機(jī)通過(guò)微水傳感器開始測(cè)量氣體中的微水含量，并記錄存儲(chǔ)；
[0029]S410:通過(guò)監(jiān)控主機(jī)關(guān)閉第三電磁閥、第九電磁閥和第十電磁閥，打開第十一電磁閥和第十二電磁閥；
[0030]S411:通過(guò)監(jiān)控主機(jī)控制啟動(dòng)真空加壓泵，同時(shí)監(jiān)控主機(jī)自動(dòng)測(cè)量第一壓力傳感器和第二壓力傳感器的壓力值，達(dá)到真空度要求時(shí)，監(jiān)控主機(jī)自動(dòng)關(guān)閉第十一電磁閥和第十二電磁閥，并將電控四通切換閥切換至第一單相閥對(duì)應(yīng)的回氣通道A。
[0031]所述步驟S2中在本發(fā)明研制完成后、或安裝之前或系統(tǒng)需要重新標(biāo)定時(shí)進(jìn)行如下步驟:
[0032]S200:手動(dòng)打開第一球閥和第二球閥，通過(guò)監(jiān)控主機(jī)控制打開第五電磁閥和第六電磁閥，設(shè)置第一流量計(jì)和第二流量計(jì)的流速為300ml/min，其中，第一球閥作為SF6純度傳感器、第一 SO2濃度傳感器、第二 SO 2濃度傳感器和第三SO 2濃度傳感器的標(biāo)定進(jìn)氣口，所述第二球閥作為SF6純度傳感器、第一 SO2濃度傳感器、第二 SO2濃度傳感器和第三SO2濃度傳感器的標(biāo)定出氣口；
[0033]S201:通過(guò)標(biāo)定進(jìn)氣口分別通入5種以SF6S背景氣SO 2標(biāo)準(zhǔn)氣體，每種氣體通入2分鐘，通過(guò)監(jiān)控主機(jī)自動(dòng)記錄每次第一 SO2濃度傳感器感應(yīng)的信號(hào)值，利用標(biāo)準(zhǔn)濃度值和第一 SO2濃度傳感器感應(yīng)的信號(hào)值，采用最小二乘法對(duì)第一 SO2濃度傳感器進(jìn)行標(biāo)定；
[0034]S202:通過(guò)監(jiān)控主機(jī)控制，關(guān)閉第五電磁閥和第六電磁閥，打開第七電磁閥和第八電磁閥；
[0035]S203:通過(guò)標(biāo)定進(jìn)氣口分別通入5種以SF6S背景氣SO 2標(biāo)準(zhǔn)氣體，每種氣體通入2分鐘，通過(guò)監(jiān)控主機(jī)自動(dòng)記錄每次第二 SO2濃度傳感器感應(yīng)的信號(hào)值，利用標(biāo)準(zhǔn)濃度值和第二 SO2濃度傳感器感應(yīng)的信號(hào)值，采用最小二乘法對(duì)第二 SO2濃度傳感器進(jìn)行標(biāo)定；
[0036]S204:通過(guò)監(jiān)控主機(jī)控制，關(guān)閉第七電磁閥和第八電磁閥，打開第九電磁閥和第十電磁閥；
[0037]S205:通過(guò)標(biāo)定進(jìn)氣口分別通入5種以SF6S背景氣SO 2標(biāo)準(zhǔn)氣體，每種氣體通入2分鐘，通過(guò)監(jiān)控主機(jī)自動(dòng)記錄每次第三SO2濃度傳感器感應(yīng)的信號(hào)值，利用標(biāo)準(zhǔn)濃度值和第三SO2濃度傳感器感應(yīng)的信號(hào)值，采用最小二乘法對(duì)第三SO2濃度傳感器進(jìn)行標(biāo)定；
