本發(fā)明涉及一種轉(zhuǎn)印膜、轉(zhuǎn)印膜的制造方法、層疊體、層疊體的制造方法、靜電電容型輸入裝置及圖像顯示裝置。
背景技術(shù):
近年來(lái),在靜電電容型輸入裝置(觸摸屏)中,為了降低透明電極的視認(rèn)性,提出有在透明電極圖案上形成高折射率的透明樹(shù)脂層。
例如,已知有專(zhuān)利文獻(xiàn)1中所記載的轉(zhuǎn)印膜。
另外,提出有在制造靜電電容型輸入裝置時(shí),將轉(zhuǎn)印材料層壓于基板上。例如,已知有專(zhuān)利文獻(xiàn)1或?qū)@墨I(xiàn)2中所記載的轉(zhuǎn)印膜或感光性片材。
[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[專(zhuān)利文獻(xiàn)]
專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本專(zhuān)利特開(kāi)2014-108541號(hào)公報(bào)
專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本專(zhuān)利特開(kāi)2005-208559號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
[發(fā)明要解決的問(wèn)題]
在形成觸摸屏用電極圖案膜的絕緣層或保護(hù)層時(shí),為了取出信號(hào),需要通過(guò)圖案顯影(圖案化)等方法,在透明電極周邊的金屬配線(xiàn)部的一部分中制作去除了絕緣層或保護(hù)層的區(qū)域。所述不形成絕緣層或保護(hù)層的區(qū)域因金屬會(huì)露出,故有在其后的步驟的中途劣化之虞。
現(xiàn)有技術(shù)對(duì)使用轉(zhuǎn)印膜來(lái)形成絕緣層或保護(hù)層等的方法進(jìn)行了揭示,但非圖案形成部可能會(huì)氧化。
本發(fā)明要解決的問(wèn)題在于提供一種用于絕緣層或保護(hù)層的形成,且圖案隱蔽性、及去除了絕緣層或保護(hù)層的區(qū)域中的保護(hù)性?xún)?yōu)異的轉(zhuǎn)印膜、轉(zhuǎn)印膜的制造方法、層疊體、層疊體的制造方法。
進(jìn)而,本發(fā)明要解決的問(wèn)題在于提供一種使用所述轉(zhuǎn)印膜制作而成的靜電電容型輸入裝置、包含所述層疊體的靜電電容型輸入裝置、及具備所述靜電電容型輸入裝置作為構(gòu)成要素的圖像顯示裝置。
[解決問(wèn)題的技術(shù)手段]
本發(fā)明的所述課題通過(guò)以下的<1>、<3>、<16>~<20>、<27>、<30>或<32>中所記載的手段來(lái)解決。以下一并記載作為優(yōu)選的實(shí)施形態(tài)的<2>~<15>、<21>~<26>、<28>~<29>及<31>。
<1>一種轉(zhuǎn)印膜,其特征在于:具有臨時(shí)支撐體、以及包含金屬氧化抑制劑的第一透明樹(shù)脂層,且所述第一透明樹(shù)脂層的折射率為1.60以上,
<2>根據(jù)<1>所述的轉(zhuǎn)印膜,其中所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化物粒子,
<3>一種轉(zhuǎn)印膜,其特征在于:具有臨時(shí)支撐體、以及第一透明樹(shù)脂層,且所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑、及金屬氧化物粒子,
<4>根據(jù)<2>或<3>所述的轉(zhuǎn)印膜,其中所述金屬氧化物粒子為氧化鈦粒子、鈦復(fù)合氧化物粒子、或氧化鋯粒子,
<5>根據(jù)<1>至<4>中任一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)印膜,其在所述臨時(shí)支撐體與所述第一透明樹(shù)脂層之間還具有第二透明樹(shù)脂層,且所述第二透明樹(shù)脂層具有感光性,
<6>根據(jù)<5>所述的轉(zhuǎn)印膜,其中所述第二透明樹(shù)脂層包含聚合性化合物及光聚合引發(fā)劑,
<7>根據(jù)<5>或<6>所述的轉(zhuǎn)印膜,其中所述第二透明樹(shù)脂層為能夠進(jìn)行堿顯影的層,
<8>根據(jù)<5>至<7>中任一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)印膜,其中所述第二透明樹(shù)脂層的折射率小于所述第一透明樹(shù)脂層的折射率,
<9>根據(jù)<5>至<8>中任一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)印膜,其中所述第二透明樹(shù)脂層的折射率未滿(mǎn)1.60,
<10>根據(jù)<1>至<9>中任一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)印膜,其中所述金屬氧化抑制劑為具有包含氮原子作為環(huán)員的芳香環(huán)的化合物,
<11>根據(jù)<10>所述的轉(zhuǎn)印膜,其中所述包含氮原子作為環(huán)員的芳香環(huán)為選自由咪唑環(huán)、三唑環(huán)、四唑環(huán)、噻二唑環(huán)、及這些環(huán)與其他芳香環(huán)的縮合環(huán)所組成的群組中的至少一種環(huán),
<12>根據(jù)<10>或<11>所述的轉(zhuǎn)印膜,其中所述包含氮原子作為環(huán)員的芳香環(huán)為咪唑環(huán)、三唑環(huán)、咪唑環(huán)與其他芳香環(huán)的縮合環(huán)、或三唑環(huán)與其他芳香環(huán)的縮合環(huán),
<13>根據(jù)<1>至<12>中任一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)印膜,其中所述金屬氧化抑制劑為苯并咪唑、苯并三唑、苯并咪唑、苯并三唑、1-[N,N-雙(2-乙基己基)氨基甲基]苯并三唑、1-[N,N-雙(2-乙基己基)氨基甲基]甲基苯并三唑、或羧基苯并三唑,
<14>根據(jù)<1>至<13>中任一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)印膜,其中相對(duì)于所述第一透明樹(shù)脂層的總質(zhì)量的所述金屬氧化抑制劑的含量為0.1質(zhì)量%以上,
<15>根據(jù)<1>至<14>中任一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)印膜,其中所述第一透明樹(shù)脂層具有光硬化性和/或熱硬化性,
<16>一種轉(zhuǎn)印膜的制造方法,其特征在于:具有在臨時(shí)支撐體上形成第二透明樹(shù)脂層的步驟、以及在所述第二透明樹(shù)脂層上形成第一透明樹(shù)脂層的步驟,且所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑,所述第一透明樹(shù)脂層的折射率為1.60以上,
<17>一種轉(zhuǎn)印膜的制造方法,其特征在于:具有在臨時(shí)支撐體上形成第二透明樹(shù)脂層的步驟、以及在所述第二透明樹(shù)脂層上形成第一透明樹(shù)脂層的步驟,且所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑、及金屬氧化物粒子,
<18>一種轉(zhuǎn)印膜的制造方法,其特征在于:具有在臨時(shí)支撐體上形成包含聚合性化合物及光聚合引發(fā)劑的第二透明樹(shù)脂層的步驟、以及在所述第二透明樹(shù)脂層上形成第一透明樹(shù)脂層的步驟,且所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑,所述第一透明樹(shù)脂層的折射率為1.60以上,
<19>一種層疊體,其特征在于:具有基材;透明電極圖案,位于所述基材上;第一透明樹(shù)脂層,鄰接并位于所述透明電極圖案上;第二透明樹(shù)脂層,位于所述第一透明樹(shù)脂層上;且所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑,所述第一透明樹(shù)脂層的折射率為1.60以上,
<20>一種層疊體,其特征在于:具有基材;透明電極圖案,位于所述基材上;第一透明樹(shù)脂層,鄰接并位于所述透明電極圖案上;第二透明樹(shù)脂層,位于所述第一透明樹(shù)脂層上;且所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑、及金屬氧化物粒子,
<21>根據(jù)<19>或<20>所述的層疊體,其中所述基材為透明膜基板,
<22>根據(jù)<21>所述的層疊體,其中在所述透明膜基板的兩面分別具有所述透明電極圖案、所述第一透明樹(shù)脂層、及所述第二透明樹(shù)脂層,
<23>根據(jù)<21>或<22>所述的層疊體,其中在所述透明電極圖案與所述透明膜基板之間還具有折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜,
<24>根據(jù)<19>至<23>中任一項(xiàng)所述的層疊體,其還具有與所述透明電極圖案導(dǎo)通的金屬配線(xiàn)部,
<25>根據(jù)<24>所述的層疊體,其中在所述第一透明樹(shù)脂層、及所述第二透明樹(shù)脂層經(jīng)去除的區(qū)域中的金屬配線(xiàn)部上具有金屬氧化抑制劑,
<26>根據(jù)<19>至<25>中任一項(xiàng)所述的層疊體,其中所述第一透明樹(shù)脂層和/或所述第二透明樹(shù)脂層經(jīng)圖案化,
<27>一種層疊體的制造方法,其特征在于:依次包含準(zhǔn)備根據(jù)<1>至<15>中任一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)印膜的步驟;在位于基材上的透明電極圖案上,以與所述透明電極圖案接觸的方式層疊所述轉(zhuǎn)印膜的所述第一透明樹(shù)脂層的步驟;以及將所述臨時(shí)支撐體剝離的步驟,
<28>根據(jù)<27>所述的層疊體的制造方法,其中所述基材為透明膜基板,
<29>根據(jù)<27>或<28>所述的層疊體的制造方法,其還包含對(duì)層疊于所述透明電極圖案上的所述第一透明樹(shù)脂層進(jìn)行圖案化的步驟,
<30>一種靜電電容型輸入裝置,其使用根據(jù)<1>至<15>中任一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)印膜制作而成,
<31>一種靜電電容型輸入裝置,其包含根據(jù)<19>至<26>中任一項(xiàng)所述的層疊體,
<32>一種圖像顯示裝置,其具備根據(jù)<30>或<31>所述的靜電電容型輸入裝置作為構(gòu)成要素。
[發(fā)明的效果]
根據(jù)本發(fā)明,可提供一種用于絕緣層或保護(hù)層的形成,且圖案隱蔽性、及去除了絕緣層或保護(hù)層的區(qū)域中的保護(hù)性?xún)?yōu)異的轉(zhuǎn)印膜、轉(zhuǎn)印膜的制造方法、層疊體、層疊體的制造方法。進(jìn)而,本發(fā)明可提供一種使用所述轉(zhuǎn)印膜制作而成的靜電電容型輸入裝置、包含所述層疊體的靜電電容型輸入裝置、及具備所述靜電電容型輸入裝置作為構(gòu)成要素的圖像顯示裝置。
附圖說(shuō)明
圖1A是表示本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的構(gòu)成的一例的剖面概略圖。
圖1B是表示本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的構(gòu)成的另一例的剖面概略圖。
圖2是表示本發(fā)明中的層疊體的一例的說(shuō)明圖。
圖3是表示本發(fā)明中的透明電極圖案與非圖案區(qū)域的關(guān)系的一例的說(shuō)明圖。
圖4是表示形成有開(kāi)口部的強(qiáng)化處理玻璃的一例的俯視圖。
圖5是表示形成有掩模層的層疊體的一例的俯視圖。
圖6是表示形成有第一透明電極圖案的層疊體的一例的俯視圖。
圖7是表示形成有第一透明電極圖案及第二透明電極圖案的層疊體的一例的俯視圖。
圖8是表示形成有與第一透明電極圖案及第二透明電極圖案不同的導(dǎo)電性要素的層疊體的一例的俯視圖。
圖9是表示本發(fā)明的層疊體的另一例的剖面概略圖。
圖10是表示透明電極圖案的端部的錐形形狀的一例的說(shuō)明圖。
圖11是表示本發(fā)明的層疊體的構(gòu)成的一例的剖面概略圖。
圖12是表示本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的構(gòu)成的一例的剖面概略圖。
圖13是表示本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的構(gòu)成的另一例的俯視圖,且是表示圖案化后的包含未被第一透明樹(shù)脂層覆蓋的路由配線(xiàn)的終端部(末端部分)的形態(tài)的概略圖。
圖14是表示通過(guò)層壓而將具有第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層的本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜層疊于靜電電容型輸入裝置的透明電極圖案上后、圖案化前的狀態(tài)的一例的概略圖。
圖15是表示第一透明樹(shù)脂層與第二透明樹(shù)脂層經(jīng)硬化的所期望的圖案的一例的概略圖。
具體實(shí)施方式
以下,對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。以下所記載的構(gòu)成要件的說(shuō)明有時(shí)基于本發(fā)明的具有代表性的實(shí)施形態(tài)來(lái)進(jìn)行,但本發(fā)明并不限定于此種實(shí)施形態(tài)。再者,在本申請(qǐng)說(shuō)明書(shū)中,“~”是以包含其前后所記載的數(shù)值作為下限值及上限值的含義來(lái)使用。另外,所謂有機(jī)EL元件,是指有機(jī)電致發(fā)光元件。
在本說(shuō)明書(shū)中的基(原子團(tuán))的表述中,未記載經(jīng)取代及未經(jīng)取代的表述包含不具有取代基的基,并且也包含具有取代基的基。例如,所謂“烷基”,不僅包含不具有取代基的烷基(未經(jīng)取代的烷基),還包含具有取代基的烷基(經(jīng)取代的烷基)。
再者,在本說(shuō)明書(shū)中,“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯,“(甲基)丙烯酸基”表示丙烯酸基及甲基丙烯酸基,“(甲基)丙烯?;北硎颈;凹谆;?。
另外,在本發(fā)明中,“質(zhì)量%”與“重量%”的含義相同,“質(zhì)量份”與“重量份”的含義相同。
另外,在本發(fā)明中,優(yōu)選的形態(tài)的組合更優(yōu)選。
在本發(fā)明中,關(guān)于聚合物成分,分子量為將四氫呋喃(Tetrahydrofuran,THF)作為溶劑時(shí)的由凝膠滲透色譜法(Gel Permeation Chromatography,GPC)所測(cè)定的聚苯乙烯換算的重量平均分子量。
(轉(zhuǎn)印膜)
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的第一形態(tài)的特征在于:具有臨時(shí)支撐體、以及包含金屬氧化抑制劑的第一透明樹(shù)脂層,且第一透明樹(shù)脂層的折射率為1.60以上。以下,只要無(wú)特別記載,則本發(fā)明中的折射率為25℃下的值。
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的第二形態(tài)的特征在于:具有臨時(shí)支撐體、以及第一透明樹(shù)脂層,且所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑、及金屬氧化物粒子。
在本發(fā)明中,所謂“透明樹(shù)脂層”,是指當(dāng)將樹(shù)脂層轉(zhuǎn)印至透過(guò)率為90%以上的基材上來(lái)形成層疊體時(shí),所述層疊體的透過(guò)率為80%以上者。作為所述透過(guò)率,可使用在400nm~750nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi),以10nm的間距所測(cè)定的值的算術(shù)平均值。
<轉(zhuǎn)印膜中的折射率、及厚度的測(cè)定方法>
