專利名稱：一種向劑量控制器中輸入工藝參數(shù)的方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)計(jì)領(lǐng)域，尤其涉及一種向劑量控制器中輸入工藝參數(shù)的 方法及裝置。
背景技術(shù)：
在集成電路的制造過程中，摻雜工藝是一項(xiàng)非常重要的生產(chǎn)工藝程序，它被廣泛 應(yīng)用于集成電路制造的全過程。針對不同功能的產(chǎn)品摻入雜質(zhì)的元素、雜質(zhì)離子的數(shù)量 (即劑量)及摻雜深度都需要經(jīng)過精確控制，避免生產(chǎn)出的產(chǎn)品不能達(dá)到設(shè)計(jì)要求而導(dǎo)致 產(chǎn)品報(bào)廢的問題。目前，在集成電路制造過程中，摻雜工序主要是通過離子注入機(jī)來實(shí)現(xiàn)，劑量控制 器是離子注入機(jī)的核心部件，主要用于精確控制摻入雜質(zhì)離子的劑量；如圖1所示為目前 國內(nèi)6英寸集成電路所用到的離子注入機(jī)的劑量控制器的結(jié)構(gòu)示意圖，該離子注入機(jī)的型 號比較老，在集成電路制造工藝過程中需要注入離子時(shí)，操作人員根據(jù)當(dāng)前的工藝規(guī)定，通 過手動的方式在手動輸入按鍵電路將待注入的離子的劑量及相應(yīng)的修正系數(shù)(該修正系 數(shù)用于修正生產(chǎn)線上同型號機(jī)臺間在劑量控制方面的偏差)輸入到劑量控制器中，以控制 摻入雜質(zhì)離子的劑量?，F(xiàn)有技術(shù)通過手動方式將離子劑量與修正系數(shù)輸入至劑量控制器的方式雖然能 夠在一定程度上實(shí)現(xiàn)精確控制離子的注入劑量，但是仍然還存在以下缺陷(1)由于通過操作人員手動的輸入待注入的離子的相關(guān)參數(shù)，很可能會由于人為 原因而出錯，從而導(dǎo)致生產(chǎn)出的產(chǎn)品達(dá)不到設(shè)計(jì)要求而產(chǎn)品報(bào)廢的問題；一般情況下，成熟 的集成電路生產(chǎn)線存在上百種不同類型的劑量、修正系數(shù)，需要操作人員記住每種產(chǎn)品每 個(gè)工序需要注入的劑量及修正系數(shù)是件很因難的事情，并且很容易出現(xiàn)劑量與修正系數(shù)匹 配錯誤而導(dǎo)致向劑量控制器輸入數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性較低、產(chǎn)品報(bào)廢率較高的問題。(2)在注入離子的全過程都沒有運(yùn)行記錄，在后續(xù)若產(chǎn)品出現(xiàn)異常時(shí)，無法追查產(chǎn) 品出現(xiàn)異常的原因，從而造成故障排查較難的問題。如集成電路的生產(chǎn)周期約為7-30天， 生產(chǎn)流程通常有數(shù)百個(gè)工藝程序，一旦產(chǎn)品出現(xiàn)異常時(shí)很難排查故障。上述兩個(gè)技術(shù)問題是在集成電路工藝生產(chǎn)過程中注入離子所經(jīng)常面臨的問題，急 切需要一種解決方案來解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例提供一種向劑量控制器中輸入工藝參數(shù)的方法及裝置，以解決現(xiàn)有 技術(shù)中由于人為因素向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的準(zhǔn)確性較低而導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢率較高的 問題。一種向劑量控制器中輸入工藝參數(shù)的裝置，包括輸入設(shè)備、中央處理器設(shè)備、工藝 參數(shù)存儲設(shè)備以及模擬按鍵電路設(shè)備，其中工藝參數(shù)存儲設(shè)備，用于以菜單形式存儲工藝參數(shù)；
