專利名稱：制造設(shè)備、制造設(shè)備的控制方法、制造設(shè)備的控制系統(tǒng)、其中記錄有制造設(shè)備的控制程序 ...的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種使用網(wǎng)絡(luò)控制諸如半導(dǎo)體制造設(shè)備之類的制造設(shè)備的控制方法、一種制造設(shè)備的控制系統(tǒng)、一種其中記錄有制造設(shè)備的控制程序的計(jì)算機(jī)可讀記錄介質(zhì)、及由這些控制的制造設(shè)備。
背景技術(shù)：
諸如半導(dǎo)體制造設(shè)備之類的制造設(shè)備的制造商至今在生產(chǎn)制造設(shè)備之后，把制造的設(shè)備交付給購買人。對于這種制造設(shè)備，在最近幾年，硬件配置一直由計(jì)算機(jī)控制，并且計(jì)算機(jī)的操作在當(dāng)今情況下一直由軟件、而不是由硬件控制。
當(dāng)啟動制造設(shè)備的生產(chǎn)線的設(shè)備、修理故障設(shè)備、及在硬件改進(jìn)之后軟件錯(cuò)誤地操作時(shí)，設(shè)備制造商呼叫工程師，并且采取對策。這是因?yàn)橐话憔哂嘘P(guān)于制造設(shè)備的最多知識的制造商的工程師，適于對制造設(shè)備進(jìn)行保養(yǎng)。
總之，當(dāng)在軟件中找到原因時(shí)，通過電話檢查制造設(shè)備的故障。然而，在當(dāng)前制造設(shè)備的軟件和方法都很復(fù)雜時(shí)，僅通過電話處理故障是非常困難的。況且，當(dāng)呼叫制造商的工程師時(shí)，需要大量時(shí)間和金錢。因此，為了完成故障的拯救過程需要大量時(shí)間。結(jié)果，制造設(shè)備的設(shè)備生產(chǎn)效率下降。
因此，例如，當(dāng)啟動制造設(shè)備的生產(chǎn)線時(shí)，制造商把大量工程師送到生產(chǎn)線，并且進(jìn)行設(shè)備啟動操作。由此，幾乎不會縮短用來啟動設(shè)備的時(shí)間。然而，工程師人數(shù)較少，并且在許多情況下為了啟動不會聚集足夠數(shù)量的工程師。另外，為了啟動大量制造設(shè)備，需要大量時(shí)間，并且更進(jìn)一步，在許多情況下引起手動啟動錯(cuò)誤。這主要是因?yàn)橹圃煸O(shè)備的硬件配置、和用來控制硬件配置的軟件和方法在最近幾年已經(jīng)變得較復(fù)雜。
此外，例如，當(dāng)在多個(gè)工廠中同時(shí)啟動制造設(shè)備時(shí)，即，當(dāng)作為啟動對象的制造設(shè)備不集中在一個(gè)地方時(shí)，這樣一種人為錯(cuò)誤更容易發(fā)生。
另外，例如，當(dāng)在多個(gè)工廠中使用相同的制造設(shè)備時(shí)，制造設(shè)備的硬件配置、軟件及方法往往應(yīng)當(dāng)統(tǒng)一。然而，在實(shí)際中，這樣一種統(tǒng)一操作在當(dāng)今情形下是困難的。在各工廠間方法和軟件的不統(tǒng)一會引起各種麻煩。結(jié)果，使用該制造設(shè)備的器件的生產(chǎn)效率降低。
本發(fā)明的公開本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種制造設(shè)備，便于制造設(shè)備的硬件、軟件及方法(recipe)的控制，并且作為結(jié)果，提高使用該制造設(shè)備的器件的生產(chǎn)效率；一種制造設(shè)備的控制系統(tǒng)；及一種其中記錄制造設(shè)備的控制程序的計(jì)算機(jī)可讀記錄介質(zhì)。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供有一種經(jīng)通信網(wǎng)絡(luò)控制制造設(shè)備的制造設(shè)備控制系統(tǒng)，該控制系統(tǒng)包括一個(gè)接口，連接到通信網(wǎng)絡(luò)上，并且向通信網(wǎng)絡(luò)傳送信息和從其接收信息；一個(gè)處理器，連接到接口上，并且把控制制造設(shè)備的方法信息和軟件的至少一個(gè)從接口經(jīng)通信網(wǎng)絡(luò)傳送到制造設(shè)備；及存儲裝置，連接到處理器上，并且存儲方法信息和軟件的至少一個(gè)。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供有一種制造設(shè)備，包括一個(gè)制造單元；一個(gè)接口，連接到通信網(wǎng)絡(luò)上，并且向通信網(wǎng)絡(luò)傳送信息和從其接收信息；一個(gè)處理器，連接到接口上，并且從接口經(jīng)通信網(wǎng)絡(luò)得到控制制造單元的軟件和方法信息的至少一個(gè)；及存儲裝置，連接到處理器上，用來存儲方法信息和軟件的至少一個(gè)。