在本發(fā)明中,第一透明樹(shù)脂層的折射率、第一透明樹(shù)脂層的厚度、及后述的第二透明樹(shù)脂層的折射率可使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000(大冢電子(股份)制造),如下述般求出。另外,以下的測(cè)定是在25℃的條件下進(jìn)行。
(1)準(zhǔn)備臨時(shí)支撐體,并將其切出縱橫的邊的長(zhǎng)度為10cm×10cm。經(jīng)由透明粘著帶(光學(xué)透明膠帶(Optically Clear Adhesive Tape,OCA Tape)8171CL:3M公司制造),使黑色聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(Polyethylene terephthalate,PET)材接觸所切出的臨時(shí)支撐體的一個(gè)表面來(lái)制作層疊體(第一層疊體)。使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000評(píng)價(jià)第一層疊體的反射光譜(波長(zhǎng):430nm~800nm),并求出各波長(zhǎng)中的臨時(shí)支撐體的折射率n0。
(2)準(zhǔn)備在臨時(shí)支撐體上僅形成有第二透明樹(shù)脂層的樣品,并將其切出縱橫的邊的長(zhǎng)度為10cm×10cm。經(jīng)由透明粘著帶(OCA帶8171CL:3M公司制造),使黑色PET材接觸所切出的樣品的臨時(shí)支撐體面來(lái)制作層疊體(第二層疊體)。使用透射型電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,TEM)對(duì)第二層疊體進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析。在10處測(cè)定第二透明樹(shù)脂層的厚度并求出平均值,且求出第二透明樹(shù)脂層的厚度的平均值的第1預(yù)估值T2(I)。使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000評(píng)價(jià)第二層疊體的反射光譜(波長(zhǎng):430nm~800nm)。求出各波長(zhǎng)中的第二透明樹(shù)脂層的折射率n2及第二透明樹(shù)脂層的厚度的平均值的第2預(yù)估值T2(II)。此時(shí),因考慮到第二透明樹(shù)脂層與臨時(shí)支撐體的界面的反射,故在將所述(1)中所求出的折射率n0的值與第1預(yù)估值T2(I)代入至計(jì)算式中的狀態(tài)下,根據(jù)第二層疊體的反射光譜,通過(guò)模擬計(jì)算進(jìn)行擬合來(lái)求出折射率n2及第2預(yù)估值T2(II)。
(3)準(zhǔn)備在臨時(shí)支撐體上形成有第二透明樹(shù)脂層及第一透明樹(shù)脂層的轉(zhuǎn)印膜,并將其切出縱橫的邊的長(zhǎng)度為10cm×10cm(當(dāng)具有保護(hù)膜時(shí)將其剝離)。經(jīng)由透明粘著帶(OCA帶8171CL:3M公司制造),使黑色PET材接觸所切出的轉(zhuǎn)印膜的臨時(shí)支撐體面來(lái)制作樣品片(第三層疊體)。使用透射型電子顯微鏡(TEM)對(duì)樣品片進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析,在10處測(cè)定第一透明樹(shù)脂層的厚度并求出平均值,且求出第一透明樹(shù)脂層的厚度的平均值的預(yù)估值T1(I)。針對(duì)樣品片,使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000,以測(cè)定點(diǎn):直徑為φ40μm,并以0.2mm間隔,在任意方向的直線(xiàn)上評(píng)價(jià)200處測(cè)定點(diǎn)(即4cm長(zhǎng))的反射光譜。在與所述直線(xiàn)方向正交的方向上每隔1cm將其分成5行,合計(jì)重復(fù)1,000處。此時(shí),因考慮到第二透明樹(shù)脂層與臨時(shí)支撐體的界面、及第二透明樹(shù)脂層與第一透明樹(shù)脂層的界面的反射,故在將所述(1)中所求出的折射率n0、所述(2)中所求出的折射率n2及第2預(yù)估值T2(II)、以及第1預(yù)估值T1(I)代入至計(jì)算式中的狀態(tài)下,根據(jù)第三層疊體的反射光譜,通過(guò)模擬計(jì)算進(jìn)行擬合來(lái)求出第一透明樹(shù)脂層的折射率n1、以及1000處測(cè)定點(diǎn)中的第二透明樹(shù)脂層及第一透明樹(shù)脂層的厚度。進(jìn)而,算出第二透明樹(shù)脂層及第一透明樹(shù)脂層的厚度的平均值、最大值、最小值及標(biāo)準(zhǔn)偏差,并求出n1、n2、T1、T2、σ1及H1。n1表示第一透明樹(shù)脂層的折射率,n2表示第二透明樹(shù)脂層的折射率,T1表示第一透明樹(shù)脂層的平均厚度,T2表示第二透明樹(shù)脂層的平均厚度,σ1表示第二透明樹(shù)脂層的厚度的標(biāo)準(zhǔn)偏差,H1表示第一透明樹(shù)脂層的厚度的最大值與最小值的差。
將利用TEM對(duì)第二透明樹(shù)脂層的厚度及第一透明樹(shù)脂層的厚度進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析所獲得的預(yù)估值輸入至反射分光膜厚計(jì)中,由此可提高模擬的擬合精度。
另外,本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜優(yōu)選為在臨時(shí)支撐體與第一透明樹(shù)脂層之間還具有第二透明樹(shù)脂層,且第二透明樹(shù)脂層具有感光性。
通過(guò)設(shè)為如上所述的構(gòu)成,可形成具有透明電極圖案的視認(rèn)性的降低效果的層疊體。雖然也不拘泥于任何理論,但通過(guò)減小透明電極圖案(優(yōu)選為氧化銦錫(Indium Tin Oxide,ITO))與所述第一透明樹(shù)脂層的折射率差、以及所述第一透明樹(shù)脂層與所述第二透明樹(shù)脂層的折射率差,光反射減少且難以看到透明電極圖案,可改善視認(rèn)性。
另外,通過(guò)使第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑,當(dāng)將第一透明樹(shù)脂層層疊于基材上時(shí),可對(duì)與第一透明樹(shù)脂層直接接觸的金屬配線(xiàn)部進(jìn)行表面處理??烧J(rèn)為由所述表面處理所產(chǎn)生的金屬配線(xiàn)部的保護(hù)性在將第一透明樹(shù)脂層(及第二透明樹(shù)脂層)去除后也有效。
以下,對(duì)本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的優(yōu)選的形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。再者,本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜優(yōu)選為絕緣層或保護(hù)層用轉(zhuǎn)印膜,更優(yōu)選為靜電電容型輸入裝置的透明絕緣層用或透明保護(hù)層用轉(zhuǎn)印膜。
<臨時(shí)支撐體>
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜具有臨時(shí)支撐體。
所謂臨時(shí)支撐體,是指在將轉(zhuǎn)印膜所具有的第一透明樹(shù)脂層和/或第二透明樹(shù)脂層轉(zhuǎn)印后被剝離的支撐體。
作為所述臨時(shí)支撐體,可使用具有可撓性,在加壓下或加壓及加熱下不產(chǎn)生顯著的變形、收縮或伸展的材料。作為此種支撐體的例子,可列舉聚對(duì)苯二甲酸乙二酯膜、三乙酸纖維素膜、聚苯乙烯膜、聚碳酸酯膜等,其中,特別優(yōu)選為雙軸延伸聚對(duì)苯二甲酸乙二酯膜。
臨時(shí)支撐體的厚度并無(wú)特別限制,通常為5μm~200μm的范圍,就處理容易性、通用性等的觀(guān)點(diǎn)而言,特別優(yōu)選為10μm~150μm的范圍。
另外,臨時(shí)支撐體可為透明,也可含有染料化硅、氧化鋁溶膠、鉻鹽、鋯鹽等。
另外,可通過(guò)日本專(zhuān)利特開(kāi)2005-221726號(hào)公報(bào)中所記載的方法等而對(duì)所述臨時(shí)支撐體賦予導(dǎo)電性。
<第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層>
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的第一形態(tài)中的轉(zhuǎn)印膜的特征在于:具有臨時(shí)支撐體、以及包含金屬氧化抑制劑的第一透明樹(shù)脂層,且第一透明樹(shù)脂層的折射率為1.60以上。
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的第二形態(tài)中的轉(zhuǎn)印膜的特征在于:具有臨時(shí)支撐體、以及第一透明樹(shù)脂層,且所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑、及金屬氧化物粒子。
另外,本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜優(yōu)選為在臨時(shí)支撐體與第一透明樹(shù)脂層之間還具有第二透明樹(shù)脂層,且第二透明樹(shù)脂層具有感光性。
所述第一透明樹(shù)脂層及所述第二透明樹(shù)脂層可為熱硬化性,也可為光硬化性,也可兼具熱硬化性及光硬化性。
其中,就在轉(zhuǎn)印后通過(guò)熱進(jìn)行硬化而可賦予膜的可靠性的觀(guān)點(diǎn)而言,所述第一透明樹(shù)脂層及所述第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為至少具有熱硬化性的透明樹(shù)脂層,就在轉(zhuǎn)印后進(jìn)行光硬化而容易制膜、且在制膜后進(jìn)行熱硬化而可賦予膜的可靠性的觀(guān)點(diǎn)而言,更優(yōu)選為具有熱硬化性、且具有光硬化性的透明樹(shù)脂層。
另外,所述形態(tài)之中,優(yōu)選為至少第二透明樹(shù)脂層兼具熱硬化性及光硬化性,就硬化后的硬化膜的物理的耐受性的觀(guān)點(diǎn)而言,更優(yōu)選為第一透明樹(shù)脂層與第二透明樹(shù)脂層均兼具熱硬化性及光硬化性。
只要滿(mǎn)足如上所述的第一透明樹(shù)脂層的折射率的范圍,則第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層的材料并無(wú)特別限制。本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜可為負(fù)型材料,也可為正型材料。
當(dāng)本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜為負(fù)型材料時(shí),所述第一透明樹(shù)脂層及所述第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為通過(guò)涂布使粘合劑聚合物、聚合性化合物、聚合引發(fā)劑等成分溶解于溶媒中而成的樹(shù)脂組合物來(lái)形成。
另外,優(yōu)選為第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層中的任一者為顯示出水溶性的層,另一者為顯示出非水溶性的層,更優(yōu)選為第一透明樹(shù)脂層為顯示出水溶性的層,第二透明樹(shù)脂層為顯示出非水溶性的層。
根據(jù)所述形態(tài),即便在臨時(shí)支撐體上層疊第二透明樹(shù)脂層后不使第二透明樹(shù)脂層硬化而層疊第一透明樹(shù)脂層,層分離也變得良好,可通過(guò)所述機(jī)制來(lái)改善透明電極圖案視認(rèn)性。另外,在自轉(zhuǎn)印膜將折射率調(diào)整層(即第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層)轉(zhuǎn)印至透明電極圖案上后,可通過(guò)光刻來(lái)顯影成所期望的圖案。再者,若第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層的層分離差,則由所述機(jī)制所產(chǎn)生的折射率調(diào)整的效果容易變得不充分,透明電極圖案視認(rèn)性的改善容易變得不充分。
所謂顯示出水溶性的層,是指當(dāng)浸漬于25℃的水中時(shí),每單位膜厚在10min/μm以?xún)?nèi)的浸漬時(shí)間內(nèi)完全地溶解和/或分散的層。
另外,所謂顯示出非水溶性的層,是指當(dāng)浸漬于25℃的水中時(shí),每單位膜厚在10min/μm以?xún)?nèi)的浸漬時(shí)間內(nèi)不完全地溶解和/或分散的層。
再者,在本發(fā)明中,當(dāng)?shù)谝煌该鳂?shù)脂層和/或第二透明樹(shù)脂層具有硬化性時(shí),利用所述朝水中的浸漬的測(cè)定是使用硬化前的第一透明樹(shù)脂層和/或第二透明樹(shù)脂層來(lái)進(jìn)行。
-溶媒-
在用于形成第一透明樹(shù)脂層和/或第二透明樹(shù)脂層的樹(shù)脂組合物(以下,也分別稱(chēng)為“第一透明樹(shù)脂層形成用組合物”、“第二透明樹(shù)脂層形成用組合物”)中,可使用下述的溶劑。
當(dāng)?shù)谝煌该鳂?shù)脂層和/或第二透明樹(shù)脂層為顯示出非水溶性的層時(shí),在用于形成顯示出非水溶性的層的第一透明樹(shù)脂層形成用組合物和/或第二透明樹(shù)脂層形成用組合物中可使用一般的有機(jī)溶劑,例如可列舉:甲基乙基酮、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、環(huán)己酮、甲基異丁基酮、甲苯、二甲苯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸乙酯、乳酸甲酯、己內(nèi)酰胺等。
當(dāng)?shù)谝煌该鳂?shù)脂層和/或第二透明樹(shù)脂層為顯示出水溶性的層時(shí),用于形成顯示出水溶性的層的第一透明樹(shù)脂層形成用組合物、和/或第二透明樹(shù)脂層形成用組合物優(yōu)選為使用水、或碳原子數(shù)為1~3的低級(jí)醇與水的混合溶媒作為水系溶媒。本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜優(yōu)選為顯示出水溶性的層是涂布水或碳原子數(shù)為1~3的低級(jí)醇與水的混合溶媒而形成,更優(yōu)選為涂布水/碳原子數(shù)為1~3的醇含有率以質(zhì)量比計(jì)為20/80~100/0的包含水或混合溶媒的涂布液而形成。水/碳原子數(shù)為1~3的醇含有率以質(zhì)量比計(jì),特別優(yōu)選為30/70~80/20的范圍,最優(yōu)選為35/65~65/35。
作為水系溶媒,優(yōu)選為水、水及甲醇的混合溶劑、水及乙醇的混合溶劑,就干燥及涂布性的觀(guān)點(diǎn)而言,優(yōu)選為水及甲醇的混合溶劑。
尤其,當(dāng)?shù)谝煌该鳂?shù)脂層為水溶性,第二透明樹(shù)脂層為非水溶性時(shí),在第一透明樹(shù)脂層形成用組合物中,在使用水及甲醇的混合溶劑的情況下,水/甲醇的質(zhì)量比(質(zhì)量%比率)優(yōu)選為20/80~100/0,更優(yōu)選為30/70~90/10的范圍,特別優(yōu)選為35/65~65/35,最優(yōu)選為38/62~60/40。若與所述水/碳原子數(shù)為1~3的醇含有率以質(zhì)量比計(jì)為20/80的范圍相比,甲醇變多,則第二透明樹(shù)脂層溶解、或產(chǎn)生白濁而不佳。
通過(guò)控制成所述范圍,可不與第二透明樹(shù)脂層產(chǎn)生層混合而實(shí)現(xiàn)涂布與迅速的干燥。以下,對(duì)本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜為負(fù)型材料時(shí)的各層中所包含的成分進(jìn)行詳述。
[第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層的材料]
第一透明樹(shù)脂層包含金屬氧化抑制劑。
作為第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層所含有的化合物,可列舉:金屬氧化物粒子、粘合劑聚合物、聚合性化合物及光聚合性引發(fā)劑等。