輸入設(shè)備，用于輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的輸入請求，該輸入請求攜 帶有待輸入工藝參數(shù)的菜單的標(biāo)識信息；中央處理器設(shè)備，用于根據(jù)所述標(biāo)識信息從所述工藝參數(shù)存儲設(shè)備中獲取與標(biāo)識 對應(yīng)的菜單，向所述模擬按鍵電路設(shè)備發(fā)送輸入工藝參數(shù)的指令；模擬按鍵電路設(shè)備，用于根據(jù)所述指令向劑量控制器輸入所述菜單中的工藝參數(shù)。一種采用上述裝置向劑量控制器中輸入工藝參數(shù)的方法，在工藝參數(shù)存儲設(shè)備中 以菜單的形式存儲工藝參數(shù)，包括以下步驟輸入設(shè)備輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的輸入請求，該輸入請求攜帶有待 輸入工藝參數(shù)的菜單的標(biāo)識信息；中央處理器設(shè)備根據(jù)所述輸入設(shè)備輸入的標(biāo)識信息，從所述工藝參數(shù)存儲設(shè)備中 獲取與標(biāo)識對應(yīng)的菜單，并向所述模擬按鍵電路設(shè)備發(fā)送輸入工藝參數(shù)的指令；模擬按鍵電路設(shè)備，用于根據(jù)所述中央處理器設(shè)備發(fā)送的指令，向劑量控制器輸 入所述菜單中的工藝參數(shù)。本發(fā)明實(shí)施例中，在工藝參數(shù)存儲設(shè)備中以菜單的形式存儲工藝參數(shù)，當(dāng)輸入設(shè) 備輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的輸入請求(該輸入請求攜帶有待輸入工藝參數(shù) 的菜單的標(biāo)識信息)；中央處理器設(shè)備根據(jù)所述輸入設(shè)備輸入的標(biāo)識信息，從所述工藝參 數(shù)存儲設(shè)備中獲取與標(biāo)識對應(yīng)的菜單，并向所述模擬按鍵電路設(shè)備發(fā)送輸入工藝參數(shù)的指 令；模擬按鍵電路設(shè)備，用于根據(jù)所述中央處理器設(shè)備發(fā)送的指令，向劑量控制器輸入所述 菜單中的工藝參數(shù)。采用本發(fā)明技術(shù)方案，在需要向劑量控制器中輸入工藝參數(shù)時(shí)，由中央 處理器設(shè)備通過模擬按鍵設(shè)備將工藝參數(shù)輸入至劑量控制器中，克服了現(xiàn)有技術(shù)通過人工 向劑量控制器輸入工藝參數(shù)而由于人為因素導(dǎo)致輸入工藝參數(shù)準(zhǔn)確性較低繼而導(dǎo)致產(chǎn)品 報(bào)廢率較高的問題。


圖1為本發(fā)明實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例中采用如圖1所示的系統(tǒng)向劑量控制器輸入數(shù)據(jù)的方法流程 圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例中提供的向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的具體實(shí)現(xiàn)方式的方 法流程圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合說明書附圖對本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)的描述。參見圖1，為本發(fā)明實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意 圖，該結(jié)構(gòu)包括劑量控制器1與劑量控制管理裝置2，其中，劑量控制器1包括手動輸入按鍵 電路11與控制器復(fù)位電路12 ；劑量控制管理裝置2包括中央處理器設(shè)備21、顯示設(shè)備22、 工藝參數(shù)存儲設(shè)備23、運(yùn)行記錄存儲設(shè)備24、時(shí)鐘調(diào)節(jié)模塊25、輸入設(shè)備沈、模擬按鍵電路 設(shè)備27、按鍵反饋電路觀以及同步復(fù)位電路四，其中模擬按鍵電路設(shè)備27、按鍵反饋電路 28以及同步復(fù)位電路四組成劑量控制器接口電路，該接口電路用于與劑量控制器1進(jìn)行信息交互，以完成向劑量控制器1輸入工藝參數(shù)(如參雜離子的劑量及其修正系數(shù))；其中中央處理器設(shè)備21，用于對整個(gè)劑量控制管理裝置2中的各個(gè)設(shè)備進(jìn)行控制，如 接收輸入設(shè)備26輸入的信息，并根據(jù)輸入信息控制其他設(shè)備進(jìn)行相應(yīng)的操作。