precharge以及一個脈沖的重置信號reset。

本實施例的第二實施例在于前級脈沖產(chǎn)生電路161包括一第一脈沖產(chǎn)生器(pulsegenerator)172與第二脈沖產(chǎn)生器174。其中,第一脈沖產(chǎn)生器172由核心元件(coredevice)所組成,而第二脈沖產(chǎn)生器174由i/o元件(i/odevice)所組成。另外,第一脈沖產(chǎn)生器172與第二脈沖產(chǎn)生器174的電路結(jié)構(gòu)類似圖2c,均具有一邏輯電路與一延遲電路,各自可產(chǎn)生脈沖寬度為t的脈沖。

由于控制電路150中的解碼器154與時序控制器160制作于相同的集成電路(ic)上。因此,在制作i/o元件時,若發(fā)生制程變化時,則會同時影響到解碼器154與時序控制器160中的第二脈沖產(chǎn)生器174。換言之,如果制程變化造成解碼器154由慢速-慢速角(sscorner)的元件所組成,則第二脈沖產(chǎn)生器174也會由慢速-慢速角(sscorner)的元件所組成。

雖然第二脈沖產(chǎn)生器174預計產(chǎn)生脈沖寬度為t的脈沖,但由于第二脈沖產(chǎn)生器174由慢速-慢速角(sscorner)的元件所組成,將會使得第二脈沖產(chǎn)生器174的脈沖寬度大于t。而第二脈沖產(chǎn)生器174的脈沖寬度相關(guān)于慢速-慢速角(sscorner)的元件特性。即,當?shù)诙}沖產(chǎn)生器174中的i/o元件特性越差時,其產(chǎn)生的脈沖寬度會越寬。

在上述的情況下,如圖4a所示,第一脈沖產(chǎn)生器產(chǎn)生脈沖寬度為t的第一信號p1,第二脈沖產(chǎn)生器產(chǎn)生脈沖寬度為t’的第二信號p2。因此,經(jīng)過或門176后,前級脈沖產(chǎn)生電路161即產(chǎn)生脈沖寬度為t’的預充電信號。換言之,或門176可視為一決定電路,將第一信號p1與第二信號p2中脈沖寬度較大的脈沖作為預充電信號precharge。

請參照圖4b,其所繪示為本發(fā)明非易失性存儲器中的相關(guān)信號示意圖。其中,解碼器154與時序控制器160均由慢速-慢速角(sscorner)的元件所組成。

在時間點ta,在時鐘信號clk的上升沿,處理電路152將讀取指令傳送至解碼器154。同時,處理電路152控制時序控制器160產(chǎn)生預充電信號precharge至感測放大器162。

時間點ta至時間點tb之間為預充電周期(prechargeperiod)。由于解碼器154延后產(chǎn)生地址信號addr,而時序控制器160也對應(yīng)地延長預充電信號precharge的脈沖寬度為t’。因此,預充電周期會被延長,使得解碼器154仍在預充電周期內(nèi)產(chǎn)生地址信號addr。

因此,在時間點tb至時間點tc之間的重置周期。感測放大器162即可根據(jù)地址信號addr在位線bl0~bln-1之中決定選定位線組,并重置該選定位線組至一第二預定電壓,而其他的位線則維持在第一預定電壓。

而在時間點tc之后的發(fā)展與感測周期。連接于選定位線組的對應(yīng)存儲單元會產(chǎn)生存儲單元電流(cellcurrent)至感測放大器162。而感測電放大器162即可根據(jù)每條位線的電壓變化大小來決定選定位線組上的邏輯電平,并作為讀取數(shù)據(jù)。

另外,如果解碼器154與第二脈沖產(chǎn)生器174由典型-典型角(ttcorner)的元件所組成,則第二脈沖的脈沖寬度為t。再者,如果解碼器154第二脈沖產(chǎn)生器174由快速-快速角(ffcorner)的元件所組成,則第二脈沖的脈沖寬度為小于t。在以上的兩種情況下,經(jīng)由或門176后,前級脈沖產(chǎn)生電路162仍產(chǎn)生脈沖寬度為t的預充電信號precharge。