各層的詳細(xì)情況將后述。
第一透明樹(shù)脂層優(yōu)選為顯示出水溶性的層,第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為顯示出非水溶性的層。
-金屬氧化抑制劑-
本發(fā)明中所使用的第一透明樹(shù)脂層包含金屬氧化抑制劑。
本發(fā)明中所使用的第二透明樹(shù)脂層可包含金屬氧化抑制劑。
作為本發(fā)明中所使用的金屬氧化抑制劑,優(yōu)選為具有包含氮原子作為環(huán)員的芳香環(huán)的化合物。
另外,作為本發(fā)明中所使用的金屬氧化抑制劑,所述包含氮原子的芳香環(huán)優(yōu)選為選自由咪唑環(huán)、三唑環(huán)、四唑環(huán)、噻二唑環(huán)、及這些環(huán)與其他芳香環(huán)的縮合環(huán)所組成的群組中的至少一種環(huán),所述包含氮原子的芳香環(huán)更優(yōu)選為咪唑環(huán)、三唑環(huán)、咪唑環(huán)與其他芳香環(huán)的縮合環(huán)、或三唑環(huán)與其他芳香環(huán)的縮合環(huán),進(jìn)而更優(yōu)選為咪唑環(huán)、或咪唑環(huán)與其他芳香環(huán)的縮合環(huán)。
作為所述其他芳香環(huán),可為單環(huán),也可為雜環(huán),但優(yōu)選為單環(huán),更優(yōu)選為苯環(huán)或萘環(huán),進(jìn)而更優(yōu)選為苯環(huán)。
以下,將具有苯并咪唑結(jié)構(gòu)的化合物也稱(chēng)為苯并咪唑化合物,將具有苯并三唑結(jié)構(gòu)的化合物也稱(chēng)為苯并三唑化合物。
本發(fā)明中所使用的金屬氧化抑制劑優(yōu)選為苯并咪唑化合物或苯并三唑化合物。
作為所述苯并咪唑化合物,只要是具有苯并咪唑結(jié)構(gòu)的化合物,則并無(wú)特別限定,可列舉:苯并咪唑、2-苯基苯并咪唑、2-甲苯甲?;讲⑦溥颉?-苯基-5-氯苯并咪唑、2-甲基苯并咪唑、2-乙基苯并咪唑、2-丙基苯并咪唑、2-(2'-乙基丙基)苯并咪唑、2-(苯基甲基)苯并咪唑、2-(二苯基甲基)苯并咪唑、2-二苯基甲基-5-甲基苯并咪唑、2-(萘基甲基)苯并咪唑、2-萘基甲基-5-氯苯并咪唑、2-噻吩基苯并咪唑、2-巰基苯并咪唑、2-巰基-5-甲氧基苯并咪唑、2-巰基-5-羧基苯并咪唑、2-巰基-5-甲基苯并咪唑、2-羥基苯并咪唑、2-溴苯并咪唑、2-巰基-5-硝基苯并咪唑、2-巰基-5-氨基苯并咪唑等。
另外,作為所述苯并三唑化合物,只要是具有苯并三唑結(jié)構(gòu)的化合物,則并無(wú)特別限定,但就可獲得更優(yōu)異的防腐蝕效果這一觀(guān)點(diǎn)而言,優(yōu)選為具有由下述式(A)所表示的結(jié)構(gòu)。
[化1]
所述式(A)中,R1及R2分別獨(dú)立,R1表示氫原子、碳數(shù)1~6的烷基、碳數(shù)1~6的烷氧基、碳數(shù)6~14的芳基、由式(B)所表示的基、巰基、碳數(shù)1~6的烷氧基羰基等取代基,n為0~4的整數(shù),當(dāng)n為2以上時(shí),n個(gè)R1可相同,也可不同,R2表示氫原子、碳數(shù)1~12的烷基、碳數(shù)1~12的烷氧基、碳數(shù)6~14的芳基、由式(B)所表示的基、巰基、或碳數(shù)1~12的烷氧基羰基等取代基。
[化2]
式(B)中,R3及R4分別獨(dú)立地表示氫原子、或碳數(shù)1~10的烷基,R5表示單鍵或碳數(shù)1~6的亞烷基,*表示與其他結(jié)構(gòu)的鍵結(jié)部位。
作為優(yōu)選的金屬氧化抑制劑,可優(yōu)選地例示咪唑、苯并咪唑、四唑、巰基噻二唑、苯并三唑、1-[N,N-雙(2-乙基己基)氨基甲基]苯并三唑、1-[N,N-雙(2-乙基己基)氨基甲基]甲基苯并三唑、2,2'-{[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基]亞氨基}雙乙醇、及羧基苯并三唑,更優(yōu)選為咪唑、苯并咪唑、苯并三唑、1-[N,N-雙(2-乙基己基)氨基甲基]苯并三唑、1-[N,N-雙(2-乙基己基)氨基甲基]甲基苯并三唑、及羧基苯并三唑,進(jìn)而更優(yōu)選為苯并咪唑、苯并三唑、1-[N,N-雙(2-乙基己基)氨基甲基]苯并三唑、1-[N,N-雙(2-乙基己基)氨基甲基]甲基苯并三唑、及羧基苯并三唑,特別優(yōu)選為苯并咪唑及苯并三唑。
另外,相對(duì)于本發(fā)明中所使用的第一透明樹(shù)脂層的總質(zhì)量,金屬氧化抑制劑的含量?jī)?yōu)選為0.1質(zhì)量%~20質(zhì)量%,更優(yōu)選為0.5質(zhì)量%~10質(zhì)量%,進(jìn)而更優(yōu)選為1質(zhì)量%~5質(zhì)量%。
-金屬氧化物粒子-
為了調(diào)節(jié)折射率或透光性,第一透明樹(shù)脂層優(yōu)選為含有金屬氧化物粒子。為了調(diào)節(jié)折射率或透光性,第二透明樹(shù)脂層可含有金屬氧化物粒子。金屬氧化物粒子因透明性高、且具有透光性,故可獲得折射率高、透明性?xún)?yōu)異的第一透明樹(shù)脂層。
所述金屬氧化物粒子優(yōu)選為折射率高于包含除金屬氧化物粒子以外的材料的層的折射率者。具體而言,作為第一透明樹(shù)脂層中所使用的金屬氧化物粒子,更優(yōu)選為具有400nm~750nm的波長(zhǎng)的光中的折射率為1.70以上的粒子,進(jìn)而更優(yōu)選為折射率為1.80以上的粒子,特別優(yōu)選為折射率為1.90以上的粒子。另外,作為第二透明樹(shù)脂層中所使用的金屬氧化物粒子,更優(yōu)選為具有400nm~750nm的波長(zhǎng)的光中的折射率為1.50以上的粒子,進(jìn)而更優(yōu)選為折射率為1.80以上的粒子,特別優(yōu)選為折射率為1.90以上的粒子。
此處,所謂具有400nm~750nm的波長(zhǎng)的光中的折射率為1.50以上,是指具有所述范圍的波長(zhǎng)的光中的平均折射率為1.50以上,不需要具有所述范圍的波長(zhǎng)的所有光中的折射率為1.50以上。另外,平均折射率是對(duì)于具有所述范圍的波長(zhǎng)的各光的折射率的測(cè)定值的總和除以測(cè)定點(diǎn)的數(shù)量所得的值。
再者,所述金屬氧化物粒子的金屬亦包含B、Si、Ge、As、Sb、Te等半金屬。
作為透光性且折射率高的金屬氧化物粒子,優(yōu)選為包含Be、Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、La、Ce、Gd、Tb、Dy、Yb、Lu、Ti、Zr、Hf、Nb、Mo、W、Zn、B、Al、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、Bi、Te等原子的氧化物粒子,更優(yōu)選為氧化鈦粒子、鈦復(fù)合氧化物粒子、氧化鋅粒子、氧化鋯粒子、銦/錫氧化物粒子、銻/錫氧化物粒子,進(jìn)而更優(yōu)選為氧化鈦粒子、鈦復(fù)合氧化物粒子、氧化鋯粒子,特別優(yōu)選為氧化鈦粒子、氧化鋯粒子、氧化錫粒子,就化學(xué)性質(zhì)及物理性質(zhì)穩(wěn)定且容易獲得微粒子分散液而言,最優(yōu)選為氧化鋯粒子。為了賦予分散穩(wěn)定性,還可利用有機(jī)材料對(duì)這些金屬氧化物粒子的表面進(jìn)行處理。
就樹(shù)脂組合物的透明性的觀(guān)點(diǎn)而言,所述金屬氧化物粒子的平均一次粒徑優(yōu)選為1nm~200nm,特別優(yōu)選為3nm~80nm。此處,粒子的平均一次粒徑是指利用電子顯微鏡測(cè)定任意的200個(gè)粒子的粒徑的算術(shù)平均。另外,當(dāng)粒子的形狀并非球形時(shí),將粒子的外徑中的最大徑設(shè)為粒徑。
另外,所述金屬氧化物粒子可單獨(dú)使用一種,還可并用兩種以上。
另外,后述的第一透明樹(shù)脂層形成用組合物中的金屬氧化物粒子的含量只要考慮對(duì)所獲得的光學(xué)構(gòu)件所要求的折射率、或透光性等而適宜決定即可,相對(duì)于所述組合物的總固體成分,優(yōu)選為設(shè)為5質(zhì)量%~80質(zhì)量%,更優(yōu)選為設(shè)為10質(zhì)量%~70質(zhì)量%。
就將折射率控制成所述第一透明樹(shù)脂層的折射率的范圍的觀(guān)點(diǎn)而言,本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜優(yōu)選為所述第一透明樹(shù)脂層具有ZrO2粒子及TiO2粒子中的至少一者,更優(yōu)選為具有ZrO2粒子。
-粘合劑聚合物-
第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為含有粘合劑聚合物。作為所述粘合劑聚合物,只要不違反本發(fā)明的主旨,則并無(wú)特別限制,可自公知的粘合劑聚合物中適宜選擇,優(yōu)選為堿可溶性樹(shù)脂,作為所述堿可溶性樹(shù)脂,可使用日本專(zhuān)利特開(kāi)2011-95716號(hào)公報(bào)的段落0025、日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-237589號(hào)公報(bào)的段落0033~段落0052中所記載的聚合物。其中,優(yōu)選為具有酸性基的丙烯酸聚合物。
另外,當(dāng)?shù)谝煌该鳂?shù)脂層和/或第二透明樹(shù)脂層為顯示出水溶性的層時(shí),作為粘合劑聚合物,可使用對(duì)于所述水系溶媒具有溶解性的聚合物。
作為對(duì)于水系溶媒具有溶解性的聚合物,只要不違反本發(fā)明的主旨,則并無(wú)特別限制,可自公知的聚合物中適宜選擇。例如可列舉:所述具有酸性基的丙烯酸聚合物、或日本專(zhuān)利特開(kāi)昭46-2121號(hào)公報(bào)或日本專(zhuān)利特公昭56-40824號(hào)公報(bào)中所記載的聚乙烯基醚/順丁烯二酸酐聚合物、羧基烷基纖維素的水溶性鹽、水溶性纖維素醚類(lèi)、羧基烷基淀粉的水溶性鹽、聚乙烯醇、水溶性聚乙烯丁醛或水溶性聚乙烯縮醛等聚乙烯醇衍生物、聚乙烯吡咯烷酮、各種聚丙烯酰胺類(lèi)、各種水溶性聚酰胺、聚丙烯酸的水溶性鹽、明膠、環(huán)氧乙烷聚合物、由各種淀粉及其類(lèi)似物所組成的群組的水溶性鹽、苯乙烯/順丁烯二酸的共聚物、順丁烯二酸酯樹(shù)脂等。
粘合劑聚合物能夠以使聚合物溶解于溶媒中而成的聚合物溶液的形態(tài),含有于后述的第一透明樹(shù)脂層形成用組合物、和/或第二透明樹(shù)脂層形成用組合物中。作為所述溶媒,并無(wú)特別限制,使用通常用于聚合物的溶解的溶媒,可例示:1-甲氧基-2-丙基乙酸酯、1-甲氧基-2-丙醇、甲基乙基酮等。
作為對(duì)于水系溶媒具有溶解性的聚合物,優(yōu)選為具有酸性基的丙烯酸聚合物及聚乙烯醇衍生物,具體而言,特別優(yōu)選為具有酸性基的丙烯酸聚合物、聚乙烯丁醛、聚乙烯縮醛、完全皂化聚乙烯醇、或?qū)垡宜嵋蚁ミM(jìn)行部分皂化而成的聚乙烯醇。
-聚合性化合物-
第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為含有聚合性化合物。
作為所述聚合性化合物,優(yōu)選為自由基聚合性化合物。
作為第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層中所使用的聚合性化合物,可列舉:
聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯及(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯等單官能丙烯酸酯或單官能甲基丙烯酸酯;
聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)異氰脲酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)氰尿酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯;
在三羥甲基丙烷或甘油等多官能醇中加成環(huán)氧乙烷或環(huán)氧丙烷后,進(jìn)行(甲基)丙烯酸酯化而成者等多官能丙烯酸酯或多官能甲基丙烯酸酯。
進(jìn)而,可列舉:日本專(zhuān)利特公昭48-41708號(hào)公報(bào)、日本專(zhuān)利特公昭50-6034號(hào)公報(bào)及日本專(zhuān)利特開(kāi)昭51-37193號(hào)公報(bào)中所記載的丙烯酸氨基甲酸酯類(lèi);日本專(zhuān)利特開(kāi)昭48-64183號(hào)公報(bào)、日本專(zhuān)利特公昭49-43191號(hào)公報(bào)及日本專(zhuān)利特公昭52-30490號(hào)公報(bào)中所記載的聚酯丙烯酸酯類(lèi);作為環(huán)氧樹(shù)脂與(甲基)丙烯酸的反應(yīng)產(chǎn)物的環(huán)氧丙烯酸酯類(lèi)等多官能丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。另外,還可適宜地使用如以下述式(1)為代表的丙烯酰胺單體。所述聚合性化合物之中,優(yōu)選為多官能丙烯酸酯、丙烯酸氨基甲酸酯及丙烯酰胺單體。
[化3]
作為第一透明樹(shù)脂層和/或第二透明樹(shù)脂層為顯示出水溶性的層時(shí)所使用的聚合性化合物,除所述聚合性化合物以外,還可列舉具有羥基的單體,分子內(nèi)具有環(huán)氧乙烷或聚環(huán)氧丙烷、及磷酸基的單體。
-聚合引發(fā)劑-
第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為含有聚合引發(fā)劑。
作為第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層中所使用的所述聚合引發(fā)劑,優(yōu)選為光聚合引發(fā)劑,優(yōu)選為光自由基聚合引發(fā)劑。
當(dāng)?shù)谝煌该鳂?shù)脂層和/或第二透明樹(shù)脂層為水溶性的層時(shí),優(yōu)選為使用對(duì)于水系溶媒具有溶解性的光聚合性引發(fā)劑,可優(yōu)選地例示艷佳固(IRGACURE)2959(巴斯夫(BASF)公司制造)、或由下述式(2)所表示的聚合引發(fā)劑。
[化4]
另一方面,作為顯示出非水溶性的層中所使用的光聚合引發(fā)劑或聚合引發(fā)系,可使用日本專(zhuān)利特開(kāi)2011-95716號(hào)公報(bào)中所記載的段落0031~段落0042中所記載的光聚合引發(fā)劑。例如除1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)-,2-(O-苯甲?;?](商品名:艷佳固(IRGACURE)OXE-01,巴斯夫公司制造)以外,可優(yōu)選地使用乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-9H-咔唑-3-基]-,1-(0-乙?;?商品名:艷佳固(IRGACURE)OXE-02,巴斯夫公司制造)、2-(二甲基氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-嗎啉基)苯基]-1-丁酮(商品名:艷佳固(IRGACURE)379EG,巴斯夫公司制造)、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-嗎啉基丙烷-1-酮(商品名:艷佳固(IRGACURE)907,巴斯夫公司制造)、2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙?;?-芐基]苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮(商品名:艷佳固(IRGACURE)127,巴斯夫公司制造)、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁酮-1(商品名:艷佳固(IRGACURE)369,巴斯夫公司制造)、2-羥基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮(商品名:艷佳固(IRGACURE)1173,巴斯夫公司制造)、1-羥基-環(huán)己基-苯基-酮(商品名:艷佳固(IRGACURE)184,巴斯夫公司制造)、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮(商品名:艷佳固(IRGACURE)651,巴斯夫公司制造)、肟酯系的(商品名:露娜(Lunar)6,大昌華嘉日本(DKSH Japan)(股份)制造)等。
-聚合物乳膠-