輸入設(shè)備沈，與中央處理器設(shè)備21的外部中斷引腳相連，作為整個(gè)劑量控制管理 裝置2的輸入設(shè)備，為操作人員提供編輯菜單與調(diào)選菜單的平臺。顯示設(shè)備22，與中央處理器設(shè)備21相連，作為劑量控制管理裝置2的顯示界面，以 顯示操作行為與報(bào)警提示等，該顯示設(shè)備22可采用具備圖文功能的IXD(Liquid Crystal Display Panel，液晶顯示屏)顯示器實(shí)現(xiàn)。工藝參數(shù)存儲設(shè)備23，與中央處理器設(shè)備21相連，用于接收到中央處理器設(shè)備21 的控制指令之后，以菜單的形式存儲操作人員通過輸入設(shè)備沈輸入的工藝參數(shù)(如劑量 與修正系數(shù))，該工藝參數(shù)存儲設(shè)備23可采用大容量的EEPROM(ElectricalIy Erasable Programmable Read-Only Memory，電可擦可編程只讀存儲器)芯片或其他較為常規(guī)的存儲 芯片實(shí)現(xiàn)。運(yùn)行記錄存儲設(shè)備M，與中央處理器設(shè)備21連接，用于實(shí)時(shí)記錄工藝參數(shù)存儲設(shè) 備23中存儲的菜單被調(diào)用的起始時(shí)間、終止時(shí)間、被調(diào)用的菜單的標(biāo)識信息(如菜單名稱、 ID號)等運(yùn)行記錄信息。時(shí)鐘調(diào)節(jié)模塊25，與中央處理器設(shè)備21連接，用于為劑量控制管理裝置2提供準(zhǔn) 確的實(shí)時(shí)時(shí)間，并在接收到中央處理器設(shè)備21的時(shí)間調(diào)整指令之后，根據(jù)輸入設(shè)備沈輸入 的時(shí)間信息更新時(shí)間。模擬按鍵電路設(shè)備27，與手動輸入按鍵電路11電氣連接，并且還與中央處理器設(shè) 備21相連，用于在接收到中央處理器設(shè)備21的信息輸入指令之后，模擬人工按鍵過程將工 藝參數(shù)輸入至劑量控制器1的手動輸入按鍵電路11中。按鍵反饋電路觀，分別與中央處理器設(shè)備21和手動輸入按鍵電路11連接，用于監(jiān) 控模擬按鍵電路設(shè)備27是否已經(jīng)成功將待輸入工藝參數(shù)輸入至手動輸入按鍵電路11中。同步復(fù)位電路四，與劑量控制器1中的控制器復(fù)位電路12電氣連接，并與中央處 理器設(shè)備21連接，用于檢測控制器復(fù)位電路12的復(fù)位信號，并根據(jù)該復(fù)位信號對劑量控制 管理裝置2與劑量控制器1完成同步復(fù)位。為了更清楚的描述本發(fā)明技術(shù)方案，下面以一具體的方法流程對本發(fā)明技術(shù)方案 進(jìn)行詳細(xì)的描述，該方法流程如圖2所示。參見圖2，為本發(fā)明實(shí)施例中采用如圖1所示系統(tǒng)向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的 方法流程圖，工藝參數(shù)存儲設(shè)備23以菜單的形式存儲工藝參數(shù)，該方法包括步驟步驟201、中央處理器設(shè)備21接收用戶通過輸入設(shè)備沈輸入的用于表征向劑量控 制器2輸入工藝參數(shù)(如摻入雜質(zhì)的劑量與修正系數(shù))的輸入請求，該輸入請求中攜帶工 藝參數(shù)對應(yīng)的菜單的標(biāo)識信息(如菜單名稱或ID號等用于唯一標(biāo)識該菜單的標(biāo)識信息)。步驟202、中央處理器設(shè)備21根據(jù)接收到的輸入請求中的標(biāo)識信息，從工藝參數(shù) 存儲設(shè)備23中獲取標(biāo)識所對應(yīng)的菜單。步驟203、中央處理器設(shè)備21將獲取到的菜單中的工藝參數(shù)通過模擬按鍵電路27 輸入至劑量控制器1中的手動輸入按鍵電路11中。