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一種電容式傳感器電極的制作方法

文檔序號(hào):12879147閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)一種電容式傳感器電極,包括襯底和置于所述襯底上的敏感電容,所述敏感電容包括置于所述襯底上的電容一和疊置于所述電容一上的電容二,所述電容一為設(shè)置在襯底上的下電極,所述下電極呈叉指狀設(shè)置有公共叉指電極和非公共叉指電極,所述公共叉指電極與非公共叉指電極之間涂有敏感介質(zhì),所述電容二包括所述公共叉指電極和位于所述敏感電極最外端呈平板狀的上電極,所述上電極向下設(shè)有延伸部,所述公共叉指電極上覆蓋有絕緣層,所述上電極的延伸部與非公共叉指電極導(dǎo)通,所述上電極與所述下電極之間設(shè)有敏感介質(zhì)層,本設(shè)計(jì)使得整個(gè)電容式傳感器有效面積大,容值大,靈敏度高。

技術(shù)研發(fā)人員:付俊;戴煊龍;常偉;籍慶校;任萬(wàn)偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者:寶力馬(蘇州)傳感技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼:201720239456
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.13
技術(shù)公布日:2017.11.07

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