信號值，利用標(biāo)準(zhǔn)濃度值和第三SO 2濃度傳感器12.3感應(yīng)的信號值，采用最小二乘法對第三SO2濃度傳感器12.3進(jìn)行標(biāo)定；
[0084]S206:通過標(biāo)定進(jìn)氣口依次分別通入5種濃度的SF6#準(zhǔn)氣體(SF 6濃度:99.9%,99%,98.5%,98%,97.5%,97% ),每種氣體通入2分鐘，通過監(jiān)控主機(jī)25自動記錄每次SF6純度傳感器10感應(yīng)的信號值，利用標(biāo)準(zhǔn)濃度值和SF6純度傳感器10感應(yīng)的信號值，采用最小二乘法對SF6純度傳感器10進(jìn)行標(biāo)定；
[0085]S207:通過標(biāo)定進(jìn)氣口通入濃度為99.9%純SF6氣體，I分鐘后，通過監(jiān)控主機(jī)25控制關(guān)閉第九電磁閥5.9和第十電磁閥5.10 ;通過監(jiān)控主機(jī)25控制打開第七電磁閥5.7和第八電磁閥5.8，I分鐘后，再通過監(jiān)控主機(jī)25控制關(guān)閉第七電磁閥5.7和第八電磁閥5.8 ;通過監(jiān)控主機(jī)25控制打開第五電磁閥5.5和第六電磁閥5.6，I分鐘后，再通過監(jiān)控主機(jī)25控制關(guān)閉第五電磁閥5.5和第六電磁閥5.6 ;從而使第一 SO2濃度檢測單元20、第二 SO 2濃度檢測單元21和第三SO2濃度檢測單元22充有約I個大氣壓的純SF 6氣體，保證第一 SO 2濃度傳感器12.1、第二 SO2濃度傳感器12.2、第三SO2濃度傳感器12.3達(dá)到運(yùn)行環(huán)境壓力的要求；
[0086]S208:手動關(guān)閉第一球閥8.1和第二球閥8.2，完成SF6純度傳感器10、第一 SO 2濃度傳感器12.1、第二 SO2濃度傳感器12.2和第三SO 2濃度傳感器12.3的標(biāo)定。
[0087]所述步驟S3在本發(fā)明初裝或檢修時進(jìn)行如下步驟:
[0088]S300:將真空泵連接至抽真空口 18 ；
[0089]S301:手動打開第三球閥8.3和第四球閥8.4，調(diào)整減壓閥7出口壓力至2個大氣壓；通過監(jiān)控主機(jī)25打開第一電磁閥5.1、第二電磁閥5.2、第三電磁閥5.3、第四電磁閥5.4、第^ 電磁閥5.11和第十二電磁閥5.12 ；
[0090]S302:啟動真空泵，對除第一 SO2濃度檢測單元20、第二 SO2濃度檢測單元21和第三SO2濃度檢測單元22外的所有氣路抽真空，同時觀察監(jiān)控主機(jī)25測得的第一壓力傳感器
11.1和第二壓力傳感器11.2的壓力值，達(dá)到真空度要求時，監(jiān)控主機(jī)25自動關(guān)閉第一電磁閥5.1、第二電磁閥5.2、第三電磁閥5.3、第四電磁閥5.4、第^^一電磁閥5.11和第十二電磁閥5.12，手動關(guān)閉第四球閥8.4，最后關(guān)閉真空栗。
[0091]本說明書未作詳細(xì)描述的內(nèi)容屬于本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員公知的現(xiàn)有技術(shù)。
【主權(quán)項】
1.一種多通道六氟化硫絕緣電氣設(shè)備在線監(jiān)測裝置，其特征在于:包括取樣檢測氣路系統(tǒng)(24)、監(jiān)控主機(jī)(25)，所述取樣檢測氣路系統(tǒng)(24)包括SF6純度檢測單元(19)、第一SO2濃度檢測單元(20)、第二 SO2濃度檢測單元(21)、第三SO2濃度檢測單元(22)、共用回氣通道(23)，還包括第一接口轉(zhuǎn)換閥(2.1)、第二接口轉(zhuǎn)換閥(2.2)、第三接口轉(zhuǎn)換閥(2.3)、第一過濾器(3.1)、第二過濾器(3.2)、第三過濾器(3.3)、第一三通(4.1)、第二三通(4.2)、第三三通(4.3)、第五三通(4.5)、第六三通(4.6)、第一電磁閥(5.1)、第二電磁閥(5.2)、第三電磁閥(5.3)、第四電磁閥(5.4)、第^ 