較佳地，為了更好的保證模擬按鍵設(shè)備28成功的向劑量控制器1中的手動輸入按鍵電路11輸入工藝參數(shù)，以保證工藝流程的正常進(jìn)行，中央處理器設(shè)備21在通過模擬按鍵 設(shè)備觀向劑量控制器1的手動輸入按鍵電路11的過程中向模擬按鍵設(shè)備觀輸入高電平 信號(或低電平信號)，該高電平信號(或低電平信號)通過手動輸入按鍵電路11、按鍵反 饋電路28之后返回至中央處理器設(shè)備21，上述流程還包括步驟204、中央處理器設(shè)備21將按鍵反饋電路觀返回的信號與之前向模擬按鍵設(shè) 備觀輸入高電平信號(或低電平信號)是否一致，當(dāng)不一致時(shí)，確定該模擬按鍵設(shè)備觀未 能成功的向劑量控制器1中輸入工藝參數(shù)時(shí)，中央處理器設(shè)備21啟動重輸入機(jī)制，重新通 過模擬按鍵電路設(shè)備27向劑量控制器1輸入工藝參數(shù)，以保證向劑量控制器1輸入工藝參 數(shù)的實(shí)時(shí)性與準(zhǔn)確性。較佳地，為了實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)的跟蹤運(yùn)行記錄，為后續(xù)故障排查提供依據(jù)，上述流程還包 括以下步驟步驟205、在中央處理器設(shè)備21通過模擬按鍵電路設(shè)備27成功向劑量控制器1中 輸入工藝參數(shù)之后，運(yùn)行記錄存儲設(shè)備M記錄該菜單被調(diào)用的起始時(shí)間、終止時(shí)間以及該 被調(diào)用的菜單的名稱等信息。該步驟中，菜單被調(diào)用的起始時(shí)間設(shè)置為模擬按鍵設(shè)備觀成功向劑量控制器1成 功輸入工藝參數(shù)的時(shí)間，菜單終止時(shí)間設(shè)置為下一個(gè)菜單被調(diào)用的起始時(shí)間，即下一菜單 被調(diào)用的起始時(shí)間與該菜單被調(diào)用的終止時(shí)間相同。較佳地，為保證運(yùn)行記錄存儲設(shè)備M記錄的運(yùn)行記錄在時(shí)間上的準(zhǔn)確性，本發(fā)明 實(shí)施例還提供了系統(tǒng)時(shí)間調(diào)整操作，該操作可以是在步驟201之前執(zhí)行，也可以是在步驟 205之前的任意步驟之前完成，該操作通過中央處理器設(shè)備21根據(jù)用戶通過輸入設(shè)備沈輸 入的時(shí)間調(diào)整請求時(shí)(改時(shí)間調(diào)整請求中攜帶有準(zhǔn)確的時(shí)間信息)，由中央處理器設(shè)備21 向時(shí)鐘調(diào)節(jié)模塊25發(fā)送時(shí)鐘調(diào)整指令，以指示時(shí)鐘調(diào)節(jié)模塊25根據(jù)接收到的時(shí)間調(diào)整請 求中的時(shí)間信息更新時(shí)間。較佳地，為保證實(shí)時(shí)的更新工藝參數(shù)存儲設(shè)備23中存儲的信息，本發(fā)明實(shí)施例為 用戶提供菜單編輯界面，以方便操作人員實(shí)時(shí)的對工藝參數(shù)存儲設(shè)備23中的信息進(jìn)行更 新；進(jìn)一步的，為更好的保證工藝參數(shù)存儲設(shè)備23中存儲的菜單信息的安全性，以避免非 操作人員由于人為因素錯誤刪除、增加或修改菜單中的工藝參數(shù)，本發(fā)明實(shí)施例還提供用 戶登錄操作，只允許擁有菜單編輯權(quán)限的用戶在登錄成功之后進(jìn)入菜單編輯界面，以完成 對工藝參數(shù)存儲設(shè)備23中的信息進(jìn)行更新。下面以向劑量控制器1輸入?yún)㈦s離子的劑量與修正系數(shù)為例對本發(fā)明技術(shù)方案 進(jìn)行詳細(xì)的描述，該流程如圖3所示。