專利名稱：烴氣傳感器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種多層烴氣傳感器，特別是涉及一種選擇性地響應(yīng)不同易燃氣體的多層烴氣傳感器。
通常有兩種氣體傳感器，一種是半導(dǎo)體型或電阻型氣體傳感器，其中將半導(dǎo)體用作敏感材料，另一種是pellistor型氣體傳感器，其中把鈀或鉑等催化劑用作敏感材料。半導(dǎo)體氣體傳感器通常用于檢測還原氣體例如一氧化碳(CO)，氫和醇類，pellistor型傳感器通常用于檢測易燃氣體例如LNG和LPG。


圖1A和1B示意性地示出典型的半導(dǎo)體型氣體傳感器結(jié)構(gòu)，圖1A示出了一個厚膜型的氣體傳感器，圖1B示出了管型氣體傳感器。如圖中所示，厚膜型氣體傳感器包括一個具有位于襯底1一側(cè)上的加熱器2的敏感部分3，加熱器2構(gòu)成用于把傳感器加熱到預(yù)定溫度的主要結(jié)構(gòu)，一個在該襯底另一側(cè)上且具有預(yù)定電阻值的氧化物半導(dǎo)體，用于在氣體與敏感部分3反應(yīng)時將敏感部分3檢測的信號引導(dǎo)到輸出側(cè)的電極4，引向加熱器2和電極4的引線(未示出)，將所有上述元件封裝起來。管型氣體傳感器包括一個構(gòu)成框架的管5，用于將傳感器加熱到預(yù)定溫度的加熱器6，一個涂在管5外表面上的具有預(yù)定電阻值的氧化物半導(dǎo)體敏感部分7，一個與敏感部分7接觸以便將檢測信號引導(dǎo)到輸出側(cè)的電極8，和與加熱器6和電極8相連的引線9和10。圖1A中示出的厚膜型氣體傳感器的線路布置示于圖2A中，其把電源提供給加熱器2和敏感部分3并形成一個檢測電路，在該電路中敏感部分3分別與電阻R1和可變電阻VRO串接，并且與電阻R2并聯(lián)。
在上述每種半導(dǎo)型氣體傳感器中，當在氧化物半導(dǎo)體敏感部分3的表面上吸附的氧離子(O-或O2-)在由加熱器2將傳感器加熱到預(yù)定溫度(例如300～500℃)的狀態(tài)下與還原氣體接觸時，這些氧離子將按照下述化學反應(yīng)方程反應(yīng)，并產(chǎn)生電子[化學方程1]O-+R-RO+e-或O2-+R-RO+2e-
在這種情況下，因為氧化物半導(dǎo)體敏感部分3的電阻隨著其中電子濃度的變化而變化，而電子濃度伴隨著檢測電路輸出信號的變化，所以通過檢測輸出端的改變的電信號可以檢測氣體。
圖2B示出了一個管型氣體傳感器的檢測電路，其中厚膜氣體傳感器中的加熱器2和敏感部分3被管型氣體傳感器的加熱器6和敏感部分7代替，由于除了上述部分之外，兩個傳感器的其它部件是相同的所以采用了相同的標號，并且省略其說明。
在管型氣體傳感器中，當利用加熱器6將敏感部分7加熱到例如300-400℃時，吸附在敏感部分7的表面上并與還原氣體R接觸的氧離子(O-或O2-)發(fā)生化學反應(yīng)并產(chǎn)生電子，隨后電子濃度的變化引起敏感部分7的電阻變化，該電阻的變化使檢測電路的信號變化，借此產(chǎn)生一個相應(yīng)于檢測氣體濃度的電信號。
同時，pellistor型氣體傳感器包括一個帶催化劑的傳感器和一個不帶催化劑的參考單元，如果一個可燃氣體(例如LNG或LPG)與加熱到約300-400℃的檢測單元的表面接觸，則發(fā)生燃燒反應(yīng)并伴隨著溫度上升，結(jié)果使流過由金屬電阻器(通常為鉑或鉑合金)組成的檢測單元加熱器的電流比流過不產(chǎn)生燃燒反應(yīng)的參考單元加熱器的電流變小，這是由于參考單元沒有催化劑。檢測隨加熱器電流變化而產(chǎn)生的氣體燃燒熱便可以檢測是否存在一定濃度的氣體。