[0038]S206:通過(guò)標(biāo)定進(jìn)氣口依次分別通入5種濃度的SF6標(biāo)準(zhǔn)氣體，每種氣體通入2分鐘，通過(guò)監(jiān)控主機(jī)自動(dòng)記錄每次SF6純度傳感器感應(yīng)的信號(hào)值，利用標(biāo)準(zhǔn)濃度值和SF 6純度傳感器感應(yīng)的信號(hào)值，采用最小二乘法對(duì)SF6純度傳感器進(jìn)行標(biāo)定；
[0039]S207:通過(guò)標(biāo)定進(jìn)氣口通入濃度為99.9%純SF6氣體，I分鐘后，通過(guò)監(jiān)控主機(jī)控制關(guān)閉第九電磁閥和第十電磁閥；通過(guò)監(jiān)控主機(jī)控制打開第七電磁閥和第八電磁閥，I分鐘后，再通過(guò)監(jiān)控主機(jī)控制關(guān)閉第七電磁閥和第八電磁閥；通過(guò)監(jiān)控主機(jī)控制打開第五電磁閥和第六電磁閥，I分鐘后，再通過(guò)監(jiān)控主機(jī)控制關(guān)閉第五電磁閥和第六電磁閥；從而使第一 SO2濃度檢測(cè)單元、第二 SO2濃度檢測(cè)單元和第三SO2濃度檢測(cè)單元充有約I個(gè)大氣壓的純SF6氣體，保證第一 SO 2濃度傳感器、第二 SO 2濃度傳感器、第三SO 2濃度傳感器達(dá)到運(yùn)行環(huán)境壓力的要求；
[0040]S208:手動(dòng)關(guān)閉第一球閥和第二球閥，完成SF6純度傳感器、第一 SO2濃度傳感器、第二 SO2濃度傳感器和第三SO 2濃度傳感器的標(biāo)定。
[0041]所述步驟S3在本發(fā)明初裝或檢修時(shí)進(jìn)行如下步驟:
[0042]S300:將真空泵連接至抽真空口 ；
[0043]S301:手動(dòng)打開第三球閥和第四球閥，調(diào)整減壓閥7出口壓力至2個(gè)大氣壓；通過(guò)監(jiān)控主機(jī)打開第一電磁閥、第二電磁閥、第三電磁閥、第四電磁閥、第十一電磁閥和第十二電磁閥；
[0044]S302:啟動(dòng)真空泵，對(duì)除第一 SO2濃度檢測(cè)單元、第二 SO2濃度檢測(cè)單元和第三SO2濃度檢測(cè)單元外的所有氣路抽真空，同時(shí)觀察監(jiān)控主機(jī)測(cè)得的第一壓力傳感器和第二壓力傳感器的壓力值，達(dá)到真空度要求時(shí)，監(jiān)控主機(jī)自動(dòng)關(guān)閉第一電磁閥、第二電磁閥、第三電磁閥、第四電磁閥、第十一電磁閥和第十二電磁閥，手動(dòng)關(guān)閉第四球閥，最后關(guān)閉真空泵。
[0045]本發(fā)明通過(guò)設(shè)置共用的SF6純度檢測(cè)室、共用回氣通道、三個(gè)獨(dú)立的302檢測(cè)室等部件實(shí)現(xiàn)了 SF6絕緣電氣設(shè)備分解產(chǎn)物的在線檢測(cè)，保證了檢測(cè)準(zhǔn)確度，避免了不同設(shè)備間的混氣，提高了系統(tǒng)的可靠行，降低了成本，提高了系統(tǒng)的復(fù)用性，采用了循環(huán)氣路設(shè)計(jì)方式，將檢測(cè)完后的樣氣送回到SF6絕緣電氣設(shè)備本體中，減少了氣體的損耗和對(duì)大氣的污染。另外，通過(guò)在取樣檢測(cè)氣路中配置的壓力傳感器，能夠根據(jù)壓力值的變化，實(shí)現(xiàn)本發(fā)明取樣檢測(cè)氣路中電磁閥狀態(tài)的自診斷，提高了本發(fā)明的可靠性。
【附圖說(shuō)明】