參見圖3，為本發(fā)明實(shí)施例中提供的向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的具體實(shí)現(xiàn)方式 的方法流程圖，當(dāng)用戶通過輸入設(shè)備沈輸入菜單選擇請求時(shí)，則執(zhí)行以下步驟331 335， 并在根據(jù)需要將選取的菜單的劑量與修正系數(shù)輸入到劑量控制器1時(shí)，還執(zhí)行步驟351 354 ；當(dāng)輸入菜單編輯請求時(shí)，則執(zhí)行步驟371 374 ；當(dāng)輸入用戶登錄信息修改請求時(shí)，則 執(zhí)行步驟341 347 ；當(dāng)輸入系統(tǒng)時(shí)間調(diào)整請求時(shí)，則執(zhí)行步驟361 364 ；該流程包括以下 步驟步驟311、對劑量控制管理裝置2與劑量控制器1進(jìn)行同步復(fù)位，劑量控制管理裝 置2中的中央處理器設(shè)備21接收用戶通過輸入設(shè)備沈輸入的輸入信息。
該步驟中，輸入設(shè)備沈?yàn)槠胀ǖ腜S/2鍵盤，用戶可通過按鍵Fl輸入菜單選擇請 求，通過按鍵F2輸入菜單編輯請求，通過按鍵F3輸入用戶登錄信息修改請求，通過按鍵F9 輸入系統(tǒng)時(shí)間調(diào)整請求，以及通過按鍵F12輸入向劑量控制器1輸入劑量與修正系數(shù)的請 求。步驟321、中央處理器設(shè)備21根據(jù)接收到的輸入信息向相應(yīng)設(shè)備發(fā)出指令信息， 以指示相應(yīng)設(shè)備進(jìn)行相應(yīng)的操作。該步驟中，當(dāng)中央處理器設(shè)備21接收到的輸入信息菜單選擇請求時(shí)，則啟動并執(zhí) 行以下步驟331 335 ；當(dāng)中央處理器設(shè)備21接收到的輸入信息為菜單編輯請求時(shí)，則啟 動并執(zhí)行步驟371 374 ；當(dāng)中央處理器設(shè)備21接收到的輸入信息為用戶登錄信息修改請 求時(shí)，則啟動并執(zhí)行步驟341 347 ；當(dāng)中央處理器設(shè)備21接收到的輸入信息為向劑量控 制器1輸入劑量與修正系數(shù)的請求時(shí)，則啟動并執(zhí)行步驟351 354 ；當(dāng)中央處理器設(shè)備21 接收到的輸入信息為系統(tǒng)時(shí)間調(diào)整請求時(shí)，則啟動并執(zhí)行步驟361 364。步驟331 335、中央處理器設(shè)備21指示顯示設(shè)備22在顯示界面顯示菜單選擇界 面，并提示用戶輸入待選取菜單的標(biāo)識信息(如菜單名稱、ID號等)；根據(jù)接收到的菜單的 標(biāo)識信息在工藝參數(shù)存儲設(shè)備23中進(jìn)行查詢匹配，當(dāng)匹配到該待選取菜單時(shí)，讀取該菜單 的劑量與修正系數(shù)，并在界面上顯示待選取菜單的劑量與修正系數(shù)，若不能在工藝參數(shù)存 儲設(shè)備23中查詢到該待選取菜單，則返回至菜單選取界面并提示用戶選取的菜單不存在。步驟351 354、中央處理器設(shè)備21接收用戶發(fā)送的向劑量控制器1輸入劑量 與修正系數(shù)的請求，若該提交請求中沒有攜帶選取的菜單的標(biāo)識信息，則判斷該用戶還未 選取菜單并提示用戶選取菜單；若用戶發(fā)送的菜單提交請求中攜帶有選取的菜單的標(biāo)識信 息，則通過模擬按鍵設(shè)備27將該選取的菜單的劑量與修正系數(shù)輸入到劑量控制器1的手動 輸入按鍵電路11中。步驟341 347、中央處理器設(shè)備21指示顯示設(shè)備22在顯示界面顯示用戶登錄界 面，并提示用戶輸入用戶登錄信息(包括用戶名與密碼)，根據(jù)用戶輸入的用戶名與密碼對 該用戶的身份進(jìn)行驗(yàn)證，在驗(yàn)證成功后提示用戶輸入新的用戶登錄信息，并保存輸入的新 的用戶登錄信息，在驗(yàn)證身份不成功時(shí)，則返回用戶登錄界面，并提示用戶重新輸入用戶登 錄信息。步驟361 364、中央處理器設(shè)備21指示顯示設(shè)備22在顯示界面顯示時(shí)間編輯界 面，并提示用戶輸入新的時(shí)間，再向時(shí)間調(diào)節(jié)模塊25發(fā)送時(shí)間調(diào)整指令，以指示時(shí)間調(diào)整 模塊25根據(jù)用戶輸入的時(shí)間更新時(shí)間。