根據(jù)上述配置，制造設(shè)備的控制系統(tǒng)能把軟件和方法信息集體地傳送到制造設(shè)備，并且啟動設(shè)備。因此，不必依次和分離地把軟件和方法信息安裝在相應(yīng)制造設(shè)備中。結(jié)果，縮短用來啟動制造設(shè)備的時(shí)間，并且能迅速啟動制造設(shè)備。況且，由于能以統(tǒng)一方式啟動制造設(shè)備，所以顯著減少在分別啟動相應(yīng)制造設(shè)備時(shí)容易產(chǎn)生的人為錯(cuò)誤。
況且，涉及設(shè)備的本發(fā)明也作為使用設(shè)備的方法發(fā)明而建立。
此外，涉及設(shè)備或方法的本發(fā)明也作為用來允許計(jì)算機(jī)執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明的過程(或用來允許計(jì)算機(jī)作為根據(jù)本發(fā)明的裝置運(yùn)作、或用來允許計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的功能)的程序、或者作為通過計(jì)算機(jī)可讀、其中記錄程序的記錄介質(zhì)而建立。
附圖的簡要描述

圖1是示意圖，表示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的制造設(shè)備的控制系統(tǒng)的總體配置。
圖2A和2B表示根據(jù)該實(shí)施例的一種半導(dǎo)體制造設(shè)備和制造商終端的詳細(xì)配置的一個(gè)例子。
圖3表示根據(jù)該實(shí)施例的半導(dǎo)體制造設(shè)備的第一啟動操作的計(jì)時(shí)圖。
圖4表示根據(jù)該實(shí)施例的半導(dǎo)體制造設(shè)備的第二啟動操作的計(jì)時(shí)圖。
圖5表示當(dāng)在根據(jù)該實(shí)施例的任何半導(dǎo)體制造設(shè)備中產(chǎn)生故障時(shí)、用來解決故障的操作的計(jì)時(shí)圖。
圖6是示意圖，表示根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的制造設(shè)備的控制系統(tǒng)的總體配置。
圖7是示意圖，表示根據(jù)本發(fā)明一個(gè)修改例子的制造設(shè)備的控制系統(tǒng)的總體配置。
用來實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的最好模式下文參照附圖將描述本發(fā)明的相應(yīng)實(shí)施例。
(第一實(shí)施例)圖1是示意圖，表示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的制造設(shè)備的控制系統(tǒng)的總體配置。本實(shí)施例具有一種其中在控制半導(dǎo)體制造設(shè)備時(shí)應(yīng)用本系統(tǒng)的模式。
如圖1中所示，作為制造設(shè)備的控制系統(tǒng)的受控對象的多個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2連接到一個(gè)制造商終端3上，其中銷售作為制造設(shè)備的控制系統(tǒng)的受控對象的半導(dǎo)體制造設(shè)備，并且經(jīng)專用電路1維護(hù)。況且，相應(yīng)半導(dǎo)體制造設(shè)備2布置在相同的工廠6中。
圖2A和2B表示每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2和制造商終端3的詳細(xì)配置的一個(gè)例子。圖2A表示半導(dǎo)體制造設(shè)備2的配置，而圖2B表示制造商終端3的配置。
如圖2A中所示，半導(dǎo)體制造設(shè)備2包括一個(gè)制造單元21、一個(gè)連接到制造單元21上的處理器22、一個(gè)數(shù)據(jù)庫23、一個(gè)接口24、一個(gè)顯示器25及一個(gè)連接到處理器22上的輸入單元26。
制造單元21是一個(gè)帶有用來實(shí)際制造器件的機(jī)構(gòu)的部分，并且主要由硬件組成。一個(gè)例子包括一個(gè)膜形成機(jī)構(gòu)、蝕刻機(jī)構(gòu)、磨光機(jī)構(gòu)、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)構(gòu)(CMP)、保護(hù)層涂敷機(jī)構(gòu)、顯影機(jī)構(gòu)、加熱/冷卻機(jī)構(gòu)等。
處理器22使用一個(gè)內(nèi)裝程序以根據(jù)存儲在數(shù)據(jù)庫23中的軟件和方法信息、或根據(jù)經(jīng)輸入單元26輸入的方法信息控制制造單元21。況且，處理器22還具有用來在控制接口24與制造商終端3間經(jīng)專用電路1傳送/接收信息期間控制傳送/接收的功能。方法信息是例如指示構(gòu)成例如制造單元21的相應(yīng)元件的處理過程、或處理?xiàng)l件的信息。
況且，輸入單元26把由制造設(shè)備的操作者輸入的信息等發(fā)送到處理器22，并且能根據(jù)輸入信息控制制造設(shè)備2的操作。輸入單元26的例子包括鍵盤、鼠標(biāo)等。
