非接觸式壓力/差壓檢測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)裝置，特別涉及一種非接觸式壓力/差壓檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有接觸式電容壓力傳感器，其輸出存在非線性，寄生電容和分布電容影響靈敏度和測(cè)量精度，硅壓力傳感器對(duì)工況的溫度有限制。隨著工業(yè)測(cè)量領(lǐng)域的不斷擴(kuò)展，對(duì)高溫工況的測(cè)量、測(cè)量精度及測(cè)量速度的不斷提高，傳統(tǒng)的接觸式壓力傳感器已經(jīng)無(wú)法滿足工業(yè)界的需求，因此提供一種測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好、能測(cè)量高溫介質(zhì)壓力的非接觸式壓力傳感器己成為當(dāng)務(wù)之亟。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于克服以上缺點(diǎn)，提供一種非接觸式壓力/差壓檢測(cè)裝置，該檢測(cè)裝置不僅能測(cè)量高溫介質(zhì)的壓力，檢測(cè)兩個(gè)高溫介質(zhì)之間的差壓，而且分辨率高、穩(wěn)定性好、測(cè)量精度高、使用安全可靠。
[0004]本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0005]—種非接觸式壓力/差壓檢測(cè)裝置，其特征在于:包括基座和設(shè)置于該基座上的至少兩個(gè)壓力檢測(cè)單元，每個(gè)壓力檢測(cè)單元分別包括一個(gè)與被測(cè)物體相連接且能根據(jù)被測(cè)物體壓力變化而產(chǎn)生形變的彈性部件、一個(gè)固設(shè)于彈性部件上的參照塊、一組用于向參照塊發(fā)射光線的入射光源組件以及一組用于獲取參照塊反射或散射后光線的聚焦攝像組件，所述入射光源組件包括沿光線入射方向上依次設(shè)置于入射光軸上的光源、光線會(huì)聚透鏡，所述聚焦攝像組件包括沿光線聚焦方向上依次設(shè)置于聚焦光軸上的成像聚焦透鏡以及數(shù)字圖像傳感器，所述入射光軸和聚焦光軸偏折了設(shè)定的角度，各個(gè)彈性部件的彈性模量相同，所述非接觸式壓力/差壓檢測(cè)裝置還包括一個(gè)分別與每個(gè)壓力檢測(cè)單元的數(shù)字圖像傳感器連接的智能圖像處理裝置，所述智能圖像處理裝置能獲取每個(gè)壓力檢測(cè)單元中數(shù)字圖像傳感器的圖像信息從而根據(jù)反射或散射后光斑在圖像傳感器上的位置變化計(jì)算出每個(gè)參照塊的位移量，進(jìn)而計(jì)算出每個(gè)被測(cè)物體壓力的變化或者兩個(gè)被測(cè)物體之間的差壓。
[0006]進(jìn)一步地，每個(gè)壓力檢測(cè)單元還包括一個(gè)設(shè)置于基座體內(nèi)的光線反射腔，所述光線反射腔靠近參照塊的一端與外部相連通，另一端位于基座體內(nèi)，每個(gè)光線反射腔的開(kāi)口端均固設(shè)有一個(gè)用于與被測(cè)物體相連接的連接件，各個(gè)連接件位于光線反射腔內(nèi)的一端設(shè)有一個(gè)開(kāi)口朝向光線反射腔的引壓腔，各個(gè)連接件上設(shè)有一個(gè)用于連通對(duì)應(yīng)引壓腔和對(duì)應(yīng)被測(cè)物體的引壓孔，各個(gè)彈性部件封設(shè)于對(duì)應(yīng)引壓腔的開(kāi)口上，各個(gè)參照塊固設(shè)于對(duì)應(yīng)彈性部件位于光線反射腔一側(cè)的表面上，每個(gè)壓力檢測(cè)單元還包括一個(gè)設(shè)置于對(duì)應(yīng)光線反射腔位于基座體內(nèi)一端且與外部相連通的聚光基座安裝孔以及一個(gè)設(shè)置于對(duì)應(yīng)光線反射腔側(cè)壁且與外部相連通的成像基座安裝孔，所述成像基座安裝孔的軸線與聚光基座安裝孔的軸線偏折設(shè)定角度;該裝置還包括安裝于各個(gè)聚光基座安裝孔上的聚光基座以及安裝于各個(gè)成像基座安裝孔上的成像基座，各個(gè)光線會(huì)聚透鏡安裝于對(duì)應(yīng)聚光基座位于光線反射腔內(nèi)的一端，各個(gè)光源安裝于對(duì)應(yīng)聚光基座內(nèi)，各個(gè)成像聚焦透鏡安裝于對(duì)應(yīng)成像基座位于光線反射腔內(nèi)的一端，各個(gè)數(shù)字圖像傳感器安裝于對(duì)應(yīng)的成像基座內(nèi)。
[0007]優(yōu)選的，每個(gè)光線反射腔包括設(shè)置于基座上端的圓柱形空腔以及設(shè)置于基座中部且與圓柱形空腔相連通的倒圓錐形空腔，所述圓柱形空腔的上端與外部相連通且下端與倒圓錐形空腔上端相連，各個(gè)聚光基座安裝孔與對(duì)應(yīng)的倒圓錐形空腔的下端相連通，各個(gè)成像基座安裝孔設(shè)置于對(duì)應(yīng)倒圓錐形空腔的側(cè)壁上。
[0008]優(yōu)選的，每個(gè)光源上設(shè)有2-20個(gè)引腳一，每個(gè)引腳一外側(cè)均套有絕緣子一，每個(gè)數(shù)字圖像傳感器上設(shè)有2-20個(gè)引腳二，每個(gè)引腳二外側(cè)均套有絕緣子二。
[0009]優(yōu)選的，各個(gè)光線反射腔均為真空腔且相連通。