步驟371 374、中央處理器設(shè)備21指示顯示設(shè)備22在顯示界面顯示菜單編輯登 錄界面，并提示用戶輸入用戶登錄信息(包括用戶名、密碼)；中央處理器設(shè)備21對用戶輸 入的登錄信息進(jìn)行驗(yàn)證，在驗(yàn)證成功之后指示顯示設(shè)備22在顯示界面顯示菜單編輯界面， 并將用戶輸入的菜單名及其對應(yīng)的劑量與修正系數(shù)保存至工藝參數(shù)存儲設(shè)備23中。上述步驟374中還包括步驟3740 3749，其中步驟3740、用戶通過輸入設(shè)備沈輸入退出編輯菜單請求；中央處理器設(shè)備21退 出菜單編輯界面。步驟3741 3742、用戶通過輸入設(shè)備沈輸入編輯菜單名稱的請求(該請求中攜 帶有需要編輯的菜單的名稱)；中央處理器設(shè)備21緩存編輯后的菜單名稱。
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該步驟中，用戶可通過輸入設(shè)備沈的按鍵F4輸如編輯菜單名稱的請求；中央處理 器設(shè)備21接收到該編輯菜單名稱的請求后，指示顯示設(shè)備22在顯示界面顯示菜單名編輯 框。步驟3743 3744、用戶通過輸入設(shè)備沈輸入編輯劑量的請求(該請求中攜帶有 需要編輯的劑量)，中央處理器設(shè)備21緩存編輯后的劑量。 該步驟中，用戶可通過輸入設(shè)備沈的按鍵F5輸入編輯劑量的請求；中央處理器設(shè) 備21接收到該編輯劑量請求后，指示顯示設(shè)備22在顯示界面顯示劑量編輯框。步驟3745 3746、用戶通過輸入設(shè)備沈輸入編輯修正系數(shù)的請求；中央處理器 設(shè)備21緩存編輯后的修正系數(shù)。該步驟中，用戶可通過輸入設(shè)備沈的按鍵F6輸入編輯修正系數(shù)的請求；中央處理 器設(shè)備21接收到編輯修正系數(shù)的請求之后，指示顯示設(shè)備22在顯示界面顯示修正系數(shù)編 輯框。步驟3747 3748、用戶輸入的菜單上翻或下翻請求；中央處理器存儲模塊指示顯 示設(shè)備22將上一或下一菜單以可編輯的形式展現(xiàn)在顯示界面。步驟3749、用戶輸入表征菜單編輯結(jié)束信息時(shí)，中央處理器存儲模塊21將用戶在 該次編輯所編輯的菜單的信息存儲至工藝參數(shù)存儲設(shè)備23中。該步驟中，用戶可通過輸入設(shè)備沈的按鍵FlO輸入表征菜單編輯結(jié)束的信息；中 央處理器設(shè)備21接收到該表征菜單編輯結(jié)束的信息時(shí)，將編輯后的菜單信息存儲至工藝 參數(shù)存儲設(shè)備23中。采用本發(fā)明技術(shù)方案，由于在工藝參數(shù)存儲設(shè)備中預(yù)先以菜單的形式存儲有工藝 參數(shù)，當(dāng)輸入設(shè)備輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的輸入請求(該輸入請求攜帶有待 輸入工藝參數(shù)的菜單的標(biāo)識信息)，中央處理器設(shè)備根據(jù)輸入設(shè)備輸入的輸入請求，從工 藝參數(shù)存儲設(shè)備中獲取與標(biāo)識對應(yīng)的菜單，并向模擬按鍵電路設(shè)備發(fā)送輸入工藝參數(shù)的指 令；模擬按鍵電路設(shè)備再根據(jù)中央處理器設(shè)備發(fā)送的指令向劑量控制器輸入該菜單中的工 藝參數(shù)；因此，采用本發(fā)明技術(shù)方案通過調(diào)用工藝參數(shù)存儲設(shè)備中的菜單即可將該菜單中 的工藝參數(shù)輸入至劑量控制器中，以克服了每次需要向劑量控制器輸入工藝參數(shù)時(shí)需要通 過人工的方式輸入相應(yīng)的工藝參數(shù)而導(dǎo)致由于人為因素輸入工藝參數(shù)錯誤，繼而導(dǎo)致生產(chǎn) 出的產(chǎn)品報(bào)廢率較高的問題；另外，本發(fā)明技術(shù)方案中，在模擬按鍵設(shè)備在向劑量控制器輸 入工藝參數(shù)之后，中央處理器設(shè)備啟動運(yùn)行記錄存儲設(shè)備記錄菜單被調(diào)用的起始時(shí)間、終 止時(shí)間以及菜單名稱等信息，從而為后續(xù)進(jìn)行故障排查提供了依據(jù)，更快速、有效的定位出 故障原因。