在顯示器25中，顯示制造設(shè)備2的操作、故障情形等。當(dāng)制造設(shè)備等的操作者看到顯示器25時(shí)，檢查制造設(shè)備2的操作情形等。
處理器22包括一個(gè)證實(shí)處理器221，用來在試圖控制制造設(shè)備2時(shí)進(jìn)行證實(shí)；一個(gè)設(shè)備控制處理器222，用來根據(jù)預(yù)定軟件和方法信息控制制造設(shè)備；及一個(gè)故障判斷處理器223，用來根據(jù)制造設(shè)備的操作內(nèi)容確定在制造設(shè)備中產(chǎn)生的故障的原因。
況且，在數(shù)據(jù)庫23中，存儲用來控制制造單元21的軟件、和對于每種制造條件給出的、并且給出用來控制關(guān)于預(yù)定條件的制造單元21的參數(shù)的方法信息。
如圖2B中所示，制造商終端3包括一個(gè)接口31、一個(gè)連接到接口31上的處理器32、一個(gè)數(shù)據(jù)庫33、一個(gè)顯示器34及一個(gè)連接到處理器32上的輸入單元35。接口31具有用來經(jīng)專用電路1向半導(dǎo)體制造設(shè)備2傳送信息以及從其接收信息的功能。
當(dāng)啟動半導(dǎo)體制造設(shè)備2時(shí)，處理器32從數(shù)據(jù)庫33抽取用來控制半導(dǎo)體制造設(shè)備2的軟件和方法信息，并且能把這種信息傳送到半導(dǎo)體制造設(shè)備2，及遠(yuǎn)程操作半導(dǎo)體制造設(shè)備2。處理器32包括一個(gè)證實(shí)程序321、設(shè)備控制程序322、及故障判斷程序323。
況且，輸入單元35是一個(gè)經(jīng)其輸入用來允許制造設(shè)備通過處理器32執(zhí)行各種類型處理的信息的部分，并且把經(jīng)輸入單元35輸入的信息發(fā)送到處理器32。輸入單元35的例子包括鍵盤、鼠標(biāo)等。
在顯示器34中，顯示使用制造商終端3執(zhí)行的各種類型的處理的內(nèi)容。負(fù)責(zé)的制造商人員觀看顯示器34，并且由此能檢查在制造商終端3中的處理內(nèi)容。
其次將描述表示在圖1中的制造設(shè)備的控制系統(tǒng)的操作。另外，除非在如下實(shí)施例中專門描述，每種操作通過經(jīng)專用電路1的信息的傳送/接收進(jìn)行。
首先，參照表示在圖3中的計(jì)時(shí)圖將描述第一設(shè)備啟動操作。另外，有借助于制造商終端3傳送/接收信息的多個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2。在如下例子中同樣也適用。
如圖3中所示，首先制造商終端3進(jìn)行訪問多個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2的請求(s1)。每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2要求制造商終端3的一個(gè)ID號碼和口令(s2)。制造商終端3使用輸入單元35以輸入ID號碼和口令。當(dāng)然，對于要求訪問的每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2，ID號碼和口令可以預(yù)先存儲在數(shù)據(jù)庫33中，并且可以讀出存儲在數(shù)據(jù)庫33中的信息。
輸入的ID號碼和口令發(fā)送到處理器32。處理器32把ID號碼和口令經(jīng)接口31傳送到每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2(s3)。接收ID號碼和口令的每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2的證實(shí)處理器221，讀出預(yù)先存儲在數(shù)據(jù)庫23中的制造商終端3的ID號碼和口令，并且把讀的ID號碼和口令與接收的ID號碼和口令相對比(s4)。通過對比，當(dāng)ID號碼和口令相互一致時(shí)，判斷為啟用證實(shí)。此外，對于不一致，判斷為禁用證實(shí)。把指示啟用/禁用證實(shí)的信息從每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2傳送到制造商終端3(s5)。
當(dāng)制造商終端3接收到指示啟用證實(shí)的信息時(shí)，把用于每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2的軟件和方法信息傳送到每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2(s6)。半導(dǎo)體制造設(shè)備2接收軟件和方法信息，并且把接收的軟件和方法信息存儲在數(shù)據(jù)庫23中(s7)。當(dāng)制造商終端3接收到指示禁用證實(shí)的信息時(shí)，通過制造商終端3的連接結(jié)束。