可是，傳統(tǒng)的半導(dǎo)體氣體傳感器具有會產(chǎn)生假報警的缺點，這是因為當該半導(dǎo)體氣體傳感器工作時，對非選定的烴類氣體敏感，不僅對烴類氣體，還對還原氣體例如一氧化碳敏感，另外，pellistor型氣體傳感器具有在低濃度氣體下不能工作的缺點。
因此，本發(fā)明的目的是提供一種能基本上消除由于現(xiàn)有技術(shù)中的限制和缺點引起的幾個問題的烴氣傳感器及其制造方法。
本發(fā)明的一個目的是提供一種能有效地和選擇性地檢測與不同性質(zhì)的氣體相混合的烴類氣體的烴氣傳感器及其制造方法。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種能選擇性地在不同性質(zhì)的氣體中只檢測低濃度烴類氣體的烴氣傳感器及其制造方法。
在下面的描述中將進一步指出本發(fā)明的其它特點和優(yōu)點，并且這些特點和優(yōu)點可部分地從描述中明顯地看出或可以通過本發(fā)明的實踐獲得理解。本發(fā)明的這些目的和其它的優(yōu)點是通過在說明書和權(quán)利要求書以及附圖中具體指出的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)和達到的。
為了獲得這些和其它一些優(yōu)點并且根據(jù)本發(fā)明的目的，如概要和概括地描述那樣，該制造烴氣傳感器的方法包括下述步驟提供一個襯底，在該襯底下部形成一個加熱器作為產(chǎn)生熱的裝置，在該襯底的上部形成電極，為了只對烴類敏感而在電極上形成一個敏感層，為與還原氣體產(chǎn)生反應(yīng)而在該敏感層上形成一個外覆蓋層(overcoated layer)。
本發(fā)明的另一方面是提供一種烴氣傳感器，該傳感器包括一個襯底，一個在襯底下部形成的加熱器，在襯底上部形成的電極，為了檢測烴而在電極上形成一敏感層和一個在敏感層上形成的覆蓋層。
在上述本發(fā)明的烴氣傳感器中，當該烴氣傳感器被啟動時，在氣體達到覆蓋層下面的氧化物半導(dǎo)體并且被轉(zhuǎn)換成電信號之前，因為還原氣體例如CO借助于覆蓋層上的催化劑與氧發(fā)生化學反應(yīng)轉(zhuǎn)換成CO2，從而使還原氣體在產(chǎn)生電信號方面的貢獻降低，只有烴類氣體例如丙烷到達氧化物半導(dǎo)體的敏感層并發(fā)生反應(yīng)，由此產(chǎn)生改變敏感部分電阻的電子，根據(jù)來自電極的電信號可以選擇性地和精確地檢測烴類氣體。
本發(fā)明的烴氣傳感器的優(yōu)點特別體現(xiàn)在該傳感器通過提供若干個獨立的電極和敏感層以及在每個敏感層上形成一個外覆蓋層可以只從不同類型的氣體中選擇性地檢測烴氣。
應(yīng)該指出的是，前面的概括描述和下面的詳細描述是作為舉例和說明性的，其意圖是進一步說明權(quán)利要求書中所要求保護的發(fā)明。
為了進一步理解本發(fā)明而包括在說明書中和構(gòu)成說明書一部分的附圖例舉了本發(fā)明的實施例，并且與說明書一起用于解釋對本發(fā)明的原理。
圖1A示出了一個傳統(tǒng)的厚膜型半導(dǎo)體氣體傳感器的剖面圖。