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精 神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍 之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種向劑量控制器中輸入工藝參數(shù)的裝置，其特征在于，包括輸入設(shè)備、中央處理器 設(shè)備、工藝參數(shù)存儲設(shè)備以及模擬按鍵電路設(shè)備，其中工藝參數(shù)存儲設(shè)備，用于以菜單形式存儲工藝參數(shù)；輸入設(shè)備，用于輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的輸入請求，該輸入請求攜帶有 待輸入工藝參數(shù)的菜單的標(biāo)識信息；中央處理器設(shè)備，用于根據(jù)所述標(biāo)識信息從所述工藝參數(shù)存儲設(shè)備中獲取與標(biāo)識對應(yīng) 的菜單，向所述模擬按鍵電路設(shè)備發(fā)送輸入工藝參數(shù)的指令；模擬按鍵電路設(shè)備，用于根據(jù)所述指令向劑量控制器輸入所述菜單中的工藝參數(shù)。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括運(yùn)行記錄存儲設(shè)備；所述中央處理器設(shè)備進(jìn)一步用于，在向所述劑量控制器輸入工藝參數(shù)之后，啟動運(yùn)行 記錄存儲設(shè)備；運(yùn)行記錄存儲設(shè)備，用于記錄所述菜單被調(diào)用的起始時(shí)間、停止時(shí)間以及該菜單的標(biāo) 識fe息。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括時(shí)間調(diào)節(jié)模塊；所述輸入設(shè)備進(jìn)一步用于，輸入時(shí)間調(diào)整請求，該請求中攜帶有時(shí)間信息；所述中央處理器設(shè)備進(jìn)一步用于，根據(jù)所述時(shí)間調(diào)整請求向所述時(shí)間調(diào)節(jié)模塊發(fā)送 時(shí)間調(diào)整指令，以指示所述時(shí)間調(diào)節(jié)模塊根據(jù)所述時(shí)間調(diào)整請求中攜帶的時(shí)間信息調(diào)整時(shí) 間；時(shí)間調(diào)節(jié)模塊，用于根據(jù)所述時(shí)間調(diào)整請求中攜帶的時(shí)間信息調(diào)整時(shí)間。
4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括按鍵反饋電路，其中按鍵反饋電路，用于檢測所述中央處理器設(shè)備是否成功向所述劑量控制器輸入工藝參 數(shù)；若否，則向所述中央處理器設(shè)備發(fā)送工藝參數(shù)傳輸失敗通知消息；所述中央處理器設(shè)備進(jìn)一步用于，在接收到所述失敗通知消息之后，重新向所述劑量 控制器輸入工藝參數(shù)。
5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括同步復(fù)位電路，其中同步復(fù)位電路，用于檢測所述劑量控制器的控制器復(fù)位電路的復(fù)位信號，在所述復(fù)位 信號表征復(fù)位時(shí)，根據(jù)所述復(fù)位信號完成所述裝置與所述劑量控制器之間的同步復(fù)位。
6.一種采用如權(quán)利要求1所述裝置向劑量控制器中輸入工藝參數(shù)的方法，其特征在 于，在工藝參數(shù)存儲設(shè)備中以菜單的形式存儲工藝參數(shù)，包括以下步驟輸入設(shè)備輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的輸入請求，該輸入請求攜帶有待輸入 工藝參數(shù)的菜單的標(biāo)識信息；中央處理器設(shè)備根據(jù)所述輸入設(shè)備輸入的標(biāo)識信息，從所述工藝參數(shù)存儲設(shè)備中獲取 與標(biāo)識對應(yīng)的菜單，并向所述模擬按鍵電路設(shè)備發(fā)送輸入工藝參數(shù)的指令；模擬按鍵電路設(shè)備，用于根據(jù)所述中央處理器設(shè)備發(fā)送的指令，向劑量控制器輸入所 述菜單中的工藝參數(shù)。