技術(shù)編號：12879147
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種電容式傳感器電極。背景技術(shù)電容式傳感器由于其制造簡單、線性好等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用在工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域。傳統(tǒng)的電容式傳感器電極多采用平板電極結(jié)構(gòu)。隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，由于叉指電極結(jié)構(gòu)的電容式傳感器可以提供較大的電容有效面積，較短的響應(yīng)時(shí)間和和較小的尺寸，因此得到了十足的發(fā)展。但限于目前傳感器小型化集成化的要求，傳感器體積會進(jìn)一步縮小，這使得目前傳統(tǒng)的平板電極和新興的叉指電極結(jié)構(gòu)都無法滿足電容式傳感器的有效面積大、容值大和靈敏度高的要求。有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計(jì)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。