本實用新型提供一種六氟化硫分析儀校驗用寬域動態(tài)配氣系統(tǒng)，具體是指采用三級稀釋技術(shù)配制出低濃度標氣的裝置。
背景技術(shù)：
六氟化硫氣體具有良好的絕緣和滅弧特性，已被廣泛用于氣體絕緣電氣設(shè)備中。近年來隨著特高壓交直流變電站投入運行，大量高電壓等級六氟化硫電氣設(shè)備被納入日常技術(shù)監(jiān)督工作中，現(xiàn)多采用SF6氣體分解產(chǎn)物儀、SF6氣體純度儀等實施SF6電氣設(shè)備的質(zhì)量監(jiān)督工作。
為確保儀器測量準確性，需定期校驗上述儀器，當前實驗室內(nèi)多采用配氣儀配制出標氣對SF6分析儀校驗，現(xiàn)有配氣技術(shù)存在如下問題：當前采用質(zhì)量流量計控制的最先進配氣儀最大單路配比(體積比)可達1:70，即可配制的最低氣體濃度(體積比)為14286ppm，在實驗室校驗六氟化硫分解產(chǎn)物儀時所需標氣最低濃度為2ppm，因此實際校驗過程中先采用注射器定量法在鋼瓶中配制濃度約為50ppm的標氣1，經(jīng)色譜儀定量后；接著，以標氣1作為氣源，借助配氣儀配制出2ppm的標氣，此方法存在操作繁瑣、效率較低、準確度地、易引入其他雜質(zhì)等問題，因此亟需一種操作方便、配氣效率高、準確度好的配氣技術(shù)。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本實用新型的目的是提供一種能克服上述缺陷、操作方便、配氣效率高、配制氣體濃度范圍寬的六氟化硫分析儀校驗用寬域動態(tài)配氣系統(tǒng)。其技術(shù)方案為：
一種六氟化硫分析儀校驗用寬域動態(tài)配氣系統(tǒng)，包括SF6氣瓶、多個樣氣氣瓶以及主氣路，SF6氣瓶的輸出端接主氣路的輸入端，其特征在于：主氣路從連接SF6氣瓶的輸出端起始依次設(shè)有減壓閥、電磁閥、第一質(zhì)量流量控制器、第一靜態(tài)混合器、第二質(zhì)量流量控制器、第二靜態(tài)混合器、第三質(zhì)量流量控制器和第三靜態(tài)混合器，SF6氣瓶的輸出端還經(jīng)主氣路上的電磁閥以及設(shè)有第四質(zhì)量流量控制器的支氣路接第二質(zhì)量流量控制器與第二靜態(tài)混合器之間的主氣路、經(jīng)主氣路上的電磁閥以及設(shè)有第五質(zhì)量流量控制器的支氣路接第三質(zhì)量流量控制器與第三靜態(tài)混合器之間的主氣路；每個樣氣氣瓶的輸出端分別經(jīng)依次設(shè)有減壓閥、第 六質(zhì)量流量控制器和電磁閥的支路連通主氣路，連接點位于第一靜態(tài)混合器的輸入端。
其工作原理為：以配制SO2氣體為例，首先打開SO2氣瓶支路上的電磁閥和主氣路上的電磁閥，關(guān)閉第二、第三、第四和第五質(zhì)量流量控制器，SO2氣體便由支路上的第六質(zhì)量流量控制器控制連續(xù)往主氣路上注入，SF6氣瓶內(nèi)的SF6氣體便由第一質(zhì)量流量控制器控制連續(xù)往主氣路上注入，兩種氣體在第一靜態(tài)混合器中混合均勻，對SO2氣體進行第一次稀釋，可獲得的SO2氣體最低濃度為10000ppm；然后同時打開第二質(zhì)量流量控制器和第四質(zhì)量流量控制器，第一次稀釋后的氣體由第二質(zhì)量流量控制器控制連續(xù)在主氣路上向第二靜態(tài)混合器注入，同時SF6氣瓶內(nèi)的SF6氣體還經(jīng)第四質(zhì)量流量控制器控制連續(xù