玻璃基板的顆粒檢查系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實用新型涉及玻璃基板的檢測,具體地,涉及一種玻璃基板的顆粒檢查系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]玻璃基板的顆粒檢查系統(tǒng),一般包括工作臺和安裝于該工作臺上的傳送裝置和氣浮裝置以傳送和支撐玻璃基板,在玻璃基板的上方設(shè)置有顆粒檢查攝像頭,相應(yīng)地,在玻璃基板的下方設(shè)置有光陷阱。在對玻璃基板進行檢查時,顆粒檢查攝像頭沿著玻璃基板的寬度方向移動,發(fā)出的光線正常情況下直接投射過玻璃基板并由光陷阱處理吸收,不發(fā)生反射和折射。若玻璃基板具有顆粒缺陷,則光線會由于顆粒的存在而發(fā)生反射和折射,顆粒檢查攝像頭會以此分析確定該顆粒缺陷。
[0003]在實踐中,一套顆粒檢查系統(tǒng)僅能適用于一種規(guī)格的玻璃基板,例如只能檢測1300mm X I 10mm的玻璃基板。當(dāng)需要檢查不同規(guī)格的玻璃基板,例如1300mm X 1200mm的玻璃基板時,則無法實現(xiàn)。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的是提供一種玻璃基板的顆粒檢查系統(tǒng),其能夠用來檢查不同規(guī)格的玻璃基板。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供一種玻璃基板的顆粒檢查系統(tǒng),包括工作臺,安裝于該工作臺上以支撐玻璃基板的氣浮裝置和傳送玻璃基板的傳送裝置,位于所述玻璃基板的上方且能夠沿著所述玻璃基板的寬度方向運動的顆粒檢查攝像頭,位于所述玻璃基板的下方且沿著所述玻璃基板的寬度方向延伸的光陷阱,其中所述傳送裝置包括支撐框和安裝于該支撐框上的邊輪,所述支撐框安裝于所述工作臺上并且能夠相對于所述工作臺沿著所述玻璃基板的寬度方向移動,并且在所述玻璃基板的寬度方向的每一側(cè),所述支撐框均包括兩個相互間隔開的支撐框單元,所述光陷阱位于該兩個間隔開的支撐框單元之間。
[0006]優(yōu)選地,所述光陷阱的兩端通過支撐架固定安裝于所述工作臺上。
[0007]優(yōu)選地,所述兩個間隔開的支撐框單元通過連接件連接在一起以構(gòu)成所述支撐框。
[0008]優(yōu)選地,位于所述玻璃基板寬度方向兩側(cè)的所述支撐框能夠相對于所述玻璃基板同步移動。
[0009]在本實用新型的顆粒檢查系統(tǒng)中,玻璃基板兩側(cè)的支撐框可以相對于玻璃基板移動,每側(cè)的支撐框均分為間隔開的兩個支撐框單元,并將光陷阱置于二者之間,由此,通過移動支撐框可以適應(yīng)不同規(guī)格的玻璃基板,并且不會妨礙光陷阱的布置,從而解決了顆粒檢查系統(tǒng)的兼容性問題。
[0010]本實用新型的其他特征和優(yōu)點將在隨后的【具體實施方式】部分予以詳細(xì)說明。
【附圖說明】
[0011]附圖是用來提供對本實用新型的進一步理解,并且構(gòu)成說明書的一部分,與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本實用新型,但并不構(gòu)成對本實用新型的限制。在附圖中:
[0012]圖1是根據(jù)本實用新型一種實施方式提供的顆粒檢查系統(tǒng)的平面示意圖。
[0013]圖2是圖1中顆粒檢查系統(tǒng)的立體示意圖。
[0014]圖3是圖1中顆粒檢查系統(tǒng)的側(cè)面示意圖。
【具體實施方式】
[0015]以下結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】進行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是,此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本實用新型,并不用于限制本實用新型。
[0016]如圖1至圖3所示,本實用新型公開了一種玻璃基板的顆粒檢查系統(tǒng),包括工作臺10,安裝于該工作臺10上以支撐玻璃基板20(見圖2)的氣浮裝置30和傳送玻璃基板20的傳送裝置40,位于所述玻璃基板20的上方且能夠沿著所述玻璃基板20的寬度方向運動的顆粒檢查攝像頭50,位于所述玻璃基板20的下方且沿著所述玻璃基板20的寬度方向延伸的光陷阱60,其中所述傳送裝置40包括支撐框41和安裝于該支撐框41上的邊輪42,其中,所述支撐框41安裝于所述工作臺10上并且能夠相對于所述工作臺10沿著所述玻璃基板20的寬度方向移動,并且在所述玻璃基板20的寬度方向的每一側(cè),所述支撐框41均包括兩個相互間隔開的支撐框單元411,所述光陷阱60位于該兩個間隔開的支撐框單元411之間。