完成軟件和方法信息的傳送的制造商終端3完成對于專用電路1的連接。另一方面，在每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2側(cè)，制造設(shè)備2的操作者使用例如輸入單元26，并且檢查顯示器25以讀出存儲在數(shù)據(jù)庫23中的軟件和方法信息，并且根據(jù)軟件和方法信息發(fā)出一個(gè)操作命令。例如，通過使用輸入單元26壓下顯示在顯示器25中的操作板發(fā)出操作命令。在接收到操作命令時(shí)，在處理器22中的設(shè)備控制處理器222根據(jù)讀出的軟件和接收信息操作制造單元21(s8)。由此，完成設(shè)備啟動。
另外，對于表示在圖3中的設(shè)備啟動，當(dāng)半導(dǎo)體制造設(shè)備2不具有軟件和方法信息，或者要提供公共軟件和方法信息時(shí)，這些都從制造商終端3傳送。然而，當(dāng)軟件已經(jīng)安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備2中時(shí)，即當(dāng)包括制造單元21以便可控制時(shí)，只可以傳送方法信息。此外，當(dāng)制造設(shè)備的操作者產(chǎn)生方法信息，并且根據(jù)方法信息控制或手動操作制造單元21時(shí)，只可以傳送軟件。
況且，當(dāng)在半導(dǎo)體制造設(shè)備2側(cè)的處理器22的設(shè)備控制處理器222接收軟件和方法信息時(shí)，最好安裝軟件以便能夠自動啟動。
以這種方式，當(dāng)把軟件或方法信息經(jīng)專用電路1集體傳送到多個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備，并且同時(shí)啟動制造設(shè)備時(shí)，能以統(tǒng)一方式啟動相應(yīng)半導(dǎo)體制造設(shè)備。因此，不必依次把軟件和方法信息安裝在相應(yīng)半導(dǎo)體制造設(shè)備2中。況且，由于操作者能把啟動設(shè)備必需的軟件和方法信息集體地傳送到相應(yīng)半導(dǎo)體制造設(shè)備2，所以減小用于在每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2中的安裝的時(shí)間，并且能迅速啟動設(shè)備。
況且，由于以統(tǒng)一方式啟動設(shè)備，所以顯著減少在逐個(gè)啟動設(shè)備時(shí)所犯的操作者的人為錯(cuò)誤。況且，能容易地在整個(gè)工廠中統(tǒng)一制造設(shè)備的方法、軟件、和硬件。結(jié)果，在相同工廠中能容易地制造相同產(chǎn)品。
其次參照表示在圖4中的計(jì)時(shí)圖將描述一種第二設(shè)備啟動操作。
制造商終端3把訪問請求發(fā)送到半導(dǎo)體制造設(shè)備2，進(jìn)一步提供ID號碼和口令，并且判斷為啟用證實(shí)，及把軟件和方法信息傳送到半導(dǎo)體制造設(shè)備2。這種過程與第一設(shè)備啟動的過程(s1)至(s6)類似。
在制造商終端3把軟件和方法信息提供給每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2以便把每個(gè)制造單元21帶入一種可控制狀態(tài)之后，終端3把用于軟件安裝的請求發(fā)出到每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2(s11)。在接收到這種請求時(shí)，在每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2中的設(shè)備控制處理器222安裝軟件(s12)。以后，在制造商終端3側(cè)，操作者使用輸入單元35控制制造單元21。在這種情況下，由操作者輸入的信息與在半導(dǎo)體制造設(shè)備2側(cè)在操作制造單元21時(shí)使用輸入單元226輸入的信息相一致。即，在一個(gè)遠(yuǎn)離半導(dǎo)體制造設(shè)備2的位置中，制造商終端3用來根據(jù)以前傳送的軟件和方法信息控制制造單元21(s6)。
由此，制造單元21的操作與在半導(dǎo)體制造設(shè)備2側(cè)使用輸入單元26的操作類似。由此，完成設(shè)備啟動。
以這種方式，在第二設(shè)備啟動的例子中，進(jìn)一步產(chǎn)生與第一設(shè)備啟動的例子類似的效果、和在第一實(shí)施例中不能得到的效果。即，由于在制造商終端3側(cè)操作半導(dǎo)體制造設(shè)備2，所以啟動設(shè)備的值班操作者能從遠(yuǎn)程區(qū)域啟動設(shè)備，而不用走到半導(dǎo)體制造設(shè)備2所在的工廠6。因此減少至工廠6的往來時(shí)間等，并且能迅速啟動設(shè)備。
其次參照圖5中的計(jì)時(shí)圖描述用來排除故障的操作。當(dāng)半導(dǎo)體制造設(shè)備2用來根據(jù)第一或第二設(shè)備啟動操作制造半導(dǎo)體器件時(shí)，在半導(dǎo)體制造設(shè)備的任一個(gè)中產(chǎn)生故障。
首先，操作半導(dǎo)體制造設(shè)備2和發(fā)現(xiàn)任何故障的操作者使用對應(yīng)半導(dǎo)體制造設(shè)備2的輸入單元26把指示故障產(chǎn)生的信息傳送到制造終端3(s51)。