圖1B示出了一個傳統(tǒng)的管型半導(dǎo)體氣體傳感器的剖面圖。
圖2A～2C分別示出了厚薄型和管型半導(dǎo)體氣體傳感器的氣體檢測電路。
圖3示出根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的烴氣傳感器的剖面圖。
圖4示出了用于制造本發(fā)明一個優(yōu)選實施例的烴氣體傳感器的方法步驟。
圖5示出了按照本發(fā)明一個優(yōu)選實施例的烴氣傳感器對烴類氣體和還原氣體靈敏度的曲線。
圖6A～6C示出了按照本發(fā)明第二實施例所述帶有若干個電極的烴氣傳感器的剖面圖和平面圖。
圖7示出了用于制造本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例的烴氣傳感器的工藝過程。
圖8示出了一個用于本發(fā)明一個優(yōu)選實施例的烴氣傳感器的檢測電路。
圖9示出本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例的烴氣傳感器的方框圖。
圖10示出了利用本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例的烴氣檢測器件檢測烴氣的方法的步驟流程圖。
下面將詳細地說明在附圖中例舉的本發(fā)明的一些優(yōu)選實施例。
圖3示出了根據(jù)本發(fā)明第一優(yōu)選實施例的烴氣傳感器的剖面圖。
參照圖3，根據(jù)本發(fā)明的第一優(yōu)實施例的烴氣傳感器包括以需要的圖形印刷在襯底11兩側(cè)上的加熱器12和電極13，一個在電極13上形成的由添加有5～10wt％Zn2O3，0.1～2.0wt％Sb2O5和0.1～5.0wt％Pd的83.0～94.8wt％SnO2組成的氧化物半導(dǎo)體的敏感層14，一個在敏感層14上形成的厚度約為10～100μ的二氧化硅絕緣層15，一個在絕緣層15上形成的厚度約為10～50μ的由二氧化硅和氯化鈀混合物組成的緩沖層16和一個在緩沖層16上形成的厚度約為10～50μ的由氯化鈀組成的催化劑層17。相繼形成在敏感層14上的絕緣層15，緩沖層16和催化劑層17構(gòu)成一個外覆蓋層。雖然在第一實施例中外覆蓋層包括絕緣層15，緩沖層16和催化劑層17，但是，催化劑層17可以在省略緩沖層16下直接形成在絕緣層上。
下面說明制造上述烴氣傳感器的方法。
圖4示出了用于制造根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的烴氣傳感器的方法的步驟。
參見圖4，照例，該方法以清洗襯底開始，接著在襯底的兩側(cè)分別以預(yù)定圖形印刷電極和加熱器并進行熱處理。然后將由添加有5～10wt％Zn2O3，0.1～2.0wt％Sb2O5和0.1～5.0wt％Pd的83.0～94.8％SnO2構(gòu)成的氧化物半導(dǎo)體敏感層用絲網(wǎng)印刷在連同電極在內(nèi)的襯底的整個上側(cè)上，并在400℃～800℃溫度范圍內(nèi)進行熱處理。接著完成本發(fā)明的核心步驟，外涂覆工藝。即首先將硅溶膠溶液在敏感層上涂成10～100μ厚的涂層，在150℃溫度下干燥，然后在600℃下進行熱處理，以便形成一個絕緣層，將硅溶膠溶液和溶解有氯化鈀(PdCl2)的乙醇的混合物在絕緣層上涂成約10～50μ厚的涂層，在150℃溫度下干燥，再經(jīng)600℃的熱處理，以便形成一個緩沖層。再將用于涂敷緩沖層的氯化鈀乙醇溶液涂在緩沖層上，涂敷厚度為10～50μ，在150℃下干燥，然后在600℃下進行熱處理，以便形成一個催化劑層，至此完成外涂敷工藝。在完成一個傳感器元件的制造后，連接引線，將元件封裝，從而得到一個傳感器。