)向主氣路上的第二靜態(tài)混合器注入，SO2氣體在第二靜態(tài)混合器中進一步得到稀釋，可獲得的SO2氣體最低濃度為100ppm；再后同時打開第三質(zhì)量流量控制器和第五質(zhì)量流量控制器，第二次稀釋后的氣體由第三質(zhì)量流量控制器控制連續(xù)在主氣路上向第三靜態(tài)混合器注入，同時SF6氣瓶內(nèi)的SF6氣體經(jīng)第五質(zhì)量流量控制器控制連續(xù)向主氣路上的第三靜態(tài)混合器注入，SO2氣體在第三靜態(tài)混合器中進一步得到稀釋，最終配制出所需濃度的標氣，此過程可獲得的SO2氣體最低濃度為1ppm。具體為：
①如果需配制SO2氣體濃度范圍為：CSO2≥10000ppm，僅需第一次稀釋即可完成氣體配制；
②如果需配制SO2氣體濃度范圍為：10000ppm≥CSO2≥100ppm，經(jīng)第一次稀釋后獲得濃度為10000ppm的SO2氣體，再經(jīng)第二質(zhì)量流量計和第二靜態(tài)混合器后，即可完成氣體配制；
③如果需配制SO2氣體濃度范圍為：100ppm≥CSO2≥1ppm，經(jīng)第一次稀釋后獲得濃度為10000ppm的SO2氣體，再經(jīng)第二質(zhì)量流量計、第二靜態(tài)混合器后，獲得氣體濃度為100ppm，經(jīng)第三質(zhì)量流量計、第三靜態(tài)混合器后，即可完成氣體配制。
本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其優(yōu)點在于：
1、該裝置采用三級配氣技術(shù)，單次稀釋比可達1:100，可配制最低濃度為1ppm標氣，此配制裝置具有操作方便、配氣效率優(yōu)、準確度高以及避免引入其他雜質(zhì)等優(yōu)點；
2、本實用新型提供的動態(tài)配氣裝置可通過氣路并聯(lián)分接裝置同時滿足三臺六氟化硫分析儀的校驗需求，極大提高了校驗效率。
附圖說明
圖1是本實用新型實施例的接線圖。
圖中：1、SF6氣瓶 2、樣氣氣瓶 3、減壓閥 4、第一質(zhì)量流量控制器 5、電磁閥 6、第一靜態(tài)混合器 7、第二質(zhì)量流量控制器 8、第二靜態(tài)混合器 9、第三質(zhì)量流量控制器 10、第三靜態(tài)混合器 11、第四質(zhì)量流量控制器 12、第五質(zhì)量流量控制器 13、第六質(zhì)量流量控制器
具體實施方式
以下通過實施例對本實用新型的內(nèi)容進一步詳細地加以說明。在圖1所示的實施例中：樣氣氣瓶2有SO2氣瓶、H2S氣瓶等4種氣體的氣瓶。主氣路從連接SF6氣瓶1的輸出端起始依次設(shè)有減壓閥3、電磁閥5、第一質(zhì)量流量控制器4、第一靜態(tài)混合器6、第二質(zhì)量流量控制器7、第二靜態(tài)混合器8、第三質(zhì)量流量控制器9和第三靜態(tài)混合器10，SF6氣瓶1的輸出端還經(jīng)主氣路上的電磁閥5以及設(shè)有第四質(zhì)量流量控制器11的支氣路接第二質(zhì)量流量控制器7與第二靜態(tài)混合器8之間的主氣路、經(jīng)主氣路上的電磁閥5以及設(shè)有第五質(zhì)量流量控制器12的支氣路接第三質(zhì)量流量控制器9與第三靜態(tài)混合器10之間的主氣路上；每個樣氣氣瓶2的輸出端分別經(jīng)依次設(shè)有減壓閥3、第六質(zhì)量流量控制器13和電磁閥5的支路連通主氣路，連接點位于第一靜態(tài)混合器6的輸入端。