電磁閥(5.11)、第十二電磁閥(5.12)、第一四通(6.1)、第二四通(6.2)、第三四通(6.3)、第四四通(6.4)、第二球閥(8.2)、第三球閥(8.3)、第四球閥(8.4)、第二流量計(9.2)、第二壓力傳感器(1L2)、緩沖單元(13)、真空加壓泵(14)、微水傳感器(15)、電控四通切換閥(16)、第一單向閥(17.1)、第二單向閥(17.2)、第三單向閥(17.3)、抽真空口(18)，其中: 所述第一接口轉(zhuǎn)換閥(2.1)的一端連接待測的第一 SF6絕緣電氣設(shè)備(1.1)，第一接口轉(zhuǎn)換閥(2.1)的另一端連接第一過濾器(3.1)的一端，第一過濾器(3.1)的另一端連接第一三通(4.1)的第一接口，第一三通(4.1)的第二接口通過第一電磁閥(5.1)連接第一四通(6.1)的第一接口，所述第一四通(6.1)的第二接口通過第四電磁閥(5.4)連接第二四通(6.2)的第一接口，所述第二接口轉(zhuǎn)換閥(2.2)的一端連接待測的第二 SF6絕緣電氣設(shè)備(1.2)，第二接口轉(zhuǎn)換閥(2.2)的另一端連接第二過濾器(3.2)的一端，第二過濾器(3.2)的另一端連接第二三通(4.2)的第一接口，第二三通(4.2)的第二接口通過第二電磁閥(5.2)連接第二四通(6.2)的第二接口，所述第三接口轉(zhuǎn)換閥(2.3)的一端連接待測的第三SF6絕緣電氣設(shè)備(1.3)，第三接口轉(zhuǎn)換閥(2.3)的另一端連接第三過濾器(3.3)的一端，第三過濾器(3.3)的另一端連接第三三通(4.3)的第一接口，第三三通(4.3)的第二接口通過第三電磁閥(5.3)連接第二四通(6.2)的第三接口，所述第二四通(6.2)的第四接口連接SF6純度檢測單元(19)的輸入端，SF6純度檢測單元(19)的第一輸出端連接第三四通(6.3)的第一接口，SF6純度檢測單元(19)的第二輸出端通過第十一電磁閥(5.11)接入第一四通(6.1)的第三接口，第一四通(6.1)的第四接口連接第六三通(4.6)的第一接口，第三四通(6.3)的第二接口連接第一 SO2濃度檢測單元(20)的輸入端，第一 SO 2濃度檢測單元(20)的輸出端連接第四四通(6.4)的第一接口，第三四通(6.3)的第三接口連接第二SO2濃度檢測單元(21)的輸入端，所述第二 SO2濃度檢測單元(21)的輸出端連接第四四通(6.4)的第二接口，所述第三四通(6.3)的第四接口連接第三302濃度檢測單元(22)的輸入端，所述第三SO2濃度檢測單元(22)的輸出端連接第四四通(6.4)的第三接口，第四四通(6.4)的第四接口連接第五三通(4.5)的第一接口，第五三通(4.5)的第二接口通過第三球閥(8.3)與緩沖單元(13)的第一接口連接，緩沖單元(13)的第二接口連接真空加壓泵(14)的輸入端，真空加壓泵(14)的輸出端與電控四通切換閥(16)的第一接口連接，所述第五三通(4.5)的第一接口與第四四通(6.4)的第四接口之間設(shè)有第二流量計(9.2)，所述第五三通(4.5)的第三接口連接第二球閥(8.2)，所述緩沖單元(13)的第三接口連接第二壓力傳感器(11.2)，緩沖單元(13)的第四接口連接微水傳感器(15)，緩沖單元(13)的第五接口通過第十二電磁閥(5.12)與第六三通(4.6)的第三接口連接，所述第六三通(4.6)的第二接口通過第四球閥(8.4)與抽真空口(18)連接，所述電控四通切換閥(16)的第二接口連接第一單向閥(17.1)的輸入端，第一單向閥(17.1)的輸出端連接第一三通(4.1)的第三接口，電控四通切換閥(16)的第三接口連接第二單向閥(17.2)的輸入端，第二單向閥(17.2)的輸出端連接第二三通(4.2)的第三接口，電控四通切換閥(16)的第四接口連接第三單向閥(17.3)的輸入端，第三單向閥(17.3)的輸出端連接第三三通(4.3)的第三接P ; 