[0046]圖1為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0047]圖2為本發(fā)明的取樣檢測(cè)氣路系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0048]其中，1.1一第一 SF6*緣電氣設(shè)備、1.2—第二 SF6*緣電氣設(shè)備、1.3—第三SF6*緣電氣設(shè)備、2.1—第一接口轉(zhuǎn)換閥、2.2—第二接口轉(zhuǎn)換閥、2.3—第三接口轉(zhuǎn)換閥、3.1—第一過(guò)濾器、3.2一第—■過(guò)濾器、3.3一第二過(guò)濾器、4.1一第一二通、4.2一第—■二通、4.3一第二二通、4.4一第四二通、4.5一第五二通、4.6一第八二通、5.1一第一電磁閥、5.2一第—.電磁閥、5.3一第二電磁閥、5.4一第四電磁閥、5.5一第五電磁閥、5.6一第六電磁閥、5.7一第七電磁閥、5.8一第八電磁閥、5.9一第九電磁閥、5.10一第十電磁閥、5.11一第^ 電磁閥、5.12一第十二電磁閥、6.1一第一四通、6.2一第二四通、6.3一第二四通、6.4一第四四通、7—減壓閥、8.1—第一球閥、8.2—第二球閥、8.3—第三球閥、8.4—第四球閥、9.1一第一流量計(jì)、9.2—第二流量計(jì)、10 — SF6純度傳感器、11.1一第一壓力傳感器、11.2—第二壓力傳感器、12.1—第一 S02濃度傳感器、12.2—第二 S02濃度傳感器、12.3—第三S02濃度傳感器、13—緩沖單元、14一真空加壓泵、15—微水傳感器16—電控四通切換閥、17.1—第一單向閥、17.2—第二單向閥、17.3—第三單向閥、18—抽真空口、19—5?6純度檢測(cè)單元、20—第一 S02&度檢測(cè)單元、21—第二 SO 2濃度檢測(cè)單元、22—第三SO 2濃度檢測(cè)單元、23—共用回氣通道、24—取樣檢測(cè)氣路系統(tǒng)、25—控制主機(jī)。
【具體實(shí)施方式】
[0049]以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明:
[0050]如圖1-2所示的一種多通道六氟化硫絕緣電氣設(shè)備在線監(jiān)測(cè)裝置，包括取樣檢測(cè)氣路系統(tǒng)24、監(jiān)控主機(jī)25，所述取樣檢測(cè)氣路系統(tǒng)24包括SF6純度檢測(cè)單元19、第一 SO2濃度檢測(cè)單元20、第二 SO2濃度檢測(cè)單元21、第三SO2濃度檢測(cè)單元22、共用回氣通道23，還包括第一接口轉(zhuǎn)換閥2.1、第二接口轉(zhuǎn)換閥2.2、第三接口轉(zhuǎn)換閥2.3、第一過(guò)濾器3.1、第二過(guò)濾器3.2、第三過(guò)濾器3.3、第一三通4.1、第二三通4.2、第三三通4.3、第五三通4.5、第六三通4.6、第一電磁閥5.1、第二電磁閥5.2、第三電磁閥5.3、第四電磁閥5.4、第^ 電磁閥5.11、第十二電磁閥5.12、第一四通6.1、第二四通6.2、第三四通6.3、第四四通6.4、第二球閥8.2、第三球閥8.3、第四球閥8.4、第二流量計(jì)9.2、第二壓力傳感器11.2、緩沖單元13、真空加壓泵14、微水傳感器15、電控四通切換閥16、第一單向閥17.1、第二單向閥17.2、第三單向閥17.3、抽真空口 18，其中:
[0051]所述第一接口轉(zhuǎn)換閥2.1的一端連接待測(cè)的第一 SF6絕緣電氣設(shè)備1.1，第一接口轉(zhuǎn)換閥2.1的另一端連接第一過(guò)濾器3.1的一端，第一過(guò)濾器3.1的另一端連接第一三通