[0017]邊輪42支撐和傳送玻璃基板20的兩側(cè)邊緣,氣浮裝置30吹出氣體以懸浮支撐玻璃基板20。當(dāng)玻璃基板20的規(guī)格變化時,例如寬度從I 10mm變成1200mm時,邊輪42需要向玻璃基板20的外側(cè)移動。在本實用新型中,通過使支撐框41相對于工作臺10向外側(cè)移動,可以實現(xiàn)邊輪42的位置調(diào)整。支撐框41可以通過多種方式可移動地安裝于工作臺10上,例如滑軌結(jié)構(gòu),這對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說是容易理解和實現(xiàn)的,不實用新型對此不再贅述。另夕卜,優(yōu)選地,玻璃基板20兩側(cè)的支撐框41可以通過驅(qū)動電機等驅(qū)動裝置相對于玻璃基板20實現(xiàn)同步移動。
[0018]在現(xiàn)有技術(shù)中,光陷阱60—般位于支撐框41之間,從而無法適應(yīng)玻璃基板規(guī)格的變化。在本實用新型中,如圖2清楚顯示,通過將支撐框41劃分成間隔開的兩個支撐框單元411,使光陷阱60位于二者之間,從而可以采用長度更長的光陷阱60,以適應(yīng)更寬的玻璃基板20,并且不會影響支撐框41的位置調(diào)整,從而能夠解決一套顆粒檢查系統(tǒng)兼容多種不同規(guī)格玻璃基板的問題。
[0019]另外,雖然支撐框41被劃分為間隔開的兩個支撐框單元411,但間隔開的意義主要是為光陷阱60提供布置空間。因此,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解的是,兩個支撐框單元411之間可以通過各種合適的結(jié)構(gòu)連接在一起,例如使用額外的連接件,或者利用支撐框41本身沒有切開的一部分,以實現(xiàn)位置調(diào)整時的同步調(diào)整。
[0020]如圖2所示,作為一種實施例,光陷阱60的兩端可以通過支撐架61固定安裝到工作臺1上。例如通過緊固件將支撐架61安裝到工作臺1上。
[0021]以上結(jié)合附圖詳細(xì)描述了本實用新型的優(yōu)選實施方式,但是,本實用新型并不限于上述實施方式中的具體細(xì)節(jié),在本實用新型的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi),可以對本實用新型的技術(shù)方案進行多種簡單變型,這些簡單變型均屬于本實用新型的保護范圍。
[0022]另外需要說明的是,在上述【具體實施方式】中所描述的各個具體技術(shù)特征,在不矛盾的情況下,可以通過任何合適的方式進行組合。為了避免不必要的重復(fù),本實用新型對各種可能的組合方式不再另行說明。
[0023]此外,本實用新型的各種不同的實施方式之間也可以進行任意組合,只要其不違背本實用新型的思想,其同樣應(yīng)當(dāng)視為本實用新型所公開的內(nèi)容。
【主權(quán)項】
1.一種玻璃基板的顆粒檢查系統(tǒng),包括工作臺(10),安裝于該工作臺上以支撐和傳送玻璃基板(20)的氣浮裝置(30)和傳送裝置(40),位于所述玻璃基板(20)的上方且能夠沿著所述玻璃基板的寬度方向運動的顆粒檢查攝像頭(50),位于所述玻璃基板的下方且沿著所述玻璃基板的寬度方向延伸的光陷阱(60),其中所述傳送裝置(40)包括支撐框(41)和安裝于該支撐框上的邊輪(42),其特征在于,所述支撐框(41)安裝于所述工作臺(10)上并且能夠相對于所述工作臺沿著所述玻璃基板的寬度方向移動,并且在所述玻璃基板的寬度方向的每一側(cè),所述支撐框(41)均包括兩個相互間隔開的支撐框單元(411),所述光陷阱(60)位于該兩個間隔開的支撐框單元(411)之間。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板的顆粒檢查系統(tǒng),其特征在于,所述光陷阱(60)的兩端通過支撐架(61)固定安裝于所述工作臺(10)上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板的顆粒檢查系統(tǒng),其特征在于,所述兩個間隔開的支撐框單元(411)通過連接件連接在一起以構(gòu)成所述支撐框(41)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板的顆粒檢查系統(tǒng),其特征在于,位于所述玻璃基板寬度方向兩側(cè)的所述支撐框(41)能夠相對于所述玻璃基板(20)同步移動。
【專利摘要】本實用新型公開了一種玻璃基板的顆粒檢查系統(tǒng),包括工作臺(10),安裝于工作臺上以支撐和傳送玻璃基板(20)的氣浮裝置(30)和傳送裝置(40),位于玻璃基板上方的顆粒檢查攝像頭(50),位于玻璃基板下方的光陷阱(60),傳送裝置(40)包括支撐框(41)和安裝于支撐框上的邊輪(42),支撐框(41)包括兩個相互間隔開的支撐框單元(411),光陷阱(60)位于二者之間。玻璃基板兩側(cè)的支撐框可以相對于玻璃基板移動,每側(cè)支撐框均分為間隔開的兩個支撐框單元,光陷阱置于二者之間,因此,通過移動支撐框可以適應(yīng)不同規(guī)格的玻璃基板,并且不會妨礙光陷阱的布置,從而解決了顆粒檢查系統(tǒng)的兼容性問題。
【IPC分類】G01N21/958
【公開號】CN205333544
【申請?zhí)枴緾N201521125226
【發(fā)明人】丁小磊, 杜躍武, 李曉東, 陳志峰
【申請人】鄭州旭飛光電科技有限公司, 東旭光電科技股份有限公司
【公開日】2016年6月22日
【申請日】2015年12月29日