在上述本發(fā)明的烴氣傳感器中，當為了激勵烴氣傳感器而用供給加熱器電源將加熱器11加熱到300～500℃時，在氣體到達外覆蓋層下面的氧化物半導(dǎo)體并轉(zhuǎn)換成一個電信號之前，因為還原氣體(例如CO)通過外覆蓋層中的氯化鈀催化劑與氧發(fā)生如下述化學方程式2所示的化學反應(yīng)，變成CO2，使還原氣體的大部分對產(chǎn)生電信號的貢獻降低，只有烴類氣體R(例如丙烷)到達敏感層14(氧化物半導(dǎo)體)，并且與已經(jīng)吸附在敏感材料上的氧發(fā)生反應(yīng)，因此，產(chǎn)生如化學方程1中所示出的電子[化學方程2]
如上所述，當產(chǎn)生電子時，因為敏感層14的電阻降低而引起流過可變電阻器VRO和電阻R1的電流變大。由于輸出信號，即檢測電路輸出端的電壓變大，所以圖2C所示的檢測電路可以檢測烴氣。
圖5示出了根據(jù)本發(fā)明一個優(yōu)選實施例的烴氣傳感器對烴類氣和還原氣的靈敏度曲線，從中可以看出，傳感器對作為典型的烴類氣體的丙烷氣(0-500ppm)的靈敏度明顯地比對作為典型的還原氣體的一氧化碳氣(0～20000ppm)的傳感器靈敏度高，也就是說，傳感器對烴類氣體的靈敏度比對還原氣體高得多。在這種情況下，用在空氣中的傳感器電阻Rair與在一種氣體中的傳感器的電阻Rgas的比值S表示靈敏度。
圖6A～6C是按照本發(fā)明的第二實施例所述帶有若干個電極的烴氣傳感器的剖面圖和平面圖，其中圖6A是剖面圖，圖6B是從上部看的平面視圖，圖6C是從底部看的平面視圖。圖7示出制造本發(fā)明一個優(yōu)選實施例的烴氣傳感器的工藝過程，圖8示出了本發(fā)明優(yōu)選實施例的烴氣傳感器的氣體檢測電路，圖9是表示本發(fā)明一個優(yōu)選實施例的烴氣傳感器的方框圖，圖10是表示用本發(fā)明優(yōu)選實施例的烴檢測器件檢測烴的方法步驟流程圖。
參見圖6A，根據(jù)本發(fā)明第二實施例的烴氣傳感器包括一個襯底21，一個按圖6C中所示的圖所印刷在襯底21下部的加熱器22，一個按圖6B中所示的形狀在襯底21的上部一些預(yù)定區(qū)域上形成的第一電極23和第二電極24，一個在連同第一電極23在內(nèi)的襯底21上部的預(yù)定區(qū)域上形成的第一敏感層25，一個在連同第二電極24在內(nèi)的襯底21的上部預(yù)定區(qū)域上形成的第二敏感層26，一個在連同第一和第二敏感層25和26在內(nèi)的襯底21的整個表面上形成的絕緣層27，一個在第一敏感層25上方的絕緣層27上形成的第一緩沖層28，一個在與第一緩沖層28隔開的在第二敏感層26上方的絕緣層27上形成的第一催化劑層30，和一個在第二緩沖層29上形成的第二催化層31。絕緣層27、第一敏感層25上的第一緩沖層28和第一催化劑層30以及絕緣層27、第二敏感層26上的第二緩沖層29和第二催化劑層31均構(gòu)成一個外覆蓋層。第一緩沖層28和第二緩沖層29可以根據(jù)需要省去。雖然在本實施例中有兩個相互隔開的電極，但是根據(jù)需要可以增加一些電極。