另外,當(dāng)?shù)谝煌该鳂?shù)脂層形成用組合物和/或第二透明樹(shù)脂層形成用組合物含有水系溶媒時(shí),第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層也可包含源自聚合物乳膠的聚合物粒子。此處所述的聚合物乳膠是指水不溶的聚合物的微粒子分散于水中而成者。關(guān)于聚合物乳膠,例如在室井宗一著《高分子乳膠的化學(xué)(高分子發(fā)行會(huì)發(fā)行(1973年))》中有記載。
作為可使用的聚合物粒子,優(yōu)選為丙烯酸系、乙酸乙烯酯系、橡膠系(例如苯乙烯-丁二烯系、氯丁二烯系)、烯烴系、聚酯系、聚氨基甲酸酯系、聚苯乙烯系等的聚合物,及包含這些的共聚物的聚合物粒子。優(yōu)選為增強(qiáng)構(gòu)成聚合物粒子的聚合物鏈彼此間的鍵結(jié)力。作為增強(qiáng)聚合物鏈彼此間的鍵結(jié)力的方法,可列舉與利用由氫鍵結(jié)所產(chǎn)生的相互作用者生成共價(jià)鍵的方法。作為賦予氫鍵結(jié)力的方法,優(yōu)選為使在聚合物鏈中具有極性基的單體進(jìn)行共聚、或進(jìn)行接枝聚合來(lái)導(dǎo)入。作為極性基,可列舉羧基(含有于丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、反丁烯二酸、順丁烯二酸、巴豆酸、部分酯化順丁烯二酸等中),一級(jí)氨基、二級(jí)氨基及三級(jí)氨基,銨鹽基,磺酸基(苯乙烯磺酸基)等,特別優(yōu)選為羧基、磺酸基。相對(duì)于聚合物100質(zhì)量%,具有這些極性基的單體的共聚比的優(yōu)選范圍為5質(zhì)量%~35質(zhì)量%,更優(yōu)選為5質(zhì)量%~20質(zhì)量%,進(jìn)而更優(yōu)選為15質(zhì)量%~20質(zhì)量%的范圍內(nèi)。另一方面,作為生成共價(jià)鍵的方法,可列舉:使羥基、羧基、一級(jí)氨基、二級(jí)氨基、乙酰乙?;?、磺酸基等與環(huán)氧化合物、封閉異氰酸酯、異氰酸酯、乙烯基砜化合物、醛化合物、羥甲基化合物、羧酸酐等進(jìn)行反應(yīng)的方法。
利用這些反應(yīng)的聚合物之中,優(yōu)選為由多元醇類(lèi)與聚異氰酸酯化合物的反應(yīng)所獲得的聚氨基甲酸酯衍生物,更優(yōu)選為并用多元胺作為擴(kuò)鏈劑,特別優(yōu)選為進(jìn)而向聚合物鏈中導(dǎo)入所述極性基而變成離子聚合物型者。
聚合物的重量平均分子量?jī)?yōu)選為1萬(wàn)以上,更優(yōu)選為2萬(wàn)~10萬(wàn)。作為適合于本發(fā)明的聚合物,可列舉作為乙烯與甲基丙烯酸的共聚物的乙烯離子聚合物、聚氨基甲酸酯離子聚合物。
可用于本發(fā)明的聚合物乳膠可為通過(guò)乳化聚合所獲得者,也可為通過(guò)乳化所獲得者。關(guān)于這些聚合物乳膠的制備方法,例如在《乳液·乳膠手冊(cè)》(乳液·乳膠手冊(cè)編輯委員會(huì)編輯,大成社(股份)發(fā)行(1975年))中有記載。作為可用于本發(fā)明的聚合物乳膠,例如可列舉:對(duì)聚乙烯離子聚合物的水性分散液(商品名:開(kāi)米帕(Chemipearl)S120三井化學(xué)(股份)制造。固體成分為27%)、(商品名:開(kāi)米帕(Chemipearl)S100三井化學(xué)(股份)制造。固體成分為27%)、(商品名:開(kāi)米帕(Chemipearl)S111,三井化學(xué)(股份)制造。固體成分為27%)、(商品名:開(kāi)米帕(Chemipearl)S200,三井化學(xué)(股份)制造。固體成分為27%)、(商品名:開(kāi)米帕(Chemipearl)S300,三井化學(xué)(股份)制造。固體成分為35%)、(商品名:開(kāi)米帕(Chemipearl)S650,三井化學(xué)(股份)制造。固體成分為27%)、(商品名:開(kāi)米帕(Chemipearl)S75N,三井化學(xué)(股份)制造。固體成分為24%),或聚醚系聚氨基甲酸酯的水性分散液(商品名:海德蘭(Hydran)WLS-201,迪愛(ài)生(DIC)(股份)制造。固體成分為35%,Tg-50℃)、(商品名:海德蘭(Hydran)WLS-202,迪愛(ài)生(股份)制造。固體成分為35%,Tg-50℃)、(商品名:海德蘭(Hydran)WLS-221,迪愛(ài)生(股份)制造。固體成分為35%,Tg-30℃)、(商品名:海德蘭(Hydran)WLS-210,迪愛(ài)生(股份)制造。固體成分為35%,Tg-15℃)、(商品名:海德蘭(Hydran)WLS-213,迪愛(ài)生(股份)制造。固體成分為35%,Tg-15℃)、(商品名:海德蘭(Hydran)WLI-602,迪愛(ài)生(股份)制造。固體成分為39.5%,Tg-50℃)、(商品名:海德蘭(Hydran)WLI-611,迪愛(ài)生(股份)制造。固體成分為39.5%,Tg-15℃),丙烯酸烷基酯共聚合物銨(商品名:朱利莫(Julimer)AT-210,日本純藥(股份)制造)、丙烯酸烷基酯共聚合物銨(商品名:朱利莫(Julimer)ET-410,日本純藥(股份)制造)、丙烯酸烷基酯共聚合物銨(商品名:朱利莫(Julimer)AT-510,日本純藥(股份)制造)、聚丙烯酸(商品名:朱利莫(Julimer)AC-10L,日本純藥(股份)制造)進(jìn)行氨中和,并加以乳化而成者。
-其他添加劑-
在第一透明樹(shù)脂層或第二透明樹(shù)脂層中,也可使用添加劑。作為所述添加劑,例如可列舉日本專(zhuān)利第4502784號(hào)公報(bào)的段落0017、日本專(zhuān)利特開(kāi)2009-237362號(hào)公報(bào)的段落0060~段落0071中所記載的表面活性劑,或日本專(zhuān)利第4502784號(hào)公報(bào)的段落0018中所記載的熱聚合防止劑,進(jìn)而可列舉日本專(zhuān)利特開(kāi)2000-310706號(hào)公報(bào)的段落0058~段落0071中所記載的其他添加劑。
以上,以本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜為負(fù)型材料的情況為中心進(jìn)行了說(shuō)明,但本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜也可為正型材料。當(dāng)本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜為正型材料時(shí),在第一透明樹(shù)脂層和/或第二透明樹(shù)脂層中可使用例如日本專(zhuān)利特開(kāi)2005-221726號(hào)公報(bào)中所記載的材料等,但并不限定于此。
[第一透明樹(shù)脂層]
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的第一形態(tài)中的第一透明樹(shù)脂層的折射率為1.60以上,優(yōu)選為1.62以上,更優(yōu)選為1.65以上。
另外,折射率的上限值并無(wú)特別限制,但優(yōu)選為1.85以下,更優(yōu)選為1.74以下。
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的第二形態(tài)中的第一透明樹(shù)脂層的折射率優(yōu)選為1.60以上,更優(yōu)選為1.62以上,進(jìn)而更優(yōu)選為1.65以上。
另外,折射率的上限值并無(wú)特別限制,但優(yōu)選為小于所使用的金屬氧化物粒子的折射率,另外,具體而言,優(yōu)選為1.85以下,更優(yōu)選為1.74以下。
本發(fā)明中的第一透明樹(shù)脂層可為熱硬化性,也可為光硬化性,也可兼具熱硬化性及光硬化性。
就硬化后的硬化膜的物理的耐受性的觀(guān)點(diǎn)而言,所述第一透明樹(shù)脂層優(yōu)選為具有光硬化性和/或熱硬化性。
其中,就在轉(zhuǎn)印后通過(guò)熱進(jìn)行硬化而可賦予膜的可靠性的觀(guān)點(diǎn)而言,所述第一透明樹(shù)脂層、及后述的第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為至少具有熱硬化性的透明樹(shù)脂層,就在轉(zhuǎn)印后進(jìn)行光硬化而容易制膜、且在制膜后進(jìn)行熱硬化而可賦予膜的可靠性的觀(guān)點(diǎn)而言,更優(yōu)選為兼作熱透明樹(shù)脂層及光透明樹(shù)脂層。優(yōu)選為具有光硬化性和/或熱硬化性。
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的第一形態(tài)中的第一透明樹(shù)脂層包含所述金屬氧化抑制劑,就將所述第一透明樹(shù)脂層的折射率控制成所述范圍的觀(guān)點(diǎn)而言,優(yōu)選為還包含所述金屬氧化物粒子。另外,所述第一透明樹(shù)脂層更優(yōu)選為還包含所述金屬氧化物粒子、所述粘合劑聚合物、所述聚合性化合物、及所述聚合引發(fā)劑,可還包含源自所述聚合物乳膠的樹(shù)脂、及所述其他添加劑。
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的第二形態(tài)中的第一透明樹(shù)脂層包含所述金屬氧化抑制劑、及所述金屬氧化物粒子,優(yōu)選為還包含所述粘合劑聚合物、所述聚合性化合物、及所述聚合引發(fā)劑,可還包含源自所述聚合物乳膠的樹(shù)脂、及所述其他添加劑。
就優(yōu)選為具有光硬化性和/或熱硬化性這一觀(guān)點(diǎn)而言,本發(fā)明中所使用的第一透明樹(shù)脂層優(yōu)選為含有聚合性化合物及聚合引發(fā)劑。
在所述第一透明樹(shù)脂層中,可對(duì)應(yīng)于所使用的聚合物或聚合性化合物的種類(lèi),以任意的比例包含金屬氧化物粒子,但在所述第一透明樹(shù)脂層中,相對(duì)于所述第一透明樹(shù)脂層的總質(zhì)量,優(yōu)選為包含40質(zhì)量%~95質(zhì)量%的所述金屬氧化物粒子,更優(yōu)選為包含50質(zhì)量%~90質(zhì)量%的所述金屬氧化物粒子,特別優(yōu)選為包含55質(zhì)量%~85質(zhì)量%的所述金屬氧化物粒子。
另外,當(dāng)金屬氧化物粒子為氧化鋯粒子時(shí),相對(duì)于所述第一透明樹(shù)脂層的總質(zhì)量,優(yōu)選為含有40質(zhì)量%~90質(zhì)量%的金屬氧化物粒子,更優(yōu)選為含有50質(zhì)量%~88質(zhì)量%的金屬氧化物粒子,特別優(yōu)選為含有60質(zhì)量%~85質(zhì)量%的金屬氧化物粒子。當(dāng)金屬氧化物粒子為氧化鈦粒子時(shí),相對(duì)于所述第一透明樹(shù)脂層的總質(zhì)量,優(yōu)選為含有20質(zhì)量%~80質(zhì)量%的金屬氧化物粒子,更優(yōu)選為含有30質(zhì)量%~75質(zhì)量%的金屬氧化物粒子,特別優(yōu)選為含有40質(zhì)量%~70質(zhì)量%的金屬氧化物粒子。
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的第一形態(tài)、及第二形態(tài)中的第一透明樹(shù)脂層優(yōu)選為使用第一透明樹(shù)脂層形成用組合物來(lái)形成。
第一透明樹(shù)脂層形成用組合物包含金屬氧化抑制劑,視需要可含有所述溶媒、所述金屬氧化物粒子、所述粘合劑聚合物、所述聚合性化合物、及所述聚合引發(fā)劑、所述聚合物乳膠、以及所述其他添加劑。
就金屬配線(xiàn)部的保護(hù)性的觀(guān)點(diǎn)而言,本發(fā)明中所使用的第一透明樹(shù)脂層優(yōu)選為在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜上,除后述的保護(hù)膜以外,位于最外層。
即,當(dāng)使用本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜時(shí),優(yōu)選為第一透明樹(shù)脂層與作為轉(zhuǎn)印目的地的金屬配線(xiàn)部直接接觸的形態(tài)。后述的保護(hù)膜可位于比第一透明樹(shù)脂層更外層,但在此情況下,在轉(zhuǎn)印前將保護(hù)膜去除。
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜中所使用的第一透明樹(shù)脂層的膜厚優(yōu)選為500nm以下,更優(yōu)選為110nm以下。另外,第一透明樹(shù)脂層的膜厚優(yōu)選為55nm以上,更優(yōu)選為60nm以上,進(jìn)而更優(yōu)選為70nm以上。
[第二透明樹(shù)脂層]
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜中所使用的第二透明樹(shù)脂層的折射率優(yōu)選為小于第一透明樹(shù)脂層的折射率。另外,第二透明樹(shù)脂層的折射率優(yōu)選為未滿(mǎn)1.60,更優(yōu)選為1.48~1.55,進(jìn)而更優(yōu)選為1.50~1.53,特別優(yōu)選為1.50~1.52,最優(yōu)選為1.51~1.52。
本發(fā)明中的第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為具有感光性。所謂“感光性”,是指對(duì)于顯影液的溶解度因光的照射而變化的性質(zhì)。
通過(guò)使第二透明樹(shù)脂層為感光性,本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜可用作正型材料或負(fù)型材料。
就本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜優(yōu)選為負(fù)型材料的觀(guān)點(diǎn)而言,第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為光硬化性的層。
只要第二透明樹(shù)脂層具有感光性,則第一透明樹(shù)脂層可不具有感光性,但優(yōu)選為第二透明樹(shù)脂層及第一透明樹(shù)脂層均具有感光性,特別優(yōu)選為第二透明樹(shù)脂層及第一透明樹(shù)脂層均具有光硬化性。
另外,就硬化后的硬化膜的物理的耐受性的觀(guān)點(diǎn)而言,本發(fā)明中的第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為具有光硬化性及熱硬化性。
另外,第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為能夠進(jìn)行堿顯影的層。所謂能夠進(jìn)行堿顯影的層,是指在接觸堿性水溶液的情況下,顯示出溶解性和/或膨潤(rùn)性的層。
本發(fā)明中的第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為包含所述聚合性化合物、及所述光聚合引發(fā)劑。通過(guò)使本發(fā)明的第二透明樹(shù)脂層含有聚合性化合物及光聚合引發(fā)劑,第二透明樹(shù)脂層變成具有光硬化性的層。
所述第二透明樹(shù)脂層更優(yōu)選為還包含所述粘合劑聚合物,可還包含所述金屬氧化抑制劑、所述金屬氧化物粒子、所述源自聚合物乳膠的樹(shù)脂、及所述其他添加劑。
作為第二透明樹(shù)脂層的材料,可無(wú)特別限制地使用任意的所述粘合劑聚合物或所述聚合性化合物,但就用作靜電電容型輸入裝置的透明保護(hù)膜的觀(guān)點(diǎn)而言,優(yōu)選為表面硬度、耐熱性高者,所述粘合劑聚合物或所述聚合性化合物之中,可優(yōu)選地使用公知的感光性硅氧烷樹(shù)脂材料、丙烯酸樹(shù)脂材料等。
另外,就優(yōu)選為所述第二透明樹(shù)脂層能夠進(jìn)行堿顯影這一觀(guān)點(diǎn)而言,本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜優(yōu)選為含有堿可溶性樹(shù)脂作為所述粘合劑聚合物。
所述第二透明樹(shù)脂層中,相對(duì)于所述第二透明樹(shù)脂層的固體成分,優(yōu)選為包含1質(zhì)量%以上的所述光聚合引發(fā)劑,更優(yōu)選為包含2質(zhì)量%以上的所述光聚合引發(fā)劑,特別優(yōu)選為包含3質(zhì)量%以上的所述光聚合引發(fā)劑。
所述第二透明樹(shù)脂層可包含金屬氧化物粒子,也可不含金屬氧化物粒子。為了將所述第二透明樹(shù)脂層的折射率控制成所述范圍,可對(duì)應(yīng)于所使用的聚合物或聚合性化合物的種類(lèi),以任意的比例包含金屬氧化物粒子。所述第二透明樹(shù)脂層中,相對(duì)于所述第二透明樹(shù)脂層的固體成分,優(yōu)選為包含0質(zhì)量%~35質(zhì)量%的所述金屬氧化物粒子,更優(yōu)選為包含0質(zhì)量%~10質(zhì)量%的所述金屬氧化物粒子,特別優(yōu)選為不含所述金屬氧化物粒子。