當(dāng)然，半導(dǎo)體制造設(shè)備2的設(shè)備控制處理器222可以檢測故障，并且根據(jù)檢測的故障檢測信號可以把指示故障產(chǎn)生的信息自動傳送到制造商終端3。況且，可以使用其它裝置，如電話、傳真、和電子郵件而不使用專用電路1，將故障的發(fā)生通知在制造商終端3側(cè)的任何人員。
在這種情況下，制造商終端3需要ID號碼和口令以便判斷客戶的半導(dǎo)體制造設(shè)備2是否是預(yù)登記的制造設(shè)備(s52)。在接收到這種請求時(shí)，制造設(shè)備的操作者使用輸入單元26輸入ID號碼和口令。輸入的ID號碼和口令經(jīng)接口24傳送到制造商終端3側(cè)(s53)。ID號碼和口令由制造商終端3的接口31接收。由接口31接收的ID號碼和口令發(fā)送到處理器32，并且由證實(shí)程序321判斷啟用/禁用證實(shí)(s54)。具體地，在處理器32中的證實(shí)程序321讀出預(yù)存儲在數(shù)據(jù)庫33中的半導(dǎo)體制造設(shè)備2的ID號碼和口令，并且把這些與接收的ID號碼和口令相對比。通過對比，當(dāng)ID號碼和口令與接收的都一致時(shí)，判斷為啟用證實(shí)。此外，在不一致時(shí)，判斷為禁用證實(shí)。指示啟用/禁用證實(shí)的信息從制造商終端3傳送到半導(dǎo)體制造設(shè)備2(s55)。
當(dāng)指示啟用證實(shí)的信息由半導(dǎo)體制造設(shè)備2接收時(shí)，把指示故障內(nèi)容的信息傳送到制造商終端3(s56)。指示故障內(nèi)容的信息可以實(shí)際包括在其中故障實(shí)際出現(xiàn)的方法信息和使用的軟件。對于指示故障內(nèi)容的信息的傳送，例如，當(dāng)處理器22在設(shè)備操作期間接收預(yù)定警報(bào)消息時(shí)，可以響應(yīng)該消息自動產(chǎn)生信息，或者操作制造設(shè)備2的操作者可以經(jīng)輸入單元26輸入由操作者掌握的故障內(nèi)容。
當(dāng)指示故障內(nèi)容的信息由制造商終端3接收時(shí)，故障內(nèi)容顯示在顯示器34中。在制造商側(cè)的人員確認(rèn)顯示在顯示器34中的故障內(nèi)容，按照故障內(nèi)容計(jì)算故障排除費(fèi)用，及進(jìn)行故障排除費(fèi)用請求(s57)。當(dāng)制造商終端3進(jìn)行故障排除費(fèi)用請求時(shí)，故障排除費(fèi)用顯示在半導(dǎo)體制造設(shè)備2的顯示器25中，并且提示選擇是否支付費(fèi)用。具體地，例如，當(dāng)按下顯示在顯示器25中的“確定”按鈕時(shí)，把費(fèi)用支付核對信號傳送到制造商終端3(s58)。當(dāng)按下“取消”按鈕時(shí)，把一個(gè)費(fèi)用不支付核對信號傳送到制造商終端3。
制造商終端3對于每個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2或每個(gè)工廠6把在制造設(shè)備側(cè)的銀行帳戶號碼等預(yù)先存儲在數(shù)據(jù)庫33中，并且根據(jù)銀行帳戶號碼連接到收費(fèi)服務(wù)器(未表示)上，從而在制造設(shè)備側(cè)經(jīng)銀行帳戶可以自動支付費(fèi)用。
另一方面，當(dāng)制造商終端3接收費(fèi)用不支付核對信號時(shí)，半導(dǎo)體制造設(shè)備2的連接結(jié)束。
結(jié)束收費(fèi)的、在制造商終端3側(cè)的操作者判斷是由硬件、軟件、還是方法的設(shè)置產(chǎn)生故障。此外，當(dāng)能確定故障的內(nèi)容時(shí)，例如，按照確定的故障把故障排除信息輸入到輸入單元35，并且由此產(chǎn)生故障排除信息。另外，接口31用來把故障排除信息傳送到半導(dǎo)體制造設(shè)備2(s59)。故障排除信息可以是例如其中確定故障的消息、或者在半導(dǎo)體制造設(shè)備2側(cè)使用的軟件或方法信息。
更具體地說，例如，判斷對于制造設(shè)備的硬件而言，難以根據(jù)方法制造，則傳送用來執(zhí)行困難方法的新軟件。況且，當(dāng)判斷硬件和方法沒有故障時(shí)，判斷軟件有故障，并且傳送新軟件。另外，這里描述的判斷例子僅是一個(gè)例子，并且任何故障內(nèi)容都是相關(guān)的。
接收故障排除信息的半導(dǎo)體制造設(shè)備2的處理器32傳送一個(gè)故障排除信息接收信號，用于把故障排除信息的接收傳送到制造商終端3(s60)，并且把在制造商終端3側(cè)的半導(dǎo)體制造設(shè)備2設(shè)置在一種可操作狀態(tài)(s61)。這種設(shè)置最好由確認(rèn)已經(jīng)傳送故障排除信息接收信號的處理器22自動地進(jìn)行。當(dāng)然，當(dāng)在制造商終端3側(cè)操作半導(dǎo)體制造設(shè)備2時(shí)，如圖3的(s2)至(s5)所示可靠地進(jìn)行證實(shí)處理。僅在判斷為啟用證實(shí)的情況下，才可能進(jìn)行設(shè)置。
