技術(shù)編號：6619483
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種使用網(wǎng)絡(luò)控制諸如半導體制造設(shè)備之類的制造設(shè)備的控制方法、一種制造設(shè)備的控制系統(tǒng)、一種其中記錄有制造設(shè)備的控制程序的計算機可讀記錄介質(zhì)、及由這些控制的制造設(shè)備。背景技術(shù) 諸如半導體制造設(shè)備之類的制造設(shè)備的制造商至今在生產(chǎn)制造設(shè)備之后，把制造的設(shè)備交付給購買人。對于這種制造設(shè)備，在最近幾年，硬件配置一直由計算機控制，并且計算機的操作在當今情況下一直由軟件、而不是由硬件控制。當啟動制造設(shè)備的生產(chǎn)線的設(shè)備、修理故障設(shè)備、及在硬件改進之后軟件錯誤地操作...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
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