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜中的第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為使用第二透明樹(shù)脂層形成用組合物來(lái)形成。
第二透明樹(shù)脂層形成用組合物優(yōu)選為包含所述聚合性化合物、及所述聚合引發(fā)劑,視需要可含有所述溶媒、所述金屬氧化抑制劑、所述金屬氧化物粒子、所述粘合劑聚合物、所述聚合物乳膠、及所述其他添加劑。
本發(fā)明中所使用的轉(zhuǎn)印膜中所包含的第二透明樹(shù)脂層的膜厚優(yōu)選為1μm以上,更優(yōu)選為1μm~20μm,進(jìn)而更優(yōu)選為1μm~10μm,特別優(yōu)選為2μm~9μm,最優(yōu)選為3μm~8μm。
若第二透明樹(shù)脂層的膜厚為所述范圍,則當(dāng)使用本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜制造保護(hù)層時(shí),可獲得保護(hù)性?xún)?yōu)異的保護(hù)層,故優(yōu)選。
[透明樹(shù)脂層的粘度]
第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層在100℃下所測(cè)定的粘度優(yōu)選為處于2,000Pa·sec~50,000Pa·sec的區(qū)域內(nèi)。
此處,所述粘度可如以下般測(cè)定。自臨時(shí)支撐體上剝離第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層,在加熱平臺(tái)上以85℃進(jìn)行一次熔融后冷卻至室溫為止來(lái)進(jìn)行試樣整形??墒褂萌廴谡扯葴y(cè)定裝置(裝置名:DHR-2,日本TA儀器(TA Instruments Japan)(股份)制造),在以下的條件下進(jìn)行測(cè)定。測(cè)定條件:溫度:40℃~140℃,升溫速度:5℃/min,頻率:1Hz,變形:0.5%。
<保護(hù)膜>
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜優(yōu)選為鄰接于第一透明樹(shù)脂層上而具有保護(hù)膜。
在轉(zhuǎn)印膜中,將與第一透明保護(hù)層接觸的保護(hù)膜剝離后進(jìn)行轉(zhuǎn)印,由此變成在轉(zhuǎn)印時(shí)作為轉(zhuǎn)印目的地的基材與第一透明保護(hù)層鄰接的形態(tài)。
可適宜使用日本專(zhuān)利特開(kāi)2006-259138號(hào)公報(bào)的段落0083~段落0087及段落0093中所記載的保護(hù)膜。
所述保護(hù)膜可通過(guò)將由所述原材料所形成的片材壓接于形成有所述第一透明樹(shù)脂層等的膜上來(lái)形成。
作為所述壓接方法,并無(wú)特別限制,可使用公知的方法。
<其他層>
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜可對(duì)應(yīng)于目的而具有其他層。作為其他層,例如可列舉:為了對(duì)轉(zhuǎn)印后的第二透明樹(shù)脂層的表面賦予物理耐久性而設(shè)置在第二透明樹(shù)脂層與臨時(shí)支撐體之間的硬涂層、或?yàn)榱耸罐D(zhuǎn)印時(shí)的臨時(shí)支撐體的剝離變得容易而設(shè)置在臨時(shí)支撐體與第二透明樹(shù)脂層之間的剝離層等。如上所述,第一透明樹(shù)脂層優(yōu)選為位于(除保護(hù)膜以外)轉(zhuǎn)印膜的最外層,因此當(dāng)存在其他層時(shí),其他層優(yōu)選為位于比第一透明樹(shù)脂層更靠近臨時(shí)支撐體側(cè)。
圖12表示本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的優(yōu)選的構(gòu)成的一例。圖12為臨時(shí)支撐體26、第二透明樹(shù)脂層7、第一透明樹(shù)脂層12及保護(hù)剝離層(保護(hù)膜)29以所述層構(gòu)成相互鄰接并層疊而成的作為本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)的轉(zhuǎn)印膜30的概略圖。
(轉(zhuǎn)印膜的制造方法)
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜可依據(jù)日本專(zhuān)利特開(kāi)2006-259138號(hào)公報(bào)的段落0094~段落0098中所記載的感光性轉(zhuǎn)印材料的制作方法來(lái)制作。其中,本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜優(yōu)選為通過(guò)以下的本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的制造方法來(lái)制造。
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的制造方法的第一形態(tài)的特征在于:具有在臨時(shí)支撐體上形成第二透明樹(shù)脂層的步驟、以及在所述第二透明樹(shù)脂層上形成第一透明樹(shù)脂層的步驟,且所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑,所述第一透明樹(shù)脂層的折射率為1.60以上。
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的制造方法的第二形態(tài)的特征在于:具有在臨時(shí)支撐體上形成第二透明樹(shù)脂層的步驟、以及在所述第二透明樹(shù)脂層上形成第一透明樹(shù)脂層的步驟,且所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑、及金屬氧化物粒子。
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的制造方法的第三形態(tài)的特征在于:具有在臨時(shí)支撐體上形成包含聚合性化合物及光聚合引發(fā)劑的第二透明樹(shù)脂層的步驟、以及在所述第二透明樹(shù)脂層上形成第一透明樹(shù)脂層的步驟,且所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑,所述第一透明樹(shù)脂層的折射率為1.60以上。
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的制造方法中的臨時(shí)支撐體、第二透明樹(shù)脂層、及第一透明樹(shù)脂層的優(yōu)選的形態(tài)與所述本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜中的這些的優(yōu)選的形態(tài)相同。
<形成第二透明樹(shù)脂層的步驟>
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的制造方法的第一形態(tài)~第三形態(tài)包含在臨時(shí)支撐體上形成各個(gè)形態(tài)中的第二透明樹(shù)脂層的步驟。
作為第二透明樹(shù)脂層的形成方法,優(yōu)選為將所述第二透明樹(shù)脂層形成用組合物涂布于臨時(shí)支撐體上來(lái)形成。
作為所述樹(shù)脂組合物的涂布方法,可無(wú)特別限定地使用公知的方法,例如可優(yōu)選地列舉:通過(guò)使用旋轉(zhuǎn)器、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)(whirler)、輥涂機(jī)、簾幕式涂布機(jī)、刮刀式涂布機(jī)、線(xiàn)棒涂布機(jī)、擠壓機(jī)(extruder)等涂布機(jī)進(jìn)行涂布,并加以干燥來(lái)形成的方法。
<在第二透明樹(shù)脂層上形成第一透明樹(shù)脂層的步驟>
本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的制造方法包含在第二透明樹(shù)脂層上形成第一透明樹(shù)脂層的步驟。
作為第一透明樹(shù)脂層的形成方法,優(yōu)選為將所述第一透明樹(shù)脂層形成用組合物涂布于第二透明樹(shù)脂層上來(lái)形成。
作為第一透明樹(shù)脂層形成用組合物的涂布方法,可無(wú)特別限定地使用公知的方法,例如可優(yōu)選地列舉:通過(guò)使用旋轉(zhuǎn)器、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、輥涂機(jī)、簾幕式涂布機(jī)、刮刀式涂布機(jī)、線(xiàn)棒涂布機(jī)、擠壓機(jī)等涂布機(jī)進(jìn)行涂布,并加以干燥來(lái)形成的方法。
在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的制造方法中,優(yōu)選為用于形成第一透明樹(shù)脂層與所述第二透明樹(shù)脂層的第一透明樹(shù)脂層形成用組合物及第二透明樹(shù)脂層形成用組合物中的任一種組合物中,水及碳原子數(shù)為1~3的醇在其涂布溶媒中所占的含量合計(jì)為70質(zhì)量%以上,另一種組合物中,水及碳原子數(shù)為1~3的醇在其涂布溶媒中所占的含量合計(jì)為20質(zhì)量%以下。更優(yōu)選為水及碳原子數(shù)為1~3的醇在第一透明樹(shù)脂層形成用組合物的涂布溶媒中所占的含量合計(jì)為70質(zhì)量%以上,水及碳原子數(shù)為1~3的醇在第二透明樹(shù)脂層形成用樹(shù)脂組合物的涂布溶媒中所占的含量合計(jì)為20質(zhì)量%以下。
依據(jù)此種構(gòu)成,即便在層疊第二透明樹(shù)脂層后不使其進(jìn)行硬化而層疊第一透明樹(shù)脂層,層分離也變得良好,兩者的折射率得到保持,并可如期望般改善透明電極圖案視認(rèn)性(難以被視認(rèn))。而且,在此情況下,因在第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層未硬化的狀態(tài)下制作轉(zhuǎn)印膜,故可在將第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層轉(zhuǎn)印至透明電極圖案上后,通過(guò)光刻來(lái)制作所期望的圖案。
相反地,當(dāng)不依據(jù)如上所述的構(gòu)成而是在第二透明樹(shù)脂層上層疊第一透明樹(shù)脂層時(shí),兩者容易混合且難以保持所期望的折射率,因此難以獲得透明電極圖案視認(rèn)性的改善效果。在此情況下,當(dāng)在層疊第一透明樹(shù)脂層前使第二透明樹(shù)脂層硬化時(shí),兩層的層分離變得容易,但如此制作的轉(zhuǎn)印膜因第二透明樹(shù)脂層已得到硬化,故無(wú)法通過(guò)光刻來(lái)進(jìn)行圖案化。
(層疊體)
本發(fā)明的層疊體的第一形態(tài)的特征在于:具有基材;透明電極圖案,位于所述基材上;第一透明樹(shù)脂層,鄰接并位于所述透明電極圖案上;第二透明樹(shù)脂層,位于所述第一透明樹(shù)脂層上;且所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑,所述第一透明樹(shù)脂層的折射率為1.60以上。
本發(fā)明的層疊體的第二形態(tài)的特征在于:具有基材;透明電極圖案,位于所述基材上;第一透明樹(shù)脂層,鄰接并位于所述透明電極圖案上;第二透明樹(shù)脂層,位于所述第一透明樹(shù)脂層上;且所述第一透明樹(shù)脂層含有金屬氧化抑制劑、及金屬氧化物粒子。
根據(jù)所述形態(tài),可降低所述透明電極圖案的視認(rèn)性。
本發(fā)明的層疊體中的第二透明樹(shù)脂層、及第一透明樹(shù)脂層的優(yōu)選的形態(tài)與所述本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜中的這些的優(yōu)選的形態(tài)相同。
另外,本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為透明層疊體。所謂透明層疊體,是指至少一部分透明的層疊體,優(yōu)選為包含后述的透明電極圖案的一部分的區(qū)域透明。所謂層疊體透明,是指層疊體的透過(guò)率變成80%以上。所述透過(guò)率可使用在400nm~750nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi),以10nm的間距所測(cè)定的值的算術(shù)平均值。
本發(fā)明的層疊體的第一形態(tài)中的第一透明樹(shù)脂層的折射率為1.60以上,優(yōu)選為1.62以上,更優(yōu)選為1.65以上。
另外,折射率的上限值并無(wú)特別限制,但優(yōu)選為1.85以下,更優(yōu)選為1.74以下。
本發(fā)明的層疊體的第二形態(tài)中的第一透明樹(shù)脂層的折射率優(yōu)選為1.60以上,更優(yōu)選為1.62以上,進(jìn)而更優(yōu)選為1.65以上。
另外,折射率的上限值并無(wú)特別限制,但優(yōu)選為小于所使用的金屬氧化物粒子的折射率,另外,具體而言,優(yōu)選為1.85以下,更優(yōu)選為1.74以下。
本發(fā)明的層疊體的第一形態(tài)及第二形態(tài)中所使用的第二透明樹(shù)脂層的折射率優(yōu)選為小于第一透明樹(shù)脂層的折射率。另外,第二透明樹(shù)脂層的折射率優(yōu)選為未滿(mǎn)1.60,更優(yōu)選為1.48~1.55,進(jìn)而更優(yōu)選為1.50~1.53,特別優(yōu)選為1.50~1.52,最優(yōu)選為1.51~1.52。
<層疊體中的折射率、及厚度測(cè)定方法>
所獲得的透明層疊體中的n1、n2、T2、σ1及H1可使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000(大冢電子(股份)制造),對(duì)每一層重復(fù)與轉(zhuǎn)印膜中的n1、n2、T2、σ1及H1的算出相同的方法來(lái)求出。以下表示其概略。另外,以下的測(cè)定是在25℃的條件下進(jìn)行。
當(dāng)使用透明的基材(以下,也稱(chēng)為“透明基板”)作為基材時(shí),折射率可如下述般進(jìn)行測(cè)定。所謂透明的基材,是指基材的透過(guò)率變成80%以上的基材。所述透過(guò)率可使用在400nm~750nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi),以10nm的間距所測(cè)定的值的算術(shù)平均值。另外,將基材的透過(guò)率未滿(mǎn)80%的基材稱(chēng)為不透明的基材。
(1)關(guān)于透明層疊體,針對(duì)依次層疊有透明基板、透明膜、透明電極圖案的樣品,或依次層疊有透明基板、透明膜、透明電極圖案及第一透明樹(shù)脂層的樣品等,事先測(cè)定各層的折射率與各層的厚度的預(yù)估值。
(2)在透明層疊體中,針對(duì)透明基板/透明膜/透明電極圖案/第一透明樹(shù)脂層/第二透明樹(shù)脂層的5層構(gòu)成的部分,切出縱橫的邊的長(zhǎng)度為10cm×10cm。經(jīng)由透明粘著帶(OCA帶8171CL:3M公司制造),使黑色PET材接觸所切出的透明層疊體來(lái)制作樣品片。使用透射型電子顯微鏡(TEM)對(duì)樣品片進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析,并求出各層的厚度的預(yù)估值。針對(duì)樣品片,使用FE-3000(大冢電子(股份)制造),以測(cè)定點(diǎn):直徑為φ40μm,并以0.2mm間隔,在任意方向的直線(xiàn)上評(píng)價(jià)100處測(cè)定點(diǎn)中的反射光譜。此時(shí),因考慮到第一透明樹(shù)脂層與透明電極圖案的界面、及第二透明樹(shù)脂層與第一透明樹(shù)脂層的界面,故在將第一透明樹(shù)脂層、透明基板、透明膜及透明電極圖案的折射率及第二透明樹(shù)脂層的厚度的平均值的預(yù)估值,以及第一透明樹(shù)脂層的厚度的平均值的預(yù)估值代入至計(jì)算式中的狀態(tài)下,根據(jù)透明基板/透明膜/透明電極圖案/第一透明樹(shù)脂層/第二透明樹(shù)脂層的5層構(gòu)成的部分的反射光譜,通過(guò)模擬計(jì)算進(jìn)行擬合來(lái)求出第二透明樹(shù)脂層的折射率n2、第一透明樹(shù)脂層的折射率n1、以及100處測(cè)定點(diǎn)中的第二透明樹(shù)脂層及第一透明樹(shù)脂層的厚度。進(jìn)而,算出第二透明樹(shù)脂層及第一透明樹(shù)脂層的厚度的平均值、最大值、最小值及標(biāo)準(zhǔn)偏差,并求出n1、n2、T1、T2、σ1及H1。在本說(shuō)明書(shū)中,將任意的方向設(shè)為與樣品片的一邊平行的方向,并將100處測(cè)定點(diǎn)(即2cm長(zhǎng))設(shè)為自樣品片的一邊的中心起均等地每隔1cm的范圍。
