輸入裝置的制造方法
【專利說明】輸入裝置的制造方法
[0001 ] 本申請是申請日為2012年12月27日、申請?zhí)枮?012105797340、發(fā)明名稱為“輸入裝置及其制造方法”的發(fā)明專利申請的分案申請。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及一種能夠檢測操作面的操作位置的輸入裝置，尤其是涉及一種配置于裝飾區(qū)域的配線層的結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0003]在靜電電容型的輸入裝置(觸摸板)中，在透明基材的顯示區(qū)域內(nèi)配置有多個透明電極，從各透明電極引出的各第一配線層向位于顯示區(qū)域的周圍的裝飾區(qū)域延伸。
[0004]在專利文獻I的圖1C、圖2B、圖5中，設(shè)有與第一配線層不同的第二配線層，第一配線層與第二配線層經(jīng)由形成在介于它們之間的絕緣層的接觸孔而電連接。
[0005]【在先技術(shù)文獻】
[0006]【專利文獻】
[0007]【專利文獻I】:日本特開2010-541109號公報
[0008]【發(fā)明的概要】
[0009]【發(fā)明所要解決的課題】
[0010]不過，近年來，裝飾區(qū)域的寬度越發(fā)變小，其結(jié)果是，也必須使各配線層的寬度尺寸較小地形成。
[0011]但是，由于減小配線寬度，則存在配線電阻變高而檢測響應(yīng)性降低的問題。在專利文獻I中，在接觸孔的位置處，仿照接觸孔的側(cè)壁而形成有大致恒定厚的配線圖案，而未成為能夠抑制配線電阻的上升的結(jié)構(gòu)。另外，較薄的配線圖案的密接性較低，電連接可靠性較低。
[0012]另外，當(dāng)通過絲網(wǎng)印刷來形成具備接觸孔的絕緣層時，成為較厚的膜厚，由于接觸孔的深度較深，故存在無法適當(dāng)?shù)亟?jīng)由接觸孔而將上下的配線層之間電連接的問題。進而，如現(xiàn)有技術(shù)那樣，在配線層由Ag絲網(wǎng)印刷等形成的結(jié)構(gòu)中，也存在配線層無法形成為窄間距的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]對此，本發(fā)明就是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的課題而作出的，其目的在于，提供一種尤其是能夠確保充分的電連接可靠性，且與現(xiàn)有技術(shù)相比能夠抑制配線電阻的上升的輸入
目.ο
[0014]另外，本發(fā)明在上述目的的基礎(chǔ)上，其目的在于，提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)配線層的窄間距化的輸入裝置及其制造方法。
[0015]【用于解決課題的手段】
[0016]本發(fā)明提供一種輸入裝置，其特征在于，
[0017]該輸入裝置具有:透明基材;在所述透明基材的第一面?zhèn)惹以陲@示區(qū)域內(nèi)形成的多個透明電極;從各透明電極向位于所述顯示區(qū)域的側(cè)部的裝飾區(qū)域內(nèi)延伸形成的第一配線層;在與所述第一配線層的表面對置的位置處具備接觸孔且形成在所述透明基材的第一面?zhèn)鹊慕^緣層;形成在所述接觸孔內(nèi)的導(dǎo)電部；與所述導(dǎo)電部成為一體且延伸形成在所述絕緣層的表面，并與所述第一配線層電連接的第二配線層，
[0018]以使所述接觸孔的寬度尺寸從所述第一配線層的表面?zhèn)瘸蛩鼋^緣層的表面?zhèn)戎饾u增大地形成的方式，將所述接觸孔的側(cè)壁面形成為傾斜面，
[0019]所述導(dǎo)電部被填充在所述接觸孔內(nèi)。
[0020]另外，本發(fā)明提供一種輸入裝置的制造方法，其特征在于，包括:
[0021]在透明基材的第一面?zhèn)惹以陲@示區(qū)域內(nèi)形成多個透明電極及從各透明電極向位于所述顯示區(qū)域的側(cè)部的裝飾區(qū)域內(nèi)延伸的第一配線層的工序；
[0022]在所述透明基材的第一面?zhèn)刃纬山^緣層，該絕緣層在與所述第一配線層的表面對置的位置處具備接觸孔，此時以使所述接觸孔的寬度尺寸從所述第一配線層的表面?zhèn)瘸蛩鼋^緣層的表面?zhèn)戎饾u增大地形成的方式，將所述接觸孔的側(cè)壁面形成為傾斜面的工序；
[0023]向所述接觸孔內(nèi)填充導(dǎo)電部，進而使與所述導(dǎo)電部一體的第二配線層延伸形成在所述絕緣層的表面的工序。
[0024]根據(jù)本發(fā)明的輸入裝置的結(jié)構(gòu)，與現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠?qū)⑴渚€電阻抑制得較低。
[0025]在本發(fā)明中，優(yōu)選的是，所述導(dǎo)電部及所述第二配線層由感光性導(dǎo)電膏劑來形成。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)窄間距化。