4.1的第一接口，第一三通4.1的第二接口通過(guò)第一電磁閥5.1連接第一四通6.1的第一接口，所述第一四通6.1的第二接口通過(guò)第四電磁閥5.4連接第二四通6.2的第一接口，所述第二接口轉(zhuǎn)換閥2.2的一端連接待測(cè)的第二 SF6絕緣電氣設(shè)備1.2，第二接口轉(zhuǎn)換閥2.2的另一端連接第二過(guò)濾器3.2的一端，第二過(guò)濾器3.2的另一端連接第二三通4.2的第一接口，第二三通4.2的第二接口通過(guò)第二電磁閥5.2連接第二四通6.2的第二接口，所述第三接口轉(zhuǎn)換閥2.3的一端連接待測(cè)的第三SF6絕緣電氣設(shè)備1.3，第三接口轉(zhuǎn)換閥2.3的另一端連接第三過(guò)濾器3.3的一端，第三過(guò)濾器3.3的另一端連接第三三通4.3的第一接口，第三三通4.3的第二接口通過(guò)第三電磁閥5.3連接第二四通6.2的第三接口，所述第二四通6.2的第四接口連接SF6純度檢測(cè)單元19的輸入端，SF6純度檢測(cè)單元19的第一輸出端連接第三四通6.3的第一接口，SF6純度檢測(cè)單元19的第二輸出端通過(guò)第i^一電磁閥5.11接入第一四通6.1的第三接口，第一四通6.1的第四接口連接第六三通4.6的第一接口，第三四通6.3的第二接口連接第一 SO2濃度檢測(cè)單元20的輸入端，第一 SO2濃度檢測(cè)單元20的輸出端連接第四四通6.4的第一接口，第三四通6.3的第三接口連接第二 SO2濃度檢測(cè)單元21的輸入端，所述第二 SO2濃度檢測(cè)單元21的輸出端連接第四四通6.4的第二接口，所述第三四通6.3的第四接口連接第三SO2濃度檢測(cè)單元22的輸入端，所述第三SO 2濃度檢測(cè)單元22的輸出端連接第四四通6.4的第三接口，第四四通6.4的第四接口連接第五三通
4.5的第一接口，第五三通4.5的第二接口通過(guò)第三球閥8.3與緩沖單元13的第一接口連接，緩沖單元13的第二接口連接真空加壓泵14的輸入端，真空加壓泵14的輸出端與電控四通切換閥16的第一接口連接，所述第五三通4.5的第一接口與第四四通6.4的第四接口之間設(shè)有第二流量計(jì)9.2，所述第五三通4.5的第三接口連接第二球閥8.2，所述緩沖單元13的第三接口連接第二壓力傳感器11.2，緩沖單元13的第四接口連接微水傳感器15，緩沖單元13的第五接口通過(guò)第十二電磁閥5.12與第六三通4.6的第三接口連接，所述第六三通4.6的第二接口通過(guò)第四球閥8.4與抽真空口 18連接，所述電控四通切換閥16的第二接口連接第一單向閥17.1的輸入端，第一單向閥17.1的輸出端連接第一三通4.1的第三接口，電控四通切換閥16的第三接口連接第二單向閥17.2的輸入端，第二單向閥17.2的輸出端連接第二三通4.2的第三接口，電控四通切換閥16的第四接口連接第三單向閥17.3的輸入端，第三單向閥17.3的輸出端連接第三三通4.3的第三接口 ；所述微水傳感器15用于檢測(cè)SF6絕緣電氣設(shè)備中的微水含量，所述第二壓力傳感器11.2用于檢測(cè)緩沖單元13的壓力；
[0052]所述監(jiān)控主機(jī)25包括氣路控制模塊、信號(hào)預(yù)處理模塊、A/D采集模塊、DSP處理器模塊、故障診斷模塊、狀態(tài)顯示模塊和通訊模塊，其中，所述DSP處理器模塊的第一接口連接氣路控制模塊的信號(hào)輸入端，氣路控制模塊的信號(hào)輸出端通過(guò)信號(hào)線分別連接取樣檢測(cè)氣路系統(tǒng)中的第