技術(shù)特征：
1.一種高精度氣體溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，包括：氣體傳輸管路；與所述氣體傳輸管路連通的溫度控制回路，供冷卻液在其中流動，所述冷卻液與氣體傳輸管路中的氣體混合，以通過熱交換調(diào)節(jié)氣體傳輸管路中的氣體的溫度；控制器，用于調(diào)節(jié)所述溫度控制回路中冷卻液的溫度；所述溫度控制回路依次包括制冷回路和精調(diào)回路，其中，所述制冷回路用于帶走氣體傳輸管路內(nèi)抽入的氣體的大部分熱量，所述精調(diào)回路用于進(jìn)一步將氣體的溫度控制到第一預(yù)設(shè)精度范圍內(nèi)；所述氣體傳輸管路的進(jìn)氣口處設(shè)置有第一熱交換器；所述制冷回路包括：供冷卻液流動的第一進(jìn)水管路和第一回水管路，所述第一進(jìn)水管路與一冷卻液的進(jìn)水口連通，所述第一回水管路與一冷卻液的回水口連通，所述第一進(jìn)水管路和第一回水管路與所述第一熱交換器連通；設(shè)置于所述第一回水管路上且與所述第一熱交換器連通的第一電動兩通閥；所述第一回水管路于所述第一熱交換器和第一電動兩通閥之間的節(jié)點(diǎn)與所述第一進(jìn)水管路連通；所述氣體傳輸管路上設(shè)置有與所述第一熱交換器連通的第二熱交換器；所述精調(diào)回路包括：供冷卻液流動的第二進(jìn)水管路和第二回水管路，所述第二進(jìn)水管路與所述冷卻液的進(jìn)水口連通，所述第二回水管路與所述冷卻液的回水口連通，所述第二進(jìn)水管路和第二回水管路與所述第二熱交換器連通；設(shè)置于所述第二回水管路上且與所述第二熱交換器連通的加熱器；設(shè)置于所述第二回水管路上且與所述加熱器連通的第二電動兩通閥；所述第二回水管路于所述加熱器和第二電動兩通閥之間的節(jié)點(diǎn)與所述第二進(jìn)水管路連通；所述精調(diào)回路后還設(shè)有恒溫回路，所述恒溫回路用于進(jìn)一步將氣體的溫度控制到第二預(yù)設(shè)精度范圍內(nèi)，所述第二預(yù)設(shè)精度范圍小于第一預(yù)設(shè)精度范圍，所述氣體傳輸管路接近于出氣口處設(shè)置有與所述第二熱交換器連通的第三熱交換器；所述恒溫回路包括：與所述第三熱交換器連通的冷卻液流通回路；設(shè)置于所述冷卻液流通回路上的第三循環(huán)泵，所述第三循環(huán)泵與所述第三熱交換器連通。2.如權(quán)利要求1所述的高精度氣體溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，還包括設(shè)置于所述進(jìn)水口附近的第七溫度傳感器。3.如權(quán)利要求1所述的高精度氣體溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第一熱交換器的進(jìn)氣位置設(shè)有第一溫度傳感器，所述第三熱交換器出氣位置設(shè)有第六溫度傳感器。4.如權(quán)利要求2所述的高精度氣體溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第一熱交換器的出氣位置設(shè)有第二溫度傳感器，所述第一熱交換器與第一電動兩通閥之間的第一回水管路上設(shè)有第三溫度傳感器，所述控制器根據(jù)所述第二、第三和第七溫度傳感器分別測得的溫度調(diào)節(jié)所述第一電動兩通閥的開度，以降低所述第一進(jìn)水管路和第一回水管路中冷卻液的溫度。5.如權(quán)利要求2所述的高精度氣體溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第二熱交換器出氣位置設(shè)有第四溫度傳感器，所述加熱器與第二電動兩通閥之間的第二回水管路上設(shè)有第五溫度傳感器，所述控制器根據(jù)所述第四、第五和第七溫度傳感器分別測得的溫度調(diào)節(jié)所述第二電動兩通閥的開度，以降低所述第二進(jìn)水管路和第二回水管路中冷卻液的溫度。6.如權(quán)利要求5所述的高精度氣體溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器根據(jù)所述第四、第五和第七溫度傳感器分別測得的溫度調(diào)節(jié)所述加熱器，以升高所述第二進(jìn)水管路和第二回水管路中冷卻液的溫度。7.