在已經(jīng)判斷為啟用證實(shí)的制造商終端3側(cè)，操作者在遠(yuǎn)離半導(dǎo)體制造設(shè)備2的位置中遠(yuǎn)程操作半導(dǎo)體制造設(shè)備2(s62)。半導(dǎo)體制造設(shè)備2的操作信息顯示在半導(dǎo)體制造設(shè)備2的顯示器34中，并且類似地顯示在制造商終端3的顯示器25中。
進(jìn)行遠(yuǎn)程操作的操作者使用顯示器25核對半導(dǎo)體制造設(shè)備2是否正常地操作。如果判斷設(shè)備正常地操作，則然后判斷已經(jīng)排除故障，并且把指示設(shè)備正常操作的信息作為故障判斷結(jié)果傳送。當(dāng)然，不僅考慮排除故障的情況，而且還考慮能確定故障而沒有排除故障的情況。在這種情況下，傳送已確定故障的故障判斷結(jié)果(s63)。故障判斷結(jié)果可以手動產(chǎn)生，但最好由用來按照遠(yuǎn)程操作的操作狀態(tài)的自動判斷故障的故障判斷程序323判斷。
況且，與在制造商終端3側(cè)的故障判斷程序323相類似的故障判斷處理器223也布置在半導(dǎo)體制造設(shè)備2側(cè)的處理器22中，并且通過判斷故障得到的判斷結(jié)果可以傳送到制造商終端3。另外，故障判斷程序可以布置在半導(dǎo)體制造設(shè)備2側(cè)或制造商終端3側(cè)。
進(jìn)行這樣一種故障排除操作，從而能容易和迅速地排除故障而不用把熟悉設(shè)備的操作者從制造商側(cè)送到工廠6。
另外，當(dāng)半導(dǎo)體制造設(shè)備2連接到制造商終端3側(cè)上時(shí)，制造商終端3要求ID號碼和口令，并且進(jìn)行證實(shí)處理，但終端可以連接到設(shè)備2側(cè)而不進(jìn)行證實(shí)處理。
(第二實(shí)施例)本發(fā)明涉及第一實(shí)施例的修改例子。本實(shí)施例涉及其中多個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2不是在相同的工廠中的實(shí)施例。
圖6是示意圖，表示根據(jù)本實(shí)施例的制造設(shè)備的控制系統(tǒng)的總體配置。如圖6中所示，其中經(jīng)專用電路1連接制造商終端3和多個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備2的配置與圖1的配置相類似，但半導(dǎo)體制造設(shè)備2布置在不同的工廠6和7中。在對應(yīng)例子的一個(gè)中，工廠6在國內(nèi)，而一個(gè)工廠7在另一個(gè)國家內(nèi)。
在這種情況下，設(shè)備啟動或故障排除與第一實(shí)施類似地進(jìn)行，并且由此產(chǎn)生與第一實(shí)施例的效果類似的效果。此外，在圖6中表示的例子中，當(dāng)在工廠6和7中同時(shí)產(chǎn)生故障時(shí)，在制造商側(cè)熟悉設(shè)備的操作者通常需要訪問相應(yīng)工廠6和7。另一方面，根據(jù)本實(shí)施例，在制造商3側(cè)能排除故障。因此，能容易和迅速地排除故障。況且，即使對于設(shè)備的啟動，熟悉設(shè)備的操作者也能在制造商側(cè)使用制造商終端3容易和迅速地啟動設(shè)備。因此，操作者不必為了啟動設(shè)備而到國外。當(dāng)然，這甚至能適于在三個(gè)或多個(gè)工廠中制造設(shè)備2的啟動、維護(hù)、及故障處理。
本發(fā)明不限于上述實(shí)施例。
例如，如圖7中所示，控制系統(tǒng)可以具有其中半導(dǎo)體制造設(shè)備2和制造商終端3、及服務(wù)器4連接到網(wǎng)絡(luò)5上的配置。在這種情況下，半導(dǎo)體制造設(shè)備2和制造商終端3經(jīng)網(wǎng)絡(luò)5傳送/接收信息，并且設(shè)備2和終端3能訪問服務(wù)器4以便經(jīng)服務(wù)器4傳送/接收信息。網(wǎng)絡(luò)5的例子包括因特網(wǎng)等，并且制造商終端3使用瀏覽器連接到因特網(wǎng)上。
況且，已經(jīng)描述其中本發(fā)明適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制的例子，但這不受限制。例如，能夠在任何設(shè)備制造領(lǐng)域，如石油工廠設(shè)備、食品制造設(shè)備、服裝制造設(shè)備、及醫(yī)藥制造設(shè)備，提供設(shè)備的方法、提供軟件、排除故障、及進(jìn)行設(shè)備的維護(hù)而沒有任何錯(cuò)誤。
另外，在故障發(fā)生期間的收費(fèi)處理中，通知制造商終端側(cè)故障已經(jīng)發(fā)生，并且隨后按照故障內(nèi)容計(jì)算故障排除費(fèi)用。然而，例如，當(dāng)通過年度合同等進(jìn)行收費(fèi)處理時(shí)，能省去對于每個(gè)產(chǎn)生的故障的收費(fèi)處理。