上述的烴氣傳感器可以按照圖7中所示的工藝步驟制造。
首先，清洗襯底，按預(yù)定的圖形在襯底21的下部印刷加熱器22，在襯底21上部的一些預(yù)定區(qū)域印刷第一電極23和第二電極24，并且進行熱處理。然后，在連同第一和第二電極23和24在內(nèi)的襯底21的上部印刷包含SnO2的氧化物半導(dǎo)體，并在400℃～800℃下進行熱處理。以便形成第一敏感層25和第二敏感層26。再將硅溶膠溶液涂在連同第一敏感層25和第二敏感層26在內(nèi)的襯底21的整個表面上，涂敷厚度為10～100μm，在150℃下干燥，并在600℃下進行處理，以便形成一個絕緣層27。將硅溶膠溶液和溶解有氯化鈀(PdCl2)的乙醇溶液的混合液涂在第一敏感層25上方的絕緣層27上，涂敷厚度為10～50μm，進行干燥和熱處理，以便形成第一緩沖層28。再用硅溶膠溶液和六氯化氫鉑(IV)水合物的水溶液(H2PtCl6+H2O)的混合液涂敷在與第一緩沖層28隔開預(yù)定距離的第二敏感層26上方的絕緣層27上，涂敷厚度為10～50μm經(jīng)干燥和熱處理后形成第二緩沖層29。將溶解有氯化鈀的乙醇溶液涂在第一緩沖層28上，涂敷厚度為10～50μm，經(jīng)干燥和熱處理后形成第一催化劑層30。將六氯化氫鉑(IV)水合物的水溶液涂在第二緩沖層29上，涂敷厚度為10～50μ，經(jīng)干燥和熱處理后形成第二催化層31。接著，為了形成外電極而進行引線連接工藝，并完成封裝工藝，至此完成烴氣傳感器的制造。
參見圖8，這樣形成的烴氣傳感器的接線方法如下將預(yù)定電源供給具有加熱器22，第一敏感層25和第二敏感層26的傳感器，將電阻R4和可變電阻VR2與第一敏感層26串聯(lián)，將電阻R3和可變電阻VR1與第二敏感層26串聯(lián)，從而構(gòu)成一個氣體檢測電路。在這個氣體檢測電路中，當加熱器22加熱到300℃～500℃時，就開始檢測，第一敏感層25和第二敏感層26彼此產(chǎn)生不同的電信號，該信號正比于由第一催化劑層30和第二催化劑層31相應(yīng)的催化作用引起的相應(yīng)的電阻變化，在第一催化劑層30和第二催化劑層31之間的催化作用是不同的。表1示出了第一敏感層25和第二敏感層26的靈敏度，從表1中可以看出與第一催化劑層30和第一緩沖層28相連接的第一敏感層25對烴氣和乙醇特別敏感，但對一氧化碳不敏感，而與第二催化層31和第二緩沖層29相連接的第二敏感層26對乙醇特別敏感。第一敏感層25和第二敏感層26在檢測前后的電阻變化范圍正比于氣體靈敏度。
[表1
靈敏度在清潔的空氣中的電阻/在待檢測氣體中的電阻。
待檢測氣體的濃度500ppm。
利用這些特性，提供一種可以選擇性檢測醇類氣體和烴類氣體的烴檢測器件，該器件如圖9所示，包括用于將來自第一敏感層25的電壓和預(yù)設(shè)的參考電壓進行比較并且產(chǎn)生比較信號的第一比較部分51，用于將來自第二敏感層26的電壓與預(yù)設(shè)的參考電壓進行比較并且產(chǎn)生比較信號的第二比較部分52，一個響應(yīng)來自第一和第二比較部分51和52的信號確定存在烴氣并且產(chǎn)生一個確定信號的確定部分53，以及一個根據(jù)來自確定部分53的信號產(chǎn)生報警的報警產(chǎn)生部分54。
下面參照圖10說明上述烴檢測器件的操作。