當(dāng)使用不透明的基材時(shí),事先制作經(jīng)由透明粘著帶將黑色PET材貼附在基材的背面而成的樣品片,使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000評(píng)價(jià)基材與黑色PET材的層疊體的反射光譜(波長(zhǎng):430nm~800nm),并求出各波長(zhǎng)中的折射率n、厚度T、及消光系數(shù)k。在5層構(gòu)成樣品的模擬計(jì)算時(shí),代入作為基材的特性的所述折射率n、厚度T、消光系數(shù)k,由此可利用擬合來(lái)求出第二透明樹(shù)脂層與第一透明樹(shù)脂層的折射率、厚度。
<透明膜>
本發(fā)明的層疊體也可在所述透明電極圖案的與形成有所述第二透明樹(shù)脂層的一側(cè)為相反側(cè),進(jìn)而具有折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜(以下,也簡(jiǎn)稱(chēng)為“透明膜”)、或公知的硬涂層。就進(jìn)一步改善透明電極圖案的視認(rèn)性的觀(guān)點(diǎn)而言,優(yōu)選為進(jìn)而具有折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜。再者,本說(shuō)明書(shū)中,只要事先無(wú)特別說(shuō)明,則當(dāng)記載為“透明膜”時(shí),是指所述“折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜”。
本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為在所述折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜的與形成有所述透明電極圖案的一側(cè)為相反側(cè),進(jìn)而具有后述的透明基板。所述透明基板優(yōu)選為透明膜基板。在此情況下,所述透明膜優(yōu)選為配置在所述透明電極圖案與所述透明膜基板之間。
另外,本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為所述透明電極圖案為形成于透明膜基板上的透明電極圖案。
圖9表示本發(fā)明的層疊體的形態(tài)的一例。
圖9中的層疊體為透明層疊體。
在圖9中,具有透明基板1、折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜11,進(jìn)而透明電極圖案4、后述的墊部分3a、金屬配線(xiàn)部6、第一透明樹(shù)脂層12及第二透明樹(shù)脂層7以所述層構(gòu)成層疊。
另外,在金屬配線(xiàn)部6上的一部分的區(qū)域14中,通過(guò)圖案化而將第一透明樹(shù)脂層12及第二透明樹(shù)脂層7去除。
圖11表示本發(fā)明的層疊體的構(gòu)成的一例。
圖11中的層疊體為透明層疊體。
在圖11中,具有透明基板1、折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜11、透明電極圖案4、第一透明樹(shù)脂層12及第二透明樹(shù)脂層7。圖11中的層疊體在面內(nèi)具有以第一透明樹(shù)脂層12與透明電極圖案4接觸的方式而層疊的區(qū)域21。
所謂面內(nèi),是指相對(duì)于與層疊體的透明基板1平行的面大致平行的方向。所謂在面內(nèi)包含透明電極圖案4、第一透明樹(shù)脂層12及第二透明樹(shù)脂層7以所述層構(gòu)成層疊的區(qū)域,是指透明電極圖案4、第一透明樹(shù)脂層12及第二透明樹(shù)脂層7以所述層構(gòu)成層疊的區(qū)域?qū)τ谂c層疊體的透明基板平行的面的正投影存在于與層疊體的透明基板平行的面內(nèi)。
此處,當(dāng)將本發(fā)明的層疊體用于后述的靜電電容型輸入裝置時(shí),有時(shí)在行方向與列方向的大致正交的2個(gè)方向上分別設(shè)置透明電極圖案作為第一透明電極圖案及第二透明電極圖案(例如,參照?qǐng)D3)。例如在圖3的構(gòu)成中,本發(fā)明的層疊體中的透明電極圖案可為第二透明電極圖案4,也可為第一透明電極圖案3的墊部分3a。換言之,在以下的本發(fā)明的層疊體的說(shuō)明中,有時(shí)由“4”來(lái)代表表示透明電極圖案的符號(hào),但本發(fā)明的層疊體中的透明電極圖案并不限定于用于本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置中的第二透明電極圖案4,例如也可用作第一透明電極圖案3的墊部分3a。
本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為包含未形成所述透明電極圖案的非圖案區(qū)域。本說(shuō)明書(shū)中,所謂非圖案區(qū)域,是指未形成透明電極圖案的區(qū)域。
圖11表示本發(fā)明的層疊體包含非圖案區(qū)域22的形態(tài)。
本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為在面內(nèi)含有所述透明基板、所述透明膜及所述第一透明樹(shù)脂層以所述層構(gòu)成而在未形成所述透明電極圖案4的非圖案區(qū)域22的至少一部分中層疊而成的區(qū)域。
本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為在所述透明基板、所述透明膜及所述第一透明樹(shù)脂層以所述層構(gòu)成層疊而成的區(qū)域中,所述透明膜及所述第一透明樹(shù)脂層相互鄰接。
但是,在所述非圖案區(qū)域22的其他區(qū)域中,只要不違反本發(fā)明的主旨,則也可在任意的位置上配置其他構(gòu)件,例如當(dāng)將本發(fā)明的層疊體用于后述的靜電電容型輸入裝置時(shí),可層疊掩模層2、或絕緣層5或金屬配線(xiàn)部6等。
本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為所述基材及透明膜相互鄰接。
圖11表示所述透明膜11鄰接并層疊于所述透明基板1上的形態(tài)。
但是,只要不違反本發(fā)明的主旨,則也可在所述基材及所述透明膜之間層疊第三透明膜。例如,優(yōu)選為在所述基材及所述透明膜之間包含折射率為1.5~1.52的第三透明膜(圖11中未圖示)。
本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為所述透明膜及所述透明電極圖案相互鄰接。
圖11表示所述透明電極圖案4鄰接并層疊于所述透明膜11的一部分的區(qū)域上的形態(tài)。
如圖11所示,所述透明電極圖案4的端部的形狀并無(wú)特別限制,但可具有錐形形狀,例如,可具有如所述基材側(cè)的面比與所述基材相反側(cè)的面寬廣的錐形形狀。
此處,所述透明電極圖案的端部為錐形形狀時(shí)的透明電極圖案的端部的角度(以下,也稱(chēng)為錐角)優(yōu)選為30°以下,更優(yōu)選為0.1°~15°,特別優(yōu)選為0.5°~5°。
本說(shuō)明書(shū)中的錐角的測(cè)定方法可拍攝所述透明電極圖案的端部的顯微鏡照片,將所述顯微鏡照片的錐形部分近似成三角形,并直接測(cè)定錐角來(lái)求出。
圖10表示透明電極圖案的端部為錐形形狀時(shí)的一例。圖10中的近似錐形部分的三角形的底面為800nm,高度(與底面大致平行的上底部分的膜厚)為40nm,此時(shí)的錐角α約為3°。近似錐形部分的三角形的底面優(yōu)選為10nm~3,000nm,更優(yōu)選為100nm~1,500nm,特別優(yōu)選為300nm~1,000nm。再者,近似錐形部分的三角形的高度的優(yōu)選的范圍與透明電極圖案的膜厚的優(yōu)選的范圍相同。
本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為在面內(nèi)含有所述透明電極圖案及所述第一透明樹(shù)脂層相互鄰接的區(qū)域。
圖11表示在所述透明電極圖案、所述第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層以第一透明樹(shù)脂層與透明電極圖案接觸的方式層疊的區(qū)域21中,所述透明電極圖案、所述第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層相互鄰接的形態(tài)。
另外,本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為在形成透明電極圖案的區(qū)域上,所述透明電極圖案及非圖案區(qū)域22兩者連續(xù)并直接被所述透明膜及所述第一透明樹(shù)脂層包覆、或經(jīng)由其他層而被所述透明膜及所述第一透明樹(shù)脂層包覆。
此處,所謂“連續(xù)”,是指所述透明膜及所述第一透明樹(shù)脂層并非圖案膜,而是連續(xù)膜。即,就使透明電極圖案難以被視認(rèn)的觀(guān)點(diǎn)而言,所述透明膜及所述第一透明樹(shù)脂層優(yōu)選為在形成透明電極圖案的區(qū)域上不具有開(kāi)口部。
另外,與所述透明電極圖案及所述非圖案區(qū)域22經(jīng)由其他層而被所述透明膜及所述第一透明樹(shù)脂層包覆相比,優(yōu)選為所述透明電極圖案及所述非圖案區(qū)域22被所述透明膜及所述第一透明樹(shù)脂層直接包覆。作為經(jīng)由其他層而被包覆時(shí)的所述“其他層”,可列舉后述的本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置中所含有的絕緣層5、或當(dāng)如后述的本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置般含有兩層以上的透明電極圖案時(shí),可列舉第二層的透明電極圖案等。
圖11表示橫跨所述透明膜11上的未層疊透明電極圖案4的區(qū)域與透明電極圖案4上,并與兩者分別鄰接而層疊有所述第一透明樹(shù)脂層12的形態(tài)。
另外,當(dāng)透明電極圖案4的端部為錐形形狀時(shí),優(yōu)選為沿著錐形形狀(以與錐角相同的斜度)層疊所述第一透明樹(shù)脂層12。
圖11表示在所述第一透明樹(shù)脂層12的與形成有所述透明電極圖案的表面為相反側(cè)的表面上層疊有第二透明樹(shù)脂層7的形態(tài)。
<透明電極圖案>
本發(fā)明的層疊體包含透明電極圖案。
所述透明電極圖案優(yōu)選為位于基材上、且形成于后述的透明基板上的透明電極圖案,更優(yōu)選為形成于透明膜基板上的透明電極圖案。
所述透明電極圖案的折射率優(yōu)選為1.75~2.1。
所述透明電極圖案的材料并無(wú)特別限制,可使用公知的材料。例如可利用氧化銦錫(Indium Tin Oxide,ITO)或氧化銦鋅(Indium Zinc Oxide,IZO)等透光性的導(dǎo)電性金屬氧化膜來(lái)制作。Zn的氧化物(IZO)或?qū)⑦@些作為主成分的透明導(dǎo)電膜具有蝕刻速度比ITO膜快這一優(yōu)點(diǎn),因此對(duì)應(yīng)于用途而受到矚目。作為此種導(dǎo)電膜,可列舉:ITO膜;Al、Zn、Cu、Fe、Ni、Cr、Mo等的金屬膜;SiO2等的金屬氧化膜等。
所述透明電極圖案的膜厚優(yōu)選為10nm~200nm。另外,因通過(guò)煅燒來(lái)使非晶的ITO膜變成多晶的ITO膜,故還可減少電阻。
此外,當(dāng)利用ITO等來(lái)形成第一導(dǎo)電性圖案等時(shí),可參考日本專(zhuān)利第4506785號(hào)公報(bào)的段落0014~段落0016等。其中,所述透明電極圖案優(yōu)選為ITO膜或IZO膜,特別優(yōu)選為ITO膜。
本發(fā)明的層疊體中的所述透明電極圖案優(yōu)選為折射率為1.75~2.1的ITO膜。
<與所述透明電極圖案導(dǎo)通的金屬配線(xiàn)部>
本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為包含與所述透明電極圖案導(dǎo)通的金屬配線(xiàn)部。
作為所述金屬配線(xiàn)部,例如可使用銅、金、銀、鋁或含有所述金屬的合金。若考慮導(dǎo)電性與成本的平衡,則優(yōu)選為使用銅或含有銅的合金的配線(xiàn)。
關(guān)于使所述金屬配線(xiàn)部與透明電極圖案導(dǎo)通的方法,并無(wú)特別限制,只要進(jìn)行電性連接即可。
優(yōu)選為第一透明樹(shù)脂層和/或第二透明樹(shù)脂層經(jīng)圖案化,更優(yōu)選為第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層均經(jīng)圖案化,進(jìn)而更優(yōu)選為在所述金屬配線(xiàn)部上的區(qū)域中,第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層均經(jīng)圖案化。
所謂層經(jīng)圖案化,是指通過(guò)有意圖地將層的一部分去除而在面內(nèi)方向上制作存在層的區(qū)域與不存在層的區(qū)域,作為圖案化的方法,可優(yōu)選地列舉利用后述的圖案化步驟中的曝光及顯影的方法。
根據(jù)所述形態(tài),所述金屬配線(xiàn)部與進(jìn)而其他的撓性配線(xiàn)的連接變得容易。所述形態(tài)的透明層疊體的一例為圖9所示的形態(tài)。
本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為在所述第一透明樹(shù)脂層、及所述第二透明樹(shù)脂層經(jīng)去除的區(qū)域中的金屬配線(xiàn)部上具有金屬氧化抑制劑。
所謂第一透明樹(shù)脂層、及所述第二透明樹(shù)脂層經(jīng)去除的區(qū)域,是指通過(guò)所述圖案化所形成的在面內(nèi)方向上不存在層的區(qū)域。
在所述圖9中,記載有金屬配線(xiàn)部6上的第一透明樹(shù)脂層12及第二透明樹(shù)脂層7通過(guò)圖案化而被去除的一部分的區(qū)域14。
在圖13中,作為路由配線(xiàn)的終端部、且作為通過(guò)圖案化而將第一透明樹(shù)脂層(及第二透明樹(shù)脂層)去除的區(qū)域,記載有路由配線(xiàn)的終端部31。針對(duì)圖13的詳細(xì)說(shuō)明將后述。
在所述金屬配線(xiàn)部上具有金屬氧化抑制劑可通過(guò)以下的方法來(lái)確認(rèn)。根據(jù)使用愛(ài)發(fā)科(ULVAC-PHI)公司制造的特里夫特Ⅱ(TRIFTⅡ),對(duì)試樣照射一次離子的Au+離子,且并用中和槍所獲得的質(zhì)譜,確認(rèn)生成有Cu與苯并三唑的絡(luò)合物離子。詳細(xì)的測(cè)定條件只要適宜設(shè)定即可,例如可設(shè)為一次離子加速電壓為22kV、測(cè)定面積為80μm×80μm、測(cè)定時(shí)間為3分鐘。
基板<基材>
本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為含有基材。
作為所述基材,優(yōu)選為透明基板。
作為所述透明基板,可為透明玻璃基板,也可為透明膜基板,但優(yōu)選為折射率為1.50~1.55的透明膜基板。另外,所述透明基板的折射率優(yōu)選為1.5~1.52,優(yōu)選為折射率為1.50~1.52的透明膜基板。
當(dāng)所述透明基板為透明玻璃基板(也稱(chēng)為玻璃的透光性基板)時(shí),可使用以康寧公司的大猩猩玻璃(Gorilla Glass)為代表的強(qiáng)化玻璃等。另外,作為所述透明基板,可優(yōu)選地使用日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-86684號(hào)公報(bào)、日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-152809號(hào)公報(bào)及日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-257492號(hào)公報(bào)中所使用的材料,這些文獻(xiàn)的內(nèi)容可被編入至本說(shuō)明書(shū)中。