此外，在上述實(shí)施例中，以上已經(jīng)描述其中制造商終端3用來控制多個(gè)相同類型的半導(dǎo)體制造設(shè)備2的例子，但可以控制多個(gè)不同的半導(dǎo)體制造設(shè)備。在這種情況下，對于相應(yīng)不同的制造設(shè)備傳送不同的方法信息和軟件。
工業(yè)適用性如上所述，本發(fā)明在制造設(shè)備、用來控制制造設(shè)備的制造設(shè)備控制系統(tǒng)、及使用制造設(shè)備控制系統(tǒng)的制造設(shè)備的控制方法的領(lǐng)域中是有效的，且進(jìn)一步在通過計(jì)算機(jī)可讀的、其中記錄用來控制制造設(shè)備的控制程序的記錄介質(zhì)的領(lǐng)域中是有效的。
權(quán)利要求
1.一種經(jīng)通信網(wǎng)絡(luò)控制制造設(shè)備的制造設(shè)備控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)包括一個(gè)接口，連接到通信網(wǎng)絡(luò)上，并且向通信網(wǎng)絡(luò)傳送信息和從其接收信息；一個(gè)處理器，連接到所述接口上，并且把控制制造設(shè)備的方法信息和軟件的至少一個(gè)從接口經(jīng)通信網(wǎng)絡(luò)傳送到制造設(shè)備；及存儲裝置，連接到所述處理器上，并且存儲所述方法信息和軟件的至少一個(gè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造設(shè)備控制系統(tǒng)，其中所述處理器包括設(shè)備控制裝置，用來經(jīng)所述通信網(wǎng)絡(luò)控制所述制造設(shè)備。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造設(shè)備控制系統(tǒng)，其中所述處理器包括判斷裝置，用來根據(jù)從所述制造設(shè)備經(jīng)所述接口接收的故障信息判斷故障的原因。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造設(shè)備控制系統(tǒng)，其中所述制造設(shè)備的控制系統(tǒng)經(jīng)所述通信網(wǎng)絡(luò)連接到多個(gè)所述制造設(shè)備上。
5.一種制造設(shè)備，包括一個(gè)制造單元；一個(gè)接口，連接到通信網(wǎng)絡(luò)上，并且向通信網(wǎng)絡(luò)傳送信息和從其接收信息；一個(gè)處理器，連接到所述接口上，并且從接口經(jīng)通信網(wǎng)絡(luò)得到控制所述制造單元的軟件和方法信息的至少一個(gè)；及存儲裝置，連接到所述處理器上，用來存儲所述方法信息和軟件的至少一個(gè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制造設(shè)備，其中所述處理器包括設(shè)備控制裝置，用來根據(jù)來自所述通信網(wǎng)絡(luò)的信號把所述制造單元設(shè)置成可控制的。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制造設(shè)備，其中所述處理器包括判斷裝置，用來根據(jù)通過控制所述制造單元得到的所述制造單元的操作內(nèi)容，判斷所述制造設(shè)備的故障原因。
8.一種制造設(shè)備的控制方法，包括經(jīng)通信網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行對于制造設(shè)備的連接請求；響應(yīng)對于來自所述制造設(shè)備的對識別信息的請求傳送識別信息；及傳送用于控制所述制造設(shè)備的方法信息和軟件的至少一個(gè)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造設(shè)備的控制方法，進(jìn)一步包括在傳送所述方法信息和軟件的至少一個(gè)之后，經(jīng)通信網(wǎng)絡(luò)把一個(gè)控制信號傳送到所述制造設(shè)備以控制所述制造設(shè)備。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造設(shè)備的控制方法，進(jìn)一步包括根據(jù)確定在所述制造設(shè)備中產(chǎn)生的故障內(nèi)容的信息產(chǎn)生確定故障原因的故障判斷結(jié)果，并且把故障判斷結(jié)果傳送到所述制造設(shè)備。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造設(shè)備的控制方法，進(jìn)一步包括根據(jù)確定在所述制造設(shè)備中產(chǎn)生的故障的內(nèi)容的信息，經(jīng)通信網(wǎng)絡(luò)把一個(gè)控制信號傳送到所述制造設(shè)備以控制所述制造設(shè)備。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造設(shè)備的控制方法，進(jìn)一步包括根據(jù)確定在所述制造設(shè)備中產(chǎn)生的故障的內(nèi)容的信息，傳送用來排除故障的方法信息和軟件的至少一個(gè)。