第一比較部分51在檢測后把來自第一敏感層25的電壓與預(yù)設(shè)的第一參考電壓進行比較(S11)，第二比較部分52在檢測后把來自第二敏感部分26的電壓與預(yù)設(shè)的第二參考電壓進行比較(S12)。如果在檢測后，來自第一敏感層25的電壓大于第一參考電壓，而在檢測后，來自第二敏感層26的電壓小于第二參考電壓，則確定部分53確定存在的氣體是烴氣(S14)，并且報警發(fā)生部分54向用戶發(fā)生報警(S15)。如果在檢測后，來自第一和第二敏感層25和26的電壓分別大于第一和第二參考電壓，則確定部分53測定存在的氣體是醇類氣體(S13)，并且報警部分54向用戶發(fā)生報警。
因為本發(fā)明的傳感器可以精確地從不同的環(huán)境氣體中分開可燃性氣體并且可以選擇地進行檢測，所以該傳感器可以用于各種氣體檢測系統(tǒng)。
在用于檢測LNG和LPG泄漏的報警應(yīng)用中，本發(fā)明的傳感器可以防止傳統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器假報警的缺點，并且與Pellitor型氣體傳感器相比較提高了對低濃度氣體的靈敏度。本發(fā)明的傳感器不僅可以用于轎車的廢氣分析儀中，而且還可以與其它類型半導(dǎo)體傳感器結(jié)合形成陣列，以便利用微處理器借助軟件庫技術(shù)處理來自傳感器陣列的信號，從而可以精確地和選擇性地在不同的氣體混合物中只檢測烴類氣體。
顯然，在不背離本發(fā)明的精神或范圍的條件下，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以對本發(fā)明的烴氣體傳感器及其制造方法進行各種改變和改型。本發(fā)明覆蓋了在本發(fā)明的權(quán)利要求書及其等同物范圍內(nèi)，所進行的各種改進和改型。
權(quán)利要求
1.一種用于制造烴氣傳感器的方法，包括下列步驟提供一個襯底；在襯底的下部上形成一個加熱器作為產(chǎn)生熱的裝置；在襯底上部上形成一些電極；在電極上形成只對烴類敏感的敏感層，以及在敏感層上形成一個與還原氣體反應(yīng)的外覆蓋層。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述的電極分成若干個電極，所述的只對烴類敏感的敏感層和與還原氣體反應(yīng)的外覆蓋層相繼形成在所述若干個電極的每一個上。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中形成外覆蓋層的步驟包括下述步驟在若干敏感層上形成一個絕緣層；在絕緣層上形成相應(yīng)于敏感層彼此隔開的若干個催化劑層。
4.如權(quán)利要求2所述的方法，其中形成外覆蓋層的步驟包括下述步驟在若干敏感層上形成一個絕緣層，和相繼形成若干個緩沖層和若干個催化劑層，這些緩沖層和催化劑層都對應(yīng)于若干敏感層而彼此分開。
5.如權(quán)利要求3所述的方法，其中絕緣層是通過涂有10～100μm的厚度的硅溶膠溶液并經(jīng)過在180℃下干燥和在600℃下進行熱處理形成的；若干催化劑層中的某些催化劑層是通過涂敷10～50μ厚度的溶解有氮化鈀的乙醇溶液形成的，而其余的若干個催化劑層是通過將溶解有六氯氫化鉑(IV)水合物的水溶液(H2PtCl6+H20)涂到10～50μ的厚度，然后經(jīng)過在180℃下干燥和600℃下熱處理形成的。
