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溫度控制系統(tǒng)及其方法與流程

文檔序號(hào):12717628閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用于一受測(cè)裝置的溫度控制系統(tǒng),其特征在于,包含:

一第一通道,連接至一第一閥以自該第一閥接收一第一空氣;

一第二通道,連接至一第二閥以自該第二閥接收一第二空氣;

一加熱元件,設(shè)置于該第一通道及該第二通道下游以使用一輸入功率對(duì)該第一空氣與該第二空氣的混合物進(jìn)行加熱,從而提供具有一溫度的一混合空氣;

一DUT腔室,安置于該加熱元件下游以接收該混合空氣且用以容納該DUT;

一轉(zhuǎn)換器,用以接收一交流電功率且提供一直流電功率;

一第一比例-積分-微分控制器,用以根據(jù)該加熱元件的一第一量測(cè)信號(hào)與一第一設(shè)定點(diǎn)之間的一差異來提供一第一輸入信號(hào),其中該第一量測(cè)信號(hào)代表由該加熱元件所消耗的一功率值,且該第一設(shè)定點(diǎn)代表待供應(yīng)至該加熱元件的一所要輸入功率;及

至少一切換調(diào)節(jié)器,耦接至該轉(zhuǎn)換器以自該轉(zhuǎn)換器接收該直流電功率且耦接至該第一比例-積分-微分控制器以接收該第一輸入信號(hào),且該至少一切換調(diào)節(jié)器用以調(diào)整供應(yīng)至該加熱元件的該輸入功率。

2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,進(jìn)一步包含一電流感測(cè)器及一電壓感測(cè)器,其中該電流感測(cè)器用以提供代表供應(yīng)至該加熱元件的一電流的一電流感測(cè)信號(hào),且該電壓感測(cè)器用以提供代表施加至該加熱元件的一電壓的一電壓感測(cè)信號(hào),且其中該第一量測(cè)信號(hào)根據(jù)該電流感測(cè)信號(hào)及該電壓感測(cè)信號(hào)而產(chǎn)生。

3.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,進(jìn)一步包含設(shè)置于該第一通道及該第二通道下游的一加熱器單元,其中該加熱器單元包含該加熱元件及一混合腔室,且該加熱元件位于該混合腔室中。

4.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng),其特征在于,進(jìn)一步包含一出口溫度感測(cè)器及一第二比例-積分-微分控制器,其中該出口溫度感測(cè)器用以提供代表該混合腔室的一當(dāng)前出口溫度的一第二量測(cè)信號(hào),且該第二比例-積分-微分控制器用以根據(jù)該第二量測(cè)信號(hào)與代表該混合腔室的一所要出口溫度的一第二設(shè)定點(diǎn)之間的一差異而提供一第二輸入信號(hào)作為該第一設(shè)定點(diǎn)。

5.如權(quán)利要求4所述的系統(tǒng),其特征在于,進(jìn)一步包含一受測(cè)裝置溫度感測(cè)器及一第三比例-積分-微分控制器,其中該受測(cè)裝置溫度感測(cè)器用以提供代表該受測(cè)裝置的一當(dāng)前溫度的一第三量測(cè)信號(hào),且該第三比例-積分-微分控制器用以根據(jù)該第三量測(cè)信號(hào)與代表該受測(cè)裝置的一所要溫度的一第三設(shè)定點(diǎn)之間的一差異而提供一第三輸入信號(hào)作為該第二設(shè)定點(diǎn)。

6.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,進(jìn)一步包含一受測(cè)裝置溫度感測(cè)器及一第三比例-積分-微分控制器,其中該受測(cè)裝置溫度感測(cè)器用以提供代表該受測(cè)裝置的一當(dāng)前溫度的一第三量測(cè)信號(hào),且該第三比例-積分-微分控制器用以根據(jù)該第三量測(cè)信號(hào)與代表該受測(cè)裝置的一所要溫度的一第三設(shè)定點(diǎn)之間的一差異而提供一第三輸入信號(hào)作為該第一設(shè)定點(diǎn)。

7.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,該至少一切換調(diào)節(jié)器用以根據(jù)該第一輸入信號(hào)來調(diào)整該輸入功率,且其中該至少一切換調(diào)節(jié)器包括多個(gè)切換調(diào)節(jié)器,該多個(gè)調(diào)節(jié)器中的每一個(gè)具有一不同的電壓步長且提供一對(duì)應(yīng)的不同輸出功率。

8.如權(quán)利要求7所述的系統(tǒng),其特征在于,該多個(gè)切換調(diào)節(jié)器的輸出功率的一總和等于該所要輸入功率。

9.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,該第一通道包含一內(nèi)通道及一外通道,且該第一空氣以一第一方向流入該外通道中,且以與該第一方向相反的一第二方向流入該內(nèi)通道中。

10.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng),其特征在于,進(jìn)一步包含設(shè)置于該第一通道及該第二通道下游的一加熱通道,其中該加熱元件設(shè)置于該加熱通道中,該第一空氣流動(dòng)通過該外通道及該內(nèi)通道并接著流動(dòng)至該加熱通道中,且該第一空氣以與該第二方向相反的一第三方向流入該加熱通道中。