當(dāng)所述透明基板為透明膜基板時(shí),透明膜基板優(yōu)選為透明樹(shù)脂膜。作為形成透明樹(shù)脂膜的樹(shù)脂材料,例如可列舉:聚(甲基)丙烯酸系樹(shù)脂、三乙酸纖維素(Triacetate Cellulose,TAC)系樹(shù)脂、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(Polyethylene terephthalate,PET)系樹(shù)脂、聚碳酸酯系樹(shù)脂、環(huán)烯烴系樹(shù)脂等。這些之中,就通用性等的觀(guān)點(diǎn)而言,優(yōu)選為三乙酸纖維素(TAC)系樹(shù)脂、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)系樹(shù)脂、及環(huán)烯烴系樹(shù)脂。透明樹(shù)脂膜的厚度優(yōu)選為2μm~200μm的范圍內(nèi),更優(yōu)選為2μm~100μm的范圍內(nèi)。若厚度為2μm以上,則膜基板的機(jī)械強(qiáng)度充分,輥的處理操作變得容易。另一方面,若厚度為200μm以下,則彎曲特性提升,輥的處理操作變得容易。
<透明膜>
本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為在所述透明電極圖案與所述透明膜基板之間進(jìn)而具有界面反射減少用的透明膜。所述透明膜的折射率優(yōu)選為1.60~1.78,更優(yōu)選為1.65~1.74。另外,所述透明膜的膜厚優(yōu)選為55nm~110nm,更優(yōu)選為60nm~110nm,進(jìn)而更優(yōu)選為70nm~110nm。
此處,所述透明膜可為單層結(jié)構(gòu),也可為兩層以上的層疊結(jié)構(gòu)。當(dāng)所述透明膜為兩層以上的層疊結(jié)構(gòu)時(shí),所述透明膜的折射率是指所有層的折射率,所述透明膜的膜厚是指所有層的合計(jì)膜厚。只要滿(mǎn)足此種折射率的范圍,則所述透明膜的材料并無(wú)特別限制。
所述透明膜的材料的優(yōu)選的范圍與折射率等物性的優(yōu)選的范圍與所述第一透明樹(shù)脂層的這些的優(yōu)選的范圍相同。
本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為所述透明膜為透明樹(shù)脂膜。作為透明樹(shù)脂膜中所使用的金屬氧化物粒子或粘合劑聚合物或其他添加劑,只要不違反本發(fā)明的主旨,則并無(wú)特別限制,可優(yōu)選地使用本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜中的所述第一透明樹(shù)脂中所使用的樹(shù)脂或其他添加劑。
本發(fā)明的層疊體的所述透明膜也可為無(wú)機(jī)膜。
作為所述無(wú)機(jī)膜,可使用日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-86684號(hào)公報(bào)、日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-152809號(hào)公報(bào)及日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-257492號(hào)公報(bào)等中所使用的無(wú)機(jī)膜,就控制折射率的觀(guān)點(diǎn)而言,優(yōu)選為使用這些文獻(xiàn)中所記載的低折射率材料與高折射率材料的層疊結(jié)構(gòu)的無(wú)機(jī)膜、或低折射率材料與高折射率材料的混合膜的無(wú)機(jī)膜。所述低折射率材料與所述高折射率材料可優(yōu)選地使用所述日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-86684號(hào)公報(bào)、日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-152809號(hào)公報(bào)及日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-257492號(hào)公報(bào)中所使用的材料,這些文獻(xiàn)的內(nèi)容可被編入至本說(shuō)明書(shū)中。
所述無(wú)機(jī)膜也可為SiO2與Nb2O5的混合膜,在此情況下,更優(yōu)選為通過(guò)濺鍍所形成的SiO2與Nb2O5的混合膜。
<追加的透明膜>
本發(fā)明的層疊體可還包含追加的透明膜。
追加的透明膜優(yōu)選為包含在基材與透明膜之間,更優(yōu)選為包含在透明基板與透明膜之間。
就通過(guò)接近所述基材的折射率來(lái)改善透明電極圖案的視認(rèn)性的觀(guān)點(diǎn)而言,所述追加的透明膜的折射率優(yōu)選為1.50~1.55,更優(yōu)選為1.50~1.52。
<硬涂層>
在所述基材與透明電極圖案之間也可導(dǎo)入硬涂層來(lái)代替所述折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜。硬涂層可利用真空蒸鍍法、濺鍍法、離子鍍法等干式工藝,或濕式法(涂敷法)等來(lái)形成。作為濕式法(涂敷法),可使用利用輥涂機(jī)、反向輥涂機(jī)、凹版涂布機(jī)、微凹版涂布機(jī)、刮刀式涂布機(jī)、棒式涂布機(jī)、線(xiàn)棒涂布機(jī)、模涂機(jī)、浸漬涂布機(jī)的涂布方法。
硬涂層是以易滑性或提升硬度的觀(guān)點(diǎn)而導(dǎo)入,例如由如下的硬化物來(lái)形成,所述硬化物是利用熱、紫外線(xiàn)(Ultraviolet,UV)或游離輻射使四乙氧基硅烷等反應(yīng)性硅化合物、或具有多官能(甲基)丙烯酸酯等的硬化性組合物硬化而成者。另外,也可添加膠體二氧化硅等無(wú)機(jī)微粒子,將硬涂層的折射率調(diào)整成1.45~1.55左右。
<朝基材的兩面上形成透明電極圖案>
所述透明電極圖案可僅形成于基材的一面上,也可形成于兩面上。作為所述基材,優(yōu)選為透明基板,更優(yōu)選為透明膜基板。當(dāng)在基材的兩面上形成電極圖案時(shí),形成在基材與透明電極圖案之間的硬涂層及透明膜能夠以厚度或?qū)訕?gòu)成變成兩面對(duì)稱(chēng)的方式形成,也可非對(duì)稱(chēng)地形成。當(dāng)在基材的兩面上形成有透明電極圖案時(shí),本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜中所包含的第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層優(yōu)選為轉(zhuǎn)印至兩面上。
即,本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為在透明膜基板的兩面上分別具有所述透明電極圖案、第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層。所述情況下的層疊體的構(gòu)成的一例為后述的圖1A所示的形態(tài)。
(層疊體的制造方法)
本發(fā)明的層疊體的制造方法的特征在于:依次包含準(zhǔn)備本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的步驟;在位于基材上的透明電極圖案上,以與所述透明電極圖案接觸的方式層疊所述轉(zhuǎn)印膜的所述第一透明樹(shù)脂層的步驟;以及將所述臨時(shí)支撐體剝離的步驟。
根據(jù)所述形態(tài),可一次性轉(zhuǎn)印層疊體的第一透明樹(shù)脂層、及視需要包含于轉(zhuǎn)印膜中的所述第二透明樹(shù)脂層,且可容易地、生產(chǎn)性良好地制造不存在透明電極圖案被視認(rèn)的問(wèn)題的層疊體。
所述基材優(yōu)選為透明基板,優(yōu)選為透明膜基板。
再者,本發(fā)明的層疊體的制造方法中的第一透明樹(shù)脂層在所述透明電極圖案上與所述非圖案區(qū)域中,直接制膜于所述透明膜或所述金屬配線(xiàn)部上。
本發(fā)明的層疊體的制造方法優(yōu)選為所述透明電極圖案為形成于透明膜基板上的透明電極圖案。
<以與透明電極圖案接觸的方式層疊第一透明樹(shù)脂層的步驟>
本發(fā)明的層疊體的制造方法包含在透明樹(shù)脂圖案上,以與所述透明電極圖案接觸的方式層疊所述第一透明樹(shù)脂層的步驟。
以與所述透明電極圖案接觸的方式層疊轉(zhuǎn)印膜的第一透明樹(shù)脂層的步驟為將本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的第一透明樹(shù)脂層層壓(貼合)于透明電極圖案上的步驟,或者當(dāng)轉(zhuǎn)印膜具有第二透明樹(shù)脂層時(shí),為將第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層層壓(貼合)于透明電極圖案上的步驟。此時(shí),當(dāng)轉(zhuǎn)印膜具有所述保護(hù)膜時(shí),在層壓前將保護(hù)膜去除。
所述第一透明樹(shù)脂層及所述第二透明樹(shù)脂層朝透明電極圖案表面上的層壓可[通過(guò)]將所述第一透明樹(shù)脂層及所述第二透明樹(shù)脂層疊加于透明電極圖案表面,并進(jìn)行加壓、加熱來(lái)進(jìn)行。在貼合時(shí),可使用層壓機(jī)、真空層壓機(jī)、及可進(jìn)一步提高生產(chǎn)性的自動(dòng)切割層壓機(jī)等公知的層壓機(jī)。
<將臨時(shí)支撐體剝離的步驟>
本發(fā)明的層疊體的制造方法在以與透明電極圖案接觸的方式層疊所述第一透明樹(shù)脂層的步驟后,包含將臨時(shí)支撐體剝離的步驟。作為臨時(shí)支撐體的剝離方法,并無(wú)特別限制,可使用公知的方法。另外,當(dāng)本發(fā)明的層疊體的制造方法包含后述的進(jìn)行圖案化的步驟時(shí),將臨時(shí)支撐體剝離的步驟可在進(jìn)行圖案化的步驟前進(jìn)行,也可在進(jìn)行圖案化的步驟的中途(進(jìn)行曝光的步驟與進(jìn)行顯影的步驟之間)進(jìn)行。
<對(duì)基材進(jìn)行表面處理的步驟>
另外,為了提高由以與透明電極圖案接觸的方式層疊所述第一透明樹(shù)脂層的步驟中的層壓所產(chǎn)生的各層的密接性,本發(fā)明的層疊體的制造方法可在以與透明電極圖案接觸的方式層疊所述第一透明樹(shù)脂層的步驟前,包含事先對(duì)基材(透明膜基板或前面板)的非接觸面實(shí)施表面處理的“對(duì)基材進(jìn)行表面處理的步驟”。作為所述表面處理,優(yōu)選為實(shí)施使用硅烷化合物的表面處理(硅烷偶合處理)。作為硅烷偶合劑,優(yōu)選為具有與感光性樹(shù)脂進(jìn)行相互作用的官能基者。例如通過(guò)噴淋來(lái)吹附硅烷偶合液(N-β(氨基乙基)γ-氨基丙基三甲氧基硅烷0.3質(zhì)量%水溶液,商品名:KBM603,信越化學(xué)(股份)制造)20秒,然后進(jìn)行純水噴淋清洗。其后,通過(guò)加熱來(lái)進(jìn)行反應(yīng)。也可使用加熱槽,即便是層壓機(jī)的基板預(yù)加熱,也可促進(jìn)反應(yīng)。
基材的優(yōu)選的形態(tài)與本發(fā)明的層疊體中的基材的優(yōu)選的形態(tài)相同。
<對(duì)透明電極圖案進(jìn)行制膜的步驟>
本發(fā)明的層疊體的制造方法也可包含對(duì)透明電極圖案進(jìn)行制膜的步驟。
所述透明電極圖案可使用后述的本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的說(shuō)明中的第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4及金屬配線(xiàn)部6的形成方法等,在基材上或所述折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜上進(jìn)行制膜,優(yōu)選為使用感光性膜的方法。對(duì)透明電極圖案進(jìn)行制膜的步驟優(yōu)選為比以與透明電極圖案接觸的方式層疊所述第一透明樹(shù)脂層的步驟更早地進(jìn)行。
<對(duì)透明樹(shù)脂層進(jìn)行圖案化的步驟>
本發(fā)明的層疊體的制造方法優(yōu)選為還包含對(duì)第一透明樹(shù)脂層進(jìn)行圖案化的步驟。
所述進(jìn)行圖案化的步驟優(yōu)選為對(duì)第二透明樹(shù)脂層及第一透明樹(shù)脂層進(jìn)行圖案化的步驟。
圖案化步驟包含進(jìn)行曝光的步驟及進(jìn)行顯影的步驟。
作為所述進(jìn)行曝光的步驟、進(jìn)行顯影的步驟、及其他步驟的例子,在本發(fā)明中,還可適宜地使用日本專(zhuān)利特開(kāi)2006-23696號(hào)公報(bào)的段落號(hào)0035~段落號(hào)0051中所記載的方法。
再者,視需要可對(duì)第二透明樹(shù)脂層及第一透明樹(shù)脂層以外的層進(jìn)行圖案化步驟。
以后的說(shuō)明是以對(duì)第二透明樹(shù)脂層和/或第一透明樹(shù)脂層進(jìn)行圖案化的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。
[進(jìn)行曝光的步驟]
所述進(jìn)行曝光的步驟例如為對(duì)轉(zhuǎn)印至透明電極圖案上的所述第一透明樹(shù)脂層和/或所述第二透明樹(shù)脂層進(jìn)行曝光的步驟。
具體而言,可列舉:在形成于所述透明電極圖案上的所述第一透明樹(shù)脂層和/或所述第二透明樹(shù)脂層的上方配置規(guī)定的掩模,其后隔著所述掩模自掩模上方對(duì)所述第一透明樹(shù)脂層和/或所述第二透明樹(shù)脂層進(jìn)行曝光的方法,或不使用掩模而對(duì)所述第一透明樹(shù)脂層和/或所述第二透明樹(shù)脂層進(jìn)行全面曝光的方法。
此處,作為所述曝光的光源,只要是可照射能夠使所述第一透明樹(shù)脂層和/或所述第二透明樹(shù)脂層硬化的波段的光(例如365nm、405nm等)者,則可適宜選定來(lái)使用。具體而言,可列舉:超高壓水銀燈、高壓水銀燈、金屬鹵化物燈等。作為曝光量,通常為5mJ/cm2~200mJ/cm2左右,優(yōu)選為10mJ/cm2~100mJ/cm2左右。
[進(jìn)行顯影的步驟]
進(jìn)行顯影的步驟例如為對(duì)經(jīng)曝光的第一透明樹(shù)脂層和/或所述第二透明樹(shù)脂層進(jìn)行顯影的步驟。
所述顯影可使用顯影液來(lái)進(jìn)行。作為所述顯影液,并無(wú)特別制約,可使用日本專(zhuān)利特開(kāi)平5-72724號(hào)公報(bào)中所記載的顯影液等公知的顯影液。再者,顯影液優(yōu)選為進(jìn)行使所述第一透明樹(shù)脂層及所述第二透明樹(shù)脂層溶解的類(lèi)型的顯影行為者,例如優(yōu)選為以0.05mol/L~5mol/L的濃度含有pKa=7~13的化合物者。另一方面,所述第一透明樹(shù)脂層及所述第二透明樹(shù)脂層本身不形成圖案時(shí)(利用蝕刻時(shí)等)的顯影液優(yōu)選為進(jìn)行不使所述第一透明樹(shù)脂層及所述第二透明樹(shù)脂層溶解的類(lèi)型的顯影行為者,例如優(yōu)選為以0.05mol/L~5mol/L的濃度含有pKa=7~13的化合物者。在顯影液中,進(jìn)而可添加少量的與水具有混合性的有機(jī)溶劑。作為與水具有混合性的有機(jī)溶劑,可列舉:甲醇、乙醇、2-丙醇、1-丙醇、丁醇、二丙酮醇、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單-正丁醚、芐醇、丙酮、甲基乙基酮、環(huán)己酮、ε-己內(nèi)酯、γ-丁內(nèi)酯、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、六甲基磷酰胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、ε-己內(nèi)酰胺、N-甲基吡咯烷酮等。所述有機(jī)溶劑的濃度優(yōu)選為0.1質(zhì)量%~30質(zhì)量%。另外,在所述顯影液中,可進(jìn)而添加公知的表面活性劑。表面活性劑的濃度優(yōu)選為0.01質(zhì)量%~10質(zhì)量%。