6.如權(quán)利要求4所述的方法，其中所述絕緣層是通過將硅溶膠溶液涂到10～100μm的厚度形成，若干個緩沖層中的某些層通過將硅溶膠溶液和溶有氯化鈀的乙醇溶液的混合溶液涂到10～50μm的厚度形成，而其余一些緩沖層通過將硅溶膠溶液和溶解有六氯化氫鉑(IV)水合物的水溶液的混合溶液涂到10～50μ厚度形成，若干個催化劑層中的某些層通過將溶有氯化鈀的乙醇溶液涂到10～50μ厚度形成，而其余一些催化劑層通過將溶有六氯化氫鉑(IV)水合物的水溶液涂到10～50μ形成，然后分別經(jīng)過在180℃溫度下干燥和在600℃溫度下熱處理。
7.一種烴氣傳感器，包括一個襯底；一個在襯底下部上形成的加熱器；在襯底上部上形成的若干個電極；在若干個電極上形成的用于檢測烴的敏感層，以及一個在敏感層上形成的外覆蓋層。
8.如權(quán)利要求7所述的烴氣傳感器，其中所述的電極分成若干個電極，在分開的若干個電極的每一個上形成敏感層，外覆蓋層形成在彼此分開的敏感層上。
9.如權(quán)利要求8所述的烴氣傳感器，其中所述的外覆蓋層包括一個在若干個敏感層上形成的絕緣層，和若干個相應(yīng)于所述敏感層彼此分開地形成在絕緣層上的催化劑層。
10.如權(quán)利要求8所述的烴氣傳感器，其中外覆蓋層包括一個在若干個敏感層上形成的絕緣層，和相繼形成在絕緣層上的若干個緩沖層和若干個催化劑層，所述的緩沖層和所述的催化劑層相對所述的敏感層是彼此分開形成的。
11.如權(quán)利要求9所述的烴氣傳感器，其中絕緣層是由約10～100μm厚的二氧化硅形成，若干個催化劑層的某些催化劑層由約10～100μm厚的氯化鈀形成，而其余一些催化劑層由厚度為10-100μ的六氯化氫鉑(IV)水合物形成。
12.如權(quán)利要求10所述的烴氣傳感器，其中絕緣層由約10～100μm厚的二氧化硅形成，若干個緩沖層中的某些緩沖層由厚度約10～50μm的二氧化硅和氯化鈀的混合物形成，而其余的一些緩沖層由10～50μm厚的二氧化硅和氯化鈀混合物形成，若干催化劑層中的某些催化劑層由厚度10～50μm的氯化鈀形成，而其余的催化劑層由10～50μm厚的六氯化氫鉑(IV)水合物形成。
13.一種用烴氣傳感器檢測烴的方法，該方法包括下述步驟將檢測時來自第一敏感層和第二敏感層的電壓分別與預(yù)設(shè)的第一參考電壓和第二參考電壓相比較；和根據(jù)比較的結(jié)果檢測烴氣。
14.如權(quán)利要求13所述的方法，其中所述的比較步驟包括下述步驟在將檢測時來自第一敏感層的電壓與預(yù)置的第一參考電壓比較時，如果檢測時來自第一敏感層的電壓大于預(yù)設(shè)的第一參考電壓，則將在檢測時來自第二敏感層的電壓與預(yù)設(shè)的第二參考電壓相比較。
全文摘要
一種烴氣傳感器及其制造方法。該傳感器包括一個在襯底的若干個電極上形成的并且用于檢測烴類的敏感層和一個在敏感層上形成的并且用于與還原氣反應(yīng)的外覆蓋層,在由不同氣體組成的混合物中的還原氣體與外覆蓋層發(fā)生反應(yīng)然后放出,在剩余的氣體中,只有烴氣被敏感層檢測,然后通過電極產(chǎn)生一個信號,其中電極敏感層和外覆蓋層可以以彼此分開的方式形成,以便更有效和有選擇地進行檢測。
文檔編號G01N27/12GK1178903SQ97119278
公開日1998年4月15日 申請日期1997年8月7日 優(yōu)先權(quán)日1996年8月7日
發(fā)明者權(quán)哲漢, 李圭晶, 洪炯基, 尹童鉉, 金承烈 申請人:Lg電子株式會社