11.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,該第二空氣為被過濾的一周圍空氣,且該第一空氣在流動(dòng)至該第一通道中之前經(jīng)由一壓縮機(jī)單元進(jìn)行處理。

12.如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng),其特征在于,進(jìn)一步包含:

一主控制單元,耦接至該第一閥及該第二閥,其中該主控制單元控制該第一閥以調(diào)節(jié)流動(dòng)至該第一通道中的該第一空氣的一流量,且控制該第二閥以調(diào)節(jié)流動(dòng)至該第二通道中的該第二空氣的一流量。

13.如權(quán)利要求12所述的系統(tǒng),其特征在于,該主控制單元控制該第一空氣流動(dòng)至該第一通道中前的一溫度,且根據(jù)該輸入功率、該第二空氣的該流量、以及該第一空氣的該流量及該溫度來控制該混合空氣的該溫度。

14.一種用于一受測(cè)裝置的溫度控制系統(tǒng),其特征在于,包含:

一第一通道,連接至一第一閥以自該第一閥接收一第一空氣;

一第二通道,連接至一第二閥以自該第二閥接收一第二空氣;

一加熱元件,設(shè)置于該第一通道及該第二通道下游以根據(jù)一輸入功率對(duì)該第一空氣或該第二空氣進(jìn)行加熱,從而將具有一溫度的一空氣提供至設(shè)置于該加熱元件下游的一受測(cè)裝置腔室;及

一控制電路,用以根據(jù)該加熱元件的一功率量測(cè)信號(hào)以及該受測(cè)裝置的一所要溫度或一混合腔室的一所要出口溫度來調(diào)整該輸入功率,其中該加熱元件位于該混合腔室中。

15.如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng),其特征在于,該控制電路包括一第一比例-積分-微分控制器,該第一比例-積分-微分控制器用以根據(jù)該加熱元件的一第一量測(cè)信號(hào)及一第一設(shè)定點(diǎn)來提供一第一輸入信號(hào),其中該第一量測(cè)信號(hào)代表由該加熱元件所消耗的一功率值,該第一設(shè)定點(diǎn)代表待供應(yīng)至該加熱元件的一所要輸入功率。

16.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng),其特征在于,進(jìn)一步包含一電流感測(cè)器及一電壓感測(cè)器,其中該電流感測(cè)器用以提供代表供應(yīng)至該加熱元件的一電流的一電流感測(cè)信號(hào),且該電壓感測(cè)器用以提供代表施加至該加熱元件的一電壓的一電壓感測(cè)信號(hào),且其中該第一量測(cè)信號(hào)根據(jù)該電流感測(cè)信號(hào)及該電壓感測(cè)信號(hào)而產(chǎn)生。

17.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng),其特征在于,進(jìn)一步包含設(shè)置于該第一通道及該第二通道下游的一加熱器單元,其中該加熱器單元包含該加熱元件及一混合腔室,該加熱元件位于該混合腔室中。

18.如權(quán)利要求17所述的系統(tǒng),其特征在于,進(jìn)一步包含一出口溫度感測(cè)器及一第二比例-積分-微分控制器,其中該出口溫度感測(cè)器用以提供代表該混合腔室的一當(dāng)前出口溫度的一第二量測(cè)信號(hào),且該第二比例-積分-微分控制器用以根據(jù)該第二量測(cè)信號(hào)與代表該混合腔室的一所要出口溫度的一第二設(shè)定點(diǎn)之間的一差異而提供一第二輸入信號(hào)作為該第一設(shè)定點(diǎn)。

19.如權(quán)利要求18所述的系統(tǒng),其特征在于,進(jìn)一步包含一受測(cè)裝置溫度感測(cè)器及一第三比例-積分-微分控制器,其中該受測(cè)裝置溫度感測(cè)器用以提供代表該受測(cè)裝置的一當(dāng)前溫度的一第三量測(cè)信號(hào),且該第三比例-積分-微分控制器經(jīng)組態(tài)以根據(jù)該第三量測(cè)信號(hào)與代表該受測(cè)裝置的該所要溫度的一第三設(shè)定點(diǎn)之間的一差異而提供一第三輸入信號(hào)作為該第二設(shè)定點(diǎn)。

20.一種用于一受測(cè)裝置的一溫度控制系統(tǒng)的溫度控制方法,該方法包含:

自一第一閥接收一第一空氣;

自一第二閥接收一第二空氣;

混合該第一空氣與該第二空氣以形成一混合空氣;

根據(jù)一加熱元件的一功率量測(cè)信號(hào)以及該受測(cè)裝置的一所要溫度或一混合腔室的一所要出口溫度來計(jì)算一輸入功率,其中該加熱元件位于該混合腔室中;及

借由將該輸入功率施加至該加熱元件而用該輸入功率來對(duì)該混合空氣進(jìn)行加熱。

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