作為所述顯影的方式,可為覆液式顯影、噴淋顯影、噴淋&旋轉(zhuǎn)顯影、浸漬顯影等的任一種。此處,若對(duì)所述噴淋顯影進(jìn)行說(shuō)明,則通過(guò)噴淋來(lái)對(duì)曝光后的所述第一透明樹(shù)脂層及所述第二透明樹(shù)脂層吹附顯影液,由此可去除未硬化部分。再者,當(dāng)在用于透明電極圖案的蝕刻的具有光硬化性樹(shù)脂層的感光性膜中設(shè)置有熱塑性樹(shù)脂層或中間層時(shí),優(yōu)選為在顯影前通過(guò)噴淋等來(lái)吹附光硬化性樹(shù)脂層的溶解性低的堿性的液體,而先將熱塑性樹(shù)脂層、中間層等去除。另外,優(yōu)選為在顯影后,通過(guò)噴淋來(lái)吹附洗滌劑等,并一面利用刷子等進(jìn)行摩擦,一面去除顯影殘?jiān)?。顯影液的液溫優(yōu)選為20℃~40℃,另外,顯影液的pH優(yōu)選為8~13。
再者,進(jìn)行曝光的步驟可在剝離臨時(shí)支撐體后進(jìn)行,也可在剝離臨時(shí)支撐體前進(jìn)行曝光,其后剝離臨時(shí)支撐體??蔀楦糁谀5钠毓?,也可為使用激光等的數(shù)字曝光。
<其他步驟>
所述層疊體的制造方法也可具有進(jìn)行后曝光的步驟、進(jìn)行后烘烤的步驟等其他步驟。當(dāng)所述第一透明樹(shù)脂層及所述第二透明樹(shù)脂層為熱透明樹(shù)脂層時(shí),優(yōu)選為在進(jìn)行顯影的步驟后進(jìn)行后烘烤步驟。
<對(duì)透明膜進(jìn)行制膜的步驟>
本發(fā)明的層疊體的制造方法優(yōu)選為包含對(duì)透明膜進(jìn)行制膜的步驟。
在對(duì)透明膜進(jìn)行制膜的步驟中,當(dāng)在所述透明電極圖案的與形成有所述第二透明樹(shù)脂層的一側(cè)為相反側(cè),進(jìn)而具有折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜時(shí),所述透明膜在所述透明電極圖案上直接進(jìn)行制膜、或隔著所述追加的透明膜等其他層而進(jìn)行制膜。
作為所述透明膜的制膜方法,并無(wú)特別限制,但優(yōu)選為通過(guò)轉(zhuǎn)印或?yàn)R鍍來(lái)進(jìn)行制膜。
其中,對(duì)透明膜進(jìn)行制膜的步驟優(yōu)選為將形成于臨時(shí)支撐體上的透明硬化性樹(shù)脂膜轉(zhuǎn)印至所述基材上來(lái)進(jìn)行制膜的對(duì)透明膜進(jìn)行制膜的步驟,更優(yōu)選為在轉(zhuǎn)印后進(jìn)行硬化來(lái)進(jìn)行制膜的對(duì)透明膜進(jìn)行制膜的步驟。作為轉(zhuǎn)印及硬化的方法,可列舉:使用后述的本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的說(shuō)明中的感光性膜,與本發(fā)明的層疊體的制造方法中的轉(zhuǎn)印所述第一透明樹(shù)脂層及所述第二透明樹(shù)脂層的方法同樣地進(jìn)行轉(zhuǎn)印、曝光、顯影及其他步驟的方法。在此情況下,優(yōu)選為使所述金屬氧化物微粒子分散于感光性膜中的光硬化性樹(shù)脂層中,由此將所述透明膜的折射率調(diào)整成所述范圍。
另一方面,當(dāng)所述透明膜為無(wú)機(jī)膜時(shí),優(yōu)選為通過(guò)濺鍍來(lái)形成。即,本發(fā)明的層疊體通過(guò)濺鍍來(lái)形成所述透明膜也優(yōu)選。
作為濺鍍的方法,可優(yōu)選地使用日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-86684號(hào)公報(bào)、日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-152809號(hào)公報(bào)及日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-257492號(hào)公報(bào)中所使用的方法,這些文獻(xiàn)的內(nèi)容可被編入至本說(shuō)明書(shū)中。
<對(duì)追加的透明膜進(jìn)行制膜的步驟>
本發(fā)明的層疊體的制造方法優(yōu)選為包含對(duì)追加的透明膜進(jìn)行制膜的步驟。
所述對(duì)追加的透明膜進(jìn)行制膜的步驟為與對(duì)透明膜進(jìn)行制膜的步驟相同的步驟。
(靜電電容型輸入裝置)
本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的特征在于:使用本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜制作而成、或包含本發(fā)明的層疊體。
本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置優(yōu)選為具有自本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜轉(zhuǎn)印后經(jīng)圖案化的第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層。再者,優(yōu)選為在自本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜轉(zhuǎn)印第一透明樹(shù)脂層和/或第二透明樹(shù)脂層前,自本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜上剝離保護(hù)膜。本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置需要以路由配線(xiàn)的終端部與其他配線(xiàn)構(gòu)件(撓性印刷基板等)進(jìn)行連接,因此優(yōu)選為路由配線(xiàn)的終端部未被第一透明樹(shù)脂層(及第二透明樹(shù)脂層)覆蓋。
將所述形態(tài)示于圖13中。圖13表示包含透明電極圖案的路由配線(xiàn)(金屬配線(xiàn)部6)與路由配線(xiàn)的終端部31的以下的構(gòu)成的靜電電容型輸入裝置。
路由配線(xiàn)的終端部31上的第一透明樹(shù)脂層(及第二透明樹(shù)脂層)經(jīng)由圖案化步驟(進(jìn)行曝光的步驟及進(jìn)行顯影的步驟)而被去除,路由配線(xiàn)的終端部31露出。
將具體的曝光、顯影的形態(tài)示于圖14及圖15中。圖14表示通過(guò)層壓而將具有第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層的轉(zhuǎn)印膜30層疊于靜電電容型輸入裝置的透明電極圖案上的狀態(tài),且表示通過(guò)曝光等來(lái)進(jìn)行硬化前的狀態(tài)。當(dāng)利用光刻時(shí),即當(dāng)通過(guò)曝光來(lái)進(jìn)行硬化時(shí),通過(guò)使用掩模來(lái)進(jìn)行圖案曝光及未曝光部的顯影而獲得圖15所示的形狀的第一透明樹(shù)脂層與第二透明樹(shù)脂層的硬化部(曝光部)33。具體而言,圖15表示作為第一透明樹(shù)脂層與第二透明樹(shù)脂層的未硬化部且對(duì)應(yīng)于路由配線(xiàn)的終端部的開(kāi)口部34、與朝靜電電容型輸入裝置的框部的輪廓的外側(cè)露出的具有第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層的本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的端部經(jīng)去除,并以不覆蓋路由配線(xiàn)的終端部(取出配線(xiàn)部)為目的的第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層的硬化部(所期望的圖案)。
由此,可將其他配線(xiàn)構(gòu)件直接連接于路由配線(xiàn)的終端部31上,由此,可將傳感器的信號(hào)輸送至電路中。
以下,對(duì)本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的優(yōu)選的形態(tài)的詳細(xì)情況進(jìn)行說(shuō)明。
本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置優(yōu)選為具有基材(相當(dāng)于本發(fā)明的層疊體中的所述基材)、及在所述基材的一側(cè)或兩側(cè)至少具有下述(3)及下述(6)~下述(8)的要素,且具有本發(fā)明的層疊體。
(3)多個(gè)墊部分經(jīng)由連接部分而在第一方向上延伸存在所形成的多個(gè)第一透明電極圖案
(6)與所述第一透明電極圖案導(dǎo)通的金屬配線(xiàn)部
(7)以覆蓋所述(3)及所述(6)的要素的全部或一部分的方式形成的第一透明樹(shù)脂層
(8)以覆蓋所述(7)的要素的方式形成的第二透明樹(shù)脂層
此處,所述(7)第一透明樹(shù)脂層相當(dāng)于本發(fā)明的層疊體中的所述第一透明樹(shù)脂層。另外,(7)第一透明樹(shù)脂層優(yōu)選為與(6)金屬配線(xiàn)部鄰接而形成,且優(yōu)選為通過(guò)圖案化,在金屬配線(xiàn)部上的區(qū)域中將一部分或全部去除。
另外,所述(8)第二透明樹(shù)脂層相當(dāng)于本發(fā)明的層疊體中的所述第二透明樹(shù)脂層。再者,所述第一透明樹(shù)脂層優(yōu)選為作為靜電電容型輸入裝置中的透明保護(hù)層發(fā)揮功能。
本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置也可在所述(3)第一透明電極圖案和/或所述(6)金屬配線(xiàn)部與所述(7)第一透明樹(shù)脂層之間具有下述(4)及下述(5)的要素。尤其當(dāng)所述(3)及所述(6)~所述(8)的要素僅存在于所述基材的一側(cè)時(shí),優(yōu)選為具有下述(4)及下述(5)的要素。
(4)與所述第一透明電極圖案電性絕緣、且包含在與所述第一方向交叉的方向上延伸存在所形成的多個(gè)墊部分的多個(gè)第二電極圖案
(5)使所述第一透明電極圖案與所述第二電極圖案電性絕緣的絕緣層
本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置優(yōu)選為所述(4)第二電極圖案為透明電極圖案。
所述(3)第一透明電極圖案與(4)第二透明電極圖案中的透明者相當(dāng)于本發(fā)明的層疊體中的透明電極圖案。再者,當(dāng)均為透明時(shí),均相當(dāng)于本發(fā)明的層疊體中的透明電極圖案。
本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置優(yōu)選為在所述(3)第一透明電極圖案與所述基材之間、所述(4)第二透明電極圖案與所述基材之間、或所述(6)金屬配線(xiàn)部與所述基材之間進(jìn)而具有(2)透明膜。此處,就進(jìn)一步改善透明電極圖案的視認(rèn)性的觀(guān)點(diǎn)而言,優(yōu)選為所述(2)透明膜相當(dāng)于本發(fā)明的層疊體中的折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜。
本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置視需要可進(jìn)而具有(1)掩模層和/或裝飾層。所述掩模層還可作為黑色的邊框,為了無(wú)法自接觸側(cè)視認(rèn)透明電極圖案的路由配線(xiàn)、或?yàn)榱诉M(jìn)行裝飾而設(shè)置于利用手指或觸屏筆等所接觸的區(qū)域的周?chē)?。所述裝飾層是為了裝飾而設(shè)置,例如可設(shè)置白色的裝飾層。
當(dāng)存在所述(1)掩模層和/或裝飾層時(shí),優(yōu)選為在所述(2)透明膜與所述基材之間、所述(3)第一透明電極圖案與所述基材之間、所述(4)第二透明電極圖案與所述基材之間、或所述(6)金屬配線(xiàn)部與所述基材之間具有(1)掩模層和/或裝飾層。所述(1)掩模層和/或裝飾層更優(yōu)選為鄰接于所述基材而設(shè)置。
再者,當(dāng)所述基材為透明膜基板時(shí),所述(1)掩模層和/或裝飾層優(yōu)選為與進(jìn)而配置在基材的視認(rèn)側(cè)的蓋玻璃一體化。在此種形態(tài)的情況下,就自本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜轉(zhuǎn)印所述第二透明樹(shù)脂層及所述第一透明樹(shù)脂層時(shí),可減少成為氣泡混入的原因等的段差的觀(guān)點(diǎn)而言,優(yōu)選為本發(fā)明的層疊體不具有所述(1)掩模層和/或裝飾層。
本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置即便在包含所述各種構(gòu)件的情況下,通過(guò)包含鄰接于透明電極圖案而配置的所述第二透明樹(shù)脂層、及鄰接于所述第二透明樹(shù)脂層而配置的所述第一透明樹(shù)脂層,也可不使透明電極圖案變得顯眼,并可改善透明電極圖案的視認(rèn)性的問(wèn)題。進(jìn)而,如所述般使用所述折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜與所述第二透明樹(shù)脂層,并設(shè)為夾入透明電極圖案的構(gòu)成,由此可進(jìn)一步改善透明電極圖案的視認(rèn)性的問(wèn)題。
<靜電電容型輸入裝置的構(gòu)成>
首先,關(guān)于本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的優(yōu)選的構(gòu)成,結(jié)合構(gòu)成裝置的各構(gòu)件的制造方法來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。圖1A為本發(fā)明的層疊體或靜電電容型輸入裝置的優(yōu)選的構(gòu)成的一例,且為表示在基材的兩側(cè)各設(shè)置有一層透明電極圖案的靜電電容型輸入裝置的構(gòu)成的剖面圖。圖1A中,靜電電容型輸入裝置10包括:透明基板(透明膜基板)1;折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜11,對(duì)稱(chēng)地分別設(shè)置于透明基板1的兩面;透明電極圖案4;金屬配線(xiàn)部6;第二透明樹(shù)脂層12;以及第一透明樹(shù)脂層7。本發(fā)明的層疊體或靜電電容型輸入裝置并不限定于圖1A的構(gòu)成,僅在透明基板1的1個(gè)面上設(shè)置有透明膜11、透明電極圖案4、金屬配線(xiàn)部6、第二透明樹(shù)脂層12、及第一透明樹(shù)脂層7的形態(tài)也優(yōu)選。
另外,表示后述的圖3中的X-X1剖面的圖1B為在透明基板的一側(cè),在行方向與列方向的大致正交的2個(gè)方向上分別設(shè)置有第一透明電極圖案及第二透明電極圖案作為透明電極圖案的靜電電容型輸入裝置的一例,且為表示本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的優(yōu)選的構(gòu)成的一例的剖面圖。圖1B表示靜電電容型輸入裝置10包含基材1、折射率為1.60~1.78且膜厚為55nm~110nm的透明膜11、第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4、第二透明樹(shù)脂層12、及第一透明樹(shù)脂層7的形態(tài)。
透明基板(透明膜基板或前面板)1可使用作為本發(fā)明的層疊體中的透明電極圖案的材料所列舉者。
將具有掩模層的本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的例子示于圖2。掩模層2是設(shè)置于觸摸屏透明基板的顯示區(qū)域周?chē)倪吙驙畹膱D案,且是為了使路由配線(xiàn)等不被看見(jiàn)而形成。
在靜電電容型輸入裝置10中,如圖2所示,也能夠以覆蓋透明基板1的一部分的區(qū)域(圖2中,輸入面以外的區(qū)域)的方式設(shè)置掩模層2。進(jìn)而,如圖2所示,可在透明基板1的一部分上設(shè)置開(kāi)口部8。在開(kāi)口部8中,可設(shè)置利用按壓的機(jī)械開(kāi)關(guān)。
將在透明基板的一側(cè)具有兩層的透明電極圖案的靜電電容型輸入裝置的例子示于圖3。在透明基板1的表面形成有多個(gè)第一透明電極圖案3、多個(gè)第二透明電極圖案4、及絕緣層5,所述多個(gè)第一透明