所述監(jiān)控主機(jī)(25)包括氣路控制模塊、信號預(yù)處理模塊、A/D采集模塊、DSP處理器模塊、故障診斷模塊、狀態(tài)顯示模塊和通訊模塊，其中，所述DSP處理器模塊的第一接口連接氣路控制模塊的信號輸入端，氣路控制模塊的信號輸出端通過信號線分別連接取樣檢測氣路系統(tǒng)中的第一電磁閥(5.1)、第二電磁閥(5.2)、第三電磁閥(5.3)、第四電磁閥(5.4)、第五電磁閥(5.5)、第六電磁閥(5.6)、第七電磁閥(5.7)、第八電磁閥(5.8)、第九電磁閥(5.9)、第十電磁閥(5.10)、第^^一電磁閥(5.11)、第十二電磁閥(5.12)、第一流量計(9.1)、第二流量計(9.2)、真空加壓泵14和電控四通切換閥16的控制端，所述預(yù)處理模塊的信號輸入端通過信號線分別連接SF6純度傳感器(10)、第二壓力傳感器(11.2)、微水傳感器(15)、SF6純度檢測單元(19)的第一壓力傳感器(11.1)、第一 SO2濃度檢測單元(20)的第一 SO2濃度傳感器(12.1)、第二 SO2濃度檢測單元(21)的第二 SO2濃度傳感器(12.2)、第三SO2濃度檢測單元(22)的第三SO2濃度傳感器(12.3)的信號輸出端，預(yù)處理模塊的信號輸出端連接A/D采集模塊的信號輸入端，A/D采集模塊的信號輸出端連接DSP處理器的第二接口，DSP處理器的第三接口連接故障診斷模塊的信號輸入端，故障診斷模塊的信號輸出端連接狀態(tài)顯示模塊的信號輸入端，所述DSP處理器的第四接口連接通訊模塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道六氟化硫絕緣電氣設(shè)備在線監(jiān)測裝置，其特征在于:所述SF6純度檢測單元(19)包括減壓閥(7)、第四三通(4.4)、第一流量計(9.1)5?6純度傳感器(10)、第一球閥(8.1)、第一壓力傳感器(11.1)，其中，所述第四三通(4.4)的第一接口通過減壓閥(7)與第二四通(6.2)的第四接口連接，第四三通(4.4)的第二接口與第三四通(6.3)的第一接口連接，所述第四三通(4.4)的第二接口通過第一流量計(9.1)、第一壓力傳感器(11.D和SF6純度傳感器(10)連接第三四通(6.3)的第一接口，所述第四三通(4.4)的第二接口還通過第一流量計(9.1)和SF6純度傳感器(10)連接第十一電磁閥(5.11)的輸入端，所述第四三通(4.4)的第三接口連接第一球閥(8.1)，所述3匕純度傳感器(10)還連接第一壓力傳感器(11.1)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道六氟化硫絕緣電氣設(shè)備在線監(jiān)測裝置，其特征在于:所述第一 SO2濃度檢測單元(20)包括第五電磁閥(5.5)、第一 SO2濃度傳感器(12.1)、第六電磁閥(5.6)，所述第一 SO2濃度傳感器(12.1)的進(jìn)氣口通過第五電磁閥(5.5)與第三四通(6.3)的第二接口連接，所述第一 SO2濃度傳感器(12.1)的出氣口通過第六電磁閥(5.6)與第四四通(6.4)的第一接口連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道六氟化硫絕緣電氣設(shè)備在線監(jiān)測裝置，其特征在于:所述第二 SO2濃度檢測單元(21)包括第七電磁閥(5.7)、第二 SO 2濃度傳感器(12.2)、第八電磁閥(5.8)，所述第七電磁閥(5.7)和第八電磁閥(5.8)之間的管路設(shè)置第二 S02&度傳感器(12.2)，第七電磁閥(5.7)與第三四通(6.3)的第三接口連接，第八電磁閥(5.8)與第四四通(6.4)的第二接口連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道六氟化硫絕緣電氣設(shè)備在線監(jiān)測裝置，其特征在于:所述第三SO2濃度檢測單元(22)包括第九電磁閥(5.9)、第三SO 2濃度傳感器(12.3)、第十電磁閥(5.10)，所述第九電磁閥(5.9)和第十電磁閥(5.10)之間的管路設(shè)置第三SO2濃度傳感器(12.3)，第九電磁閥(5.9)與第三四通(6.3)的第四接口連接，第十電磁閥(5.10)與第四四通