[0026]另外，在本發(fā)明中，也可以為，在所述第一配線層的表面上形成有金屬層，且經(jīng)由所述金屬層而將所述第一配線層與所述導(dǎo)電部電連接的結(jié)構(gòu)。由此，能夠提高第一配線層與導(dǎo)電部間的密接性。
[0027]另外，在本發(fā)明中，優(yōu)選的是，所述金屬層形成在向所述裝飾區(qū)域內(nèi)延伸的所述第一配線層的表面上。由此，能夠有效地降低配線電阻，并且能夠減小各第一配線層的配線電阻的差異。
[0028]另外，在本發(fā)明中，優(yōu)選的是，所述導(dǎo)電部的表面比所述絕緣層的表面突出。由此，能夠更加有效地將配線電阻抑制得較低。
[0029]另外，當(dāng)對使所述導(dǎo)電部的表面比絕緣層的表面突出且延蔓至絕緣層的表面上的恒定膜厚部的感光性膏劑進行曝光時，圖案精度得以提高。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)基于窄圖案化的窄配線化、窄間距化，并且能夠在接觸孔內(nèi)形成較厚的導(dǎo)電部。另外，通過向接觸孔中填充形成較厚的導(dǎo)電部，能夠使與第一配線層密接的密接性與專利文獻I的結(jié)構(gòu)相比得以提高。另外，通過使導(dǎo)電部蔓延至絕緣層表面上，從而能夠進一步地提高與第一配線層密接的密接性。
[0030]另外，在本發(fā)明中，優(yōu)選的是，所述絕緣層由酚醛清漆樹脂形成。由此，能夠減薄絕緣層的膜厚，并通過導(dǎo)電部適當(dāng)?shù)貙佑|孔內(nèi)進行填充，從而能夠抑制配線電阻的上升。[0031 ]另外，此時，優(yōu)選的是，對于酚醛清漆樹脂通過熱硬化來形成所述傾斜面。由此，能夠?qū)⒔佑|孔的側(cè)壁面形成為平滑的傾斜面，從而能夠通過導(dǎo)電部來適當(dāng)?shù)貙佑|孔內(nèi)進行填充。
[0032]另外，在本發(fā)明中，也可以為，所述第二配線層將多個所述透明電極的所述第一配線層之間電連接，在所述裝飾區(qū)域中排列有多個所述第二配線層，且各第二配線層的端部構(gòu)成外部連接部的結(jié)構(gòu)。
[0033]【發(fā)明效果】
[0034]根據(jù)本發(fā)明的輸入裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比能夠確保充分的電連接可靠性，從而能夠?qū)⑴渚€電阻抑制得較低。另外，根據(jù)本發(fā)明的輸入裝置的制造方法，能夠?qū)崿F(xiàn)窄配線化、窄間距化。
【附圖說明】
[0035]圖1(a)是本實施方式中的輸入裝置(觸摸板)的俯視圖，圖1(b)是將圖1(a)沿著A-A線切斷而從箭頭方向觀察時的局部縱向剖視圖，圖1(c)是與圖1(b)不同的實施方式的局部縱向剖視圖。
[0036]圖2(a)是將圖1(a)所示的輸入裝置沿著B-B線切斷的局部放大縱向剖視圖，圖2(b)是將圖1(a)所示的輸入裝置沿著C-C線切斷的局部放大縱向剖視圖，圖2(c)是與圖2(b)不同的實施方式的局部縱向剖視圖。
[0037]圖3是表示本實施方式中的輸入裝置的制造方法的工序圖(局部縱向剖視圖)。
[0038]符號說明
[0039]I輸入裝置
[0040]2透明基材[0041 ] 3 面板
[0042]4、5透明電極
[0043]6配線部
[0044]8第一配線層
[0045]11顯示區(qū)域
[0046]15a?15d第二配線層
[0047]20絕緣層
[0048]20a接觸孔
[0049]20c側(cè)壁面
[0050]21導(dǎo)電部
[0051]24金屬層
[0052]25裝飾區(qū)域
【具體實施方式】
[0053]圖1(a)是本實施方式中的輸入裝置(觸摸板)的俯視圖，圖1(b)是將圖1(a)沿著A-A線切斷而從箭頭方向觀察時的局部縱向剖視圖，圖1(c)是與圖1(b)不同的實施方式的局部縱向剖視圖。
[0054]需要說明的是，在該說明書中，“透明”、“透光性”是指可見光線透過率為50%以上(優(yōu)選80 %以上)的狀態(tài)。進而，霧度值在6以下為最佳。
[0055]需要說明的是，在圖1中，圖示出了在構(gòu)成輸入裝置I的透明基材2的表面(第一面)2a上形成的各透明電極4、5及配線部6，但實際如圖1(b)那樣，在透明基材2的表面?zhèn)仍O(shè)有透明的面板3，且在配線部6的位置處存在裝飾層，因此，無法從面板3的表面?zhèn)扔^察配線部6。需要說明的是，透明電極為透明的構(gòu)件，故無法目視確認(rèn)，不過，在圖1中示出了透明電極的外形。
[0056]透明基材2為聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)等的薄膜狀的透明基材或玻璃基材等形成。另外，各透明電極4、5由IT0(Indium Tin Oxide:銦錫氧化物)等的透明導(dǎo)電材料通過濺射或蒸鍍等成膜。
[0057]如圖1所示，在顯示區(qū)域11(能夠通過手指等的操作體來進行操作的、顯示器所對置的顯示畫面)內(nèi)形成有多個第一透明電極(檢測電極)4。
[0058]多個第一透明電極4沿著X1-X2方向及Y1-Y2方向配置成矩陣狀。另外，在本實施方式中，并不對第一透明電極4的形狀進行限定。
[0059]如圖1(b)所示，多個第一透明