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造設(shè)備的控制方法，進(jìn)一步包括根據(jù)確定在所述制造設(shè)備中產(chǎn)生的故障的內(nèi)容的信息，傳送用來排除故障的方法信息和軟件的至少一個(gè)，其中當(dāng)用來排除故障的費(fèi)用信息被呈現(xiàn)給所述制造設(shè)備，并且從所述制造設(shè)備接收到指示確定要支付排除所述故障的費(fèi)用信息時(shí)，向所述制造設(shè)備傳送用來排除所述故障的方法信息和軟件的至少一個(gè)。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造設(shè)備的控制方法，其中布置多個(gè)所述制造設(shè)備，并且相對于所述多個(gè)制造設(shè)備，進(jìn)行所述連接請求、和所述識別信息的傳送及所述方法信息和軟件的至少一個(gè)的傳送。
15.一種制造設(shè)備的控制方法，該制造設(shè)備包括一個(gè)制造單元、一個(gè)控制制造單元的處理器、和一個(gè)連接到處理器上并且向通信網(wǎng)絡(luò)傳送信息和從其接收信息的接口，所述方法包括經(jīng)所述接口從所述通信網(wǎng)絡(luò)接收控制制造設(shè)備的軟件和方法信息的至少一個(gè)；和根據(jù)所述接收的軟件和方法信息的至少一個(gè)控制所述制造設(shè)備。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的制造設(shè)備的控制方法，進(jìn)一步包括根據(jù)經(jīng)所述接口從所述通信網(wǎng)絡(luò)得到的控制信號控制所述制造單元。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的制造設(shè)備的控制方法，其中所述處理器包括根據(jù)基于所述接收的軟件和方法信息的至少一個(gè)控制的所述制造單元的操作內(nèi)容，檢測所述制造設(shè)備的故障；經(jīng)通信網(wǎng)絡(luò)傳送所述檢測到的故障的內(nèi)容，并且提示用來排除故障的方法信息和軟件的至少一個(gè)；及根據(jù)所述提出的方法信息和軟件的至少一個(gè)，操作所述制造單元。
18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的制造設(shè)備的控制方法，其中所述處理器包括根據(jù)基于所述接收的軟件和方法信息的至少一個(gè)控制的所述制造單元的操作內(nèi)容，檢測所述制造設(shè)備的故障；經(jīng)通信網(wǎng)絡(luò)傳送所述檢測到的故障的內(nèi)容，并且提示用來排除故障的方法信息和軟件的至少一個(gè)；根據(jù)所述提出的方法信息和軟件的至少一個(gè)，操作所述制造單元；及根據(jù)所述制造單元的操作內(nèi)容判斷所述故障的原因。
19.一種計(jì)算機(jī)可讀記錄介質(zhì)，其中記錄制造設(shè)備的控制程序以實(shí)現(xiàn)一個(gè)使包括接收單元的制造設(shè)備請求經(jīng)通信網(wǎng)絡(luò)的連接的功能；一個(gè)引起按照對識別信息的請求從接收單元傳送識別信息的功能；及一個(gè)引起傳送控制制造設(shè)備的方法信息和軟件的至少一個(gè)的功能。
20.一種計(jì)算機(jī)可讀記錄介質(zhì)，其中記錄用來控制制造設(shè)備的程序，該制造設(shè)備包括一個(gè)制造單元、一個(gè)控制制造單元的處理器、和一個(gè)連接到處理器上以借助于通信網(wǎng)絡(luò)傳送/接收信息的接口，用以實(shí)現(xiàn)一個(gè)引起從所述通信網(wǎng)絡(luò)經(jīng)所述接口接收控制制造設(shè)備的軟件和方法信息的至少一個(gè)的功能；和一個(gè)引起根據(jù)所述軟件和方法信息的至少一個(gè)控制所述制造設(shè)備的功能。
全文摘要
公開了一種制造設(shè)備的控制系統(tǒng)，該控制系統(tǒng)控制一個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備(2)，并且包括一個(gè)接口(31)，連接到一個(gè)專用電路(1)上，并且把信息傳送到專用電路(1)和從其接收信息；一個(gè)處理器(32)，把用來控制制造設(shè)備(2)的方法信息和軟件的至少一個(gè)從接口(31)經(jīng)專用電路(1)傳送到具有接口(24)的制造設(shè)備(2)；及一個(gè)數(shù)據(jù)庫(33)，連接到處理器(32)上，并且存儲方法信息和軟件的至少一個(gè)。
文檔編號G06F11/30GK1402879SQ00816362
公開日2003年3月12日 申請日期2000年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2000年9月28日
發(fā)明者瀨田涉二 申請人:株式會社東芝