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一種電容式傳感器電極的制作方法

文檔序號(hào):12879147閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種電容式傳感器電極,包括襯底和置于所述襯底上的敏感電容,其特征在于:所述敏感電容包括置于所述襯底上的電容一和疊置于所述電容一上的電容二,所述電容一為設(shè)置在襯底上的下電極,所述下電極呈叉指狀設(shè)置有公共叉指電極和非公共叉指電極,所述公共叉指電極與非公共叉指電極之間涂有敏感介質(zhì),所述電容二包括所述公共叉指電極和位于所述敏感電極最外端呈平板狀的上電極,所述上電極向下設(shè)有延伸部,所述公共叉指電極上覆蓋有絕緣層,所述上電極的延伸部與非公共叉指電極導(dǎo)通,所述上電極與所述下電極之間設(shè)有敏感介質(zhì)層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容式傳感器電極,其特征在于:所述襯底還設(shè)有位于其兩側(cè)的第一焊盤和第二焊盤,所述第一焊盤和/或第二焊盤采用磁控濺射和刻蝕相結(jié)合的方式制備而成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種電容式傳感器電極,其特征在于:所述公共叉指電極和所述非公共叉指電極中,其中一個(gè)與所述第一焊盤連接,另一個(gè)與所述第二焊盤連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容式傳感器電極,其特征在于:所述上電極具有供外界環(huán)境與敏感介質(zhì)導(dǎo)通的網(wǎng)狀微孔結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容式傳感器電極,其特征在于:所述襯底采用陶瓷襯底或藍(lán)寶石襯底。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容式傳感器電極,其特征在于:所述敏感介質(zhì)的設(shè)置方式為旋涂或噴涂。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種電容式傳感器電極,其特征在于:所述第一焊盤與所述第二焊盤的材料為Pt、Cr或Au。

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