根據(jù)以上說明可知,本發(fā)明的優(yōu)點在于提出一種運用于非易失性存儲器中的時序控制器。時序控制器160中包括由核心元件所構(gòu)建而成的第一脈沖產(chǎn)生器172與i/o元件所構(gòu)建而成的第二脈沖產(chǎn)生器174。

根據(jù)制程變化,當解碼器154與第二脈沖產(chǎn)生器174由慢速-慢速角(sscorner)所構(gòu)建而成時,第二脈沖產(chǎn)生器174可以改變輸出脈沖的脈沖寬度,用以改變預充電信號precharge的脈沖寬度以及預充電周期。如此,將可以確保解碼器154在預充電周期內(nèi)產(chǎn)生的地址信號addr,并使得感測放大器162正確地產(chǎn)生讀取數(shù)據(jù)。

請參照圖5,其所繪示本發(fā)明第二脈沖產(chǎn)生器174的一個范例,且第二脈沖產(chǎn)生器174均由i/o元件所組成。第二脈沖產(chǎn)生器174包括一邏輯電路210與一延遲電路220。其中,延遲電路220接收時鐘信號clk,延遲時間t之后,產(chǎn)生延遲的時鐘信號clkd。再者,邏輯電路210接收時鐘信號clk與延遲的時鐘信號clkd,并產(chǎn)生第二信號p2。

基本上,邏輯電路210可以有各種實現(xiàn)的方式。例如,邏輯電路210可包括一非門與一或非門,依照圖2c的連接方式,即可產(chǎn)生第二信號p2。

再者,延遲電路220包括串接的一第一反相電路(invertingcircuit)222與一第二反相電路224。第一反相電路222具有一輸入端接收該時鐘信號。第二反相電路224具有一輸入端連接至第一反相電路222的輸出端,第二反相電路224并且具有一輸出端產(chǎn)生延遲的時鐘信號clkd。

第一反相電路222中包括pmos晶體管p1、nmos晶體管n1、電容器c1與緩沖器(buffer)221;第二反相電路224中包括pmos晶體管p2、nmos晶體管n2、電容器c2與緩沖器(buffer)223。經(jīng)由控制電容器c1、c2的電容值,即可控制延遲電路220的延遲時間,并進一步地改變第二信號p2的脈沖寬度。

該第一反相電路222包括:第一pmos晶體管p1,具有一源極連接至一電壓源vdd,一柵極連接至該第一反相電路222的該輸入端;第一nmos晶體管n1,具有一源極連接至一接地端,一柵極連接至該第一反相電路222的該輸入端,一漏極連接至該第一pmos晶體管p1的一漏極;一第一電容器c1,具有一第一端連接至該第一pmos晶體管p1的該漏極,一第二端連接至該接地端;以及一第一緩沖器221,具有一輸入端連接至該第一pmos晶體管p1的該漏極,一輸出端作為該第一反相電路222的該輸出端。

該第二反相電路224包括:一第二pmos晶體管p2,具有一源極連接至該電壓源vdd,一柵極連接至該第一反相電路222的該輸出端;一第二nmos晶體管n2,具有一源極連接至該接地端,一柵極連接至該第一反相電路222的該輸出端,一漏極連接至該第二pmos晶體管p2的一漏極;一第二電容器c2,具有一第一端連接至該第二pmos晶體管p2的該漏極,一第二端連接至該接地端;以及一第二緩沖器223,具有一輸入端連接至該第二pmos晶體管p2的該漏極,一輸出端作為該第二反相電路224的該輸出端。

再者,本發(fā)明還可以設(shè)計第一反相電路222中的pmos晶體管p1為一弱pmos晶體管(weakpmostransistor)而第二反相電路224中nmos晶體管n2為一弱nmos晶體管(weaknmostransistor)。如此,可以讓第二脈沖產(chǎn)生器174的脈沖寬度更相關(guān)于慢速-慢速角(sscorner)的元件特性。當然,也可以設(shè)計第一反相電路222中的nmos晶體管n1為一弱nmos晶體管而第二反相電路224中pmos晶體管p2為一弱pmos晶體管。

綜上所述,雖然本發(fā)明已以較佳實施例公開如上,然其并非用以限定本發(fā)明。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),可以做出各種更動與潤飾。因此,本發(fā)明的保護范圍應(yīng)當視所附權(quán)利要求書所界定者為準。

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