如權(quán)利要求1所述的高精度氣體溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器包括PID控制器和PLC控制器。8.如權(quán)利要求1所述的高精度氣體溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，在所述制冷回路中設(shè)有第一手動調(diào)壓閥，在所述精調(diào)回路中設(shè)有第二手動調(diào)壓閥。9.如權(quán)利要求1所述的高精度氣體溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第一進(jìn)水管路上設(shè)有與所述第一熱交換器連通的第一循環(huán)泵。10.如權(quán)利要求1所述的高精度氣體溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第二進(jìn)水管路上設(shè)有與所述第二熱交換器連通的第二循環(huán)泵。11.一種高精度氣體溫度控制方法，其特征在于，采用如權(quán)利要求1所述的高精度氣體溫度控制系統(tǒng)，所述方法包括：將氣體抽入氣體傳輸管路；使冷卻液流入溫度控制回路；通過控制器調(diào)節(jié)所述溫度控制回路中冷卻液的溫度，將所述冷卻液與氣體傳輸管路中的氣體混合，通過熱交換調(diào)節(jié)氣體傳輸管路中的氣體的溫度。12.如權(quán)利要求11所述的高精度氣體溫度控制方法，其特征在于，通過控制器調(diào)節(jié)所述溫度控制回路中冷卻液的溫度，將所述冷卻液與氣體傳輸管路中的氣體混合，通過熱交換調(diào)節(jié)氣體傳輸管路中的氣體的溫度的步驟包括：通過控制器調(diào)節(jié)所述制冷回路中冷卻液的溫度，所述制冷回路帶走氣體傳輸管路內(nèi)抽入的氣體的大部分熱量；冷卻液流入精調(diào)回路，通過控制器調(diào)節(jié)所述精調(diào)回路中冷卻液的溫度，所述精調(diào)回路進(jìn)一步將氣體的溫度控制到第一預(yù)設(shè)精度范圍內(nèi)；從所述精調(diào)回路流出的冷卻液流入恒溫回路，所述恒溫回路進(jìn)一步將氣體的溫度控制到第二預(yù)設(shè)精度范圍內(nèi)。13.如權(quán)利要求12所述的高精度氣體溫度控制方法，其特征在于，通過控制器調(diào)節(jié)所述制冷回路中冷卻液的溫度，所述制冷回路帶走氣體傳輸管路內(nèi)抽入的氣體的大部分熱量的步驟包括：冷卻液從第一進(jìn)水管路流入并經(jīng)第一回水管路流出；氣體傳輸管路內(nèi)抽入的氣體進(jìn)入第一熱交換器；控制器根據(jù)溫度傳感器測得的溫度調(diào)節(jié)所述第一電動兩通閥的開度，以降低所述第一進(jìn)水管路和第一回水管路中冷卻液的溫度；降低溫度后的冷卻液與氣體在第一熱交換器中混合，通過熱交換帶走所述氣體的大部分熱量。14.如權(quán)利要求13所述的高精度氣體溫度控制方法，其特征在于，冷卻液流入精調(diào)回路，通過控制器調(diào)節(jié)所述精調(diào)回路中冷卻液的溫度，所述精調(diào)回路進(jìn)一步將氣體的溫度控制到第一預(yù)設(shè)精度范圍內(nèi)的步驟包括：冷卻液從第二進(jìn)水管路流入并經(jīng)第二回水管路流出；經(jīng)所述第一熱交換器帶走大部分熱量后的氣體進(jìn)入第二熱交換器；控制器根據(jù)溫度傳感器測得的溫度調(diào)節(jié)所述第二電動兩通閥的開度，以降低所述第二進(jìn)水管路和第二回水管路中冷卻液的溫度，或者，控制器根據(jù)溫度傳感器測得的溫度調(diào)節(jié)所述加熱器，以升高所述第二進(jìn)水管路和第二回水管路中冷卻液的溫度；降低溫度后或升高溫度后的冷卻液與氣體在第二熱交換器中混合，通過熱交換進(jìn)一步將氣體的溫度控制到第一預(yù)設(shè)精度范圍內(nèi)。15.如權(quán)利要求14所述的高精度氣體溫度控制方法，其特征在于，從所述精調(diào)回路流出的冷卻液流入恒溫回路，所述恒溫回路進(jìn)一步將氣體的溫度控制到第二預(yù)設(shè)精度范圍內(nèi)的步驟包括：從第二進(jìn)水管路流出的冷卻液進(jìn)入冷卻液流通回路；經(jīng)所述第二熱交換器控制到第一預(yù)設(shè)精度范圍內(nèi)的氣體進(jìn)入第三熱交換器，冷卻液與氣體在第三熱交換器中混合，通過熱交換進(jìn)一步將氣體的溫度控制到第二預(yù)設(shè)精度范圍內(nèi)。