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述中央處理器設(shè)備在所述模擬按鍵電路 設(shè)備向所述劑量控制器輸入工藝參數(shù)之后，所述中央處理器設(shè)備啟動運(yùn)行記錄存儲設(shè)備；運(yùn)行記錄存儲設(shè)備記錄所述菜單被調(diào)用的起始時(shí)間、停止時(shí)間以及該菜單的標(biāo)識信息。
8.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述輸入設(shè)備在所述中央處理器設(shè)備啟動 運(yùn)行記錄存儲設(shè)備之前，輸入時(shí)間調(diào)整請求，該請求中攜帶有時(shí)間信息；所述中央處理器設(shè)備根據(jù)所述輸入設(shè)備輸入的時(shí)間調(diào)整請求向時(shí)間調(diào)節(jié)模塊發(fā)送時(shí) 間調(diào)整指令；時(shí)間調(diào)節(jié)模塊，用于在接收到所述中央處理器設(shè)備發(fā)送的時(shí)間調(diào)整指令之后，根據(jù)所 述時(shí)間調(diào)整請求中攜帶的時(shí)間信息調(diào)整時(shí)間。
9.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，在所述模擬按鍵設(shè)備向所述劑量控制器輸 入工藝參數(shù)之后，還包括按鍵反饋電路檢測所述中央處理器設(shè)備是否成功向所述劑量控制器輸入工藝參數(shù)；若 否，則向所述中央處理器設(shè)備發(fā)送工藝參數(shù)傳輸失敗通知消息；所述中央處理器設(shè)備在接收到所述失敗通知消息之后，重新向所述劑量控制器輸入工 藝參數(shù)。
10.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述裝置還包括同步復(fù)位電路；所述同步復(fù)位電路檢測所述劑量控制器的控制器復(fù)位電路的復(fù)位信號，在所述復(fù)位信 號表征復(fù)位時(shí)，根據(jù)所述復(fù)位信號完成所述裝置與所述劑量控制器之間的同步復(fù)位。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種向劑量控制器中輸入工藝參數(shù)的方法及裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)由于人為因素向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的準(zhǔn)確性較低而導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢率較高的問題。該方法包括在工藝參數(shù)存儲設(shè)備中以菜單的形式存儲工藝參數(shù)，當(dāng)輸入設(shè)備輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的輸入請求時(shí)；中央處理器設(shè)備根據(jù)所述輸入請求從所述工藝參數(shù)存儲設(shè)備中獲取相應(yīng)的菜單，并向所述模擬按鍵電路設(shè)備發(fā)送輸入該菜單工藝參數(shù)的指令；模擬按鍵電路設(shè)備，用于根據(jù)所述中央處理器設(shè)備發(fā)送的指令，向劑量控制器輸入所述菜單中的工藝參數(shù)。采用本發(fā)明技術(shù)方案提高了向劑量控制器輸入工藝參數(shù)的準(zhǔn)確性，從而降低了產(chǎn)品報(bào)廢率。
文檔編號G05B19/04GK102096377SQ20091024184
公開日2011年6月15日 申請日期2009年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月10日
發(fā)明者林偉旺 申請人:北大方正集團(tuán)有限公司, 深圳方正微電子有限公司