[0010]優(yōu)選的，所述基座、連接件、聚光基座、成像基座和參照塊采用金屬材料制作。
[0011]優(yōu)選的，所述彈性部件為恒彈性簧片。
[0012]優(yōu)選的，所述光源為L(zhǎng)ED光源。
[0013]較之現(xiàn)有技術(shù)而言，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0014](I)本實(shí)用新型提供的非接觸式壓力/差壓檢測(cè)裝置，不僅能測(cè)量高溫介質(zhì)壓力，檢測(cè)兩個(gè)高溫介質(zhì)之間的差壓，而且分辨率高、穩(wěn)定性好、測(cè)量精度高、使用安全可靠；
[0015](2)本實(shí)用新型提供的非接觸式壓力/差壓檢測(cè)裝置，所述光線反射腔為真空腔，光傳播沒(méi)有能量損失，反射效果好，每個(gè)光線反射腔相連通，能保證每個(gè)腔的真空度一致，有利于差壓的計(jì)算；
[0016](3)本實(shí)用新型提供的非接觸式壓力/差壓檢測(cè)裝置，光源采用LED光源，使用壽命長(zhǎng)；
[0017](4)本實(shí)用新型提供的非接觸式壓力/差壓檢測(cè)裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造成本低，易于推廣應(yīng)用。
【附圖說(shuō)明】
[0018]下面參照附圖結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0019]圖1是本實(shí)用新型非接觸式壓力/差壓檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是圖1的W向視圖；
[0021]圖3是本實(shí)用新型非接觸式壓力/差壓檢測(cè)裝置中每個(gè)檢測(cè)單元的光路示意圖。
[0022]圖中符號(hào)說(shuō)明:1、彈性部件，2、參照塊，3、入射光軸，4、聚焦光軸，5、光源，5-1、弓丨腳一，5-2、絕緣子一，6、光線會(huì)聚透鏡，7、成像聚焦透鏡，8、數(shù)字圖像傳感器，8-1、引腳一，8-2、絕緣子二，9、基座，10、光線反射腔，10-1、圓柱形空腔，10-2、倒圓錐形空腔，11、連接件，12、引壓腔，13、引壓孔，14、聚光基座，15、成像基座。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖和具體實(shí)施例對(duì)本【實(shí)用新型內(nèi)容】進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明:
[0024]—種非接觸式壓力/差壓檢測(cè)裝置，其特征在于:包括基座9和設(shè)置于該基座9上的至少兩個(gè)壓力檢測(cè)單元，每個(gè)壓力檢測(cè)單元分別包括一個(gè)與被測(cè)物體相連接且能根據(jù)被測(cè)物體壓力變化而產(chǎn)生形變的彈性部件1、一個(gè)固設(shè)于彈性部件I上的參照塊2、一組用于向參照塊2發(fā)射光線的入射光源組件以及一組用于獲取參照塊2反射或散射后光線的聚焦攝像組件，所述入射光源組件包括沿光線入射方向上依次設(shè)置于入射光軸3上的光源5、光線會(huì)聚透鏡6，所述聚焦攝像組件包括沿光線聚焦方向上依次設(shè)置于聚焦光軸4上的成像聚焦透鏡7以及數(shù)字圖像傳感器8，所述入射光軸3和聚焦光軸4偏折了設(shè)定的角度，各個(gè)彈性部件I的彈性模量相同，所述非接觸式壓力/差壓檢測(cè)裝置還包括一個(gè)分別與每個(gè)壓力檢測(cè)單元的數(shù)字圖像傳感器8連接的智能圖像處理裝置，所述智能圖像處理裝置能獲取每個(gè)壓力檢測(cè)單元中數(shù)字圖像傳感器8的圖像信息從而根據(jù)反射或散射后光斑在圖像傳感器8上的位置變化計(jì)算出每個(gè)參照塊2的位移量，進(jìn)而計(jì)算出每個(gè)被測(cè)物體壓力的變化或者兩個(gè)被測(cè)物體之間的差壓。
[0025]進(jìn)一步地，每個(gè)壓力檢測(cè)單元還包括一個(gè)設(shè)置于基座9體內(nèi)的光線反射腔10，所述光線反射腔10靠近參照塊2的一端與外部相連通，另一端位于基座9體內(nèi)，每個(gè)光線反射腔10的開(kāi)口端均固設(shè)有一個(gè)用于與被測(cè)物體相連接的連接件11，各個(gè)連接件11位于光線反射腔10內(nèi)的一端設(shè)有一個(gè)開(kāi)口朝向光線反射腔10的引壓腔12，各個(gè)連接件11上設(shè)有一個(gè)用于連通對(duì)應(yīng)引壓腔12和對(duì)應(yīng)被測(cè)物體的引壓孔13，各個(gè)彈性部件I封設(shè)于對(duì)應(yīng)引壓腔12的開(kāi)口上，各個(gè)參照塊2固設(shè)于對(duì)應(yīng)彈性部件I位于光線反射腔10—側(cè)的表面上，每個(gè)壓力檢測(cè)單元還包括一個(gè)設(shè)置于對(duì)應(yīng)光線反射腔10位于基座9體內(nèi)一端且與外部相連通的聚光基座安裝孔以及一個(gè)設(shè)置于對(duì)應(yīng)光線反射腔10側(cè)壁且與外部相連通的成像基座安裝孔，所述成像基座安裝孔的軸線與聚光基座安裝孔的軸線偏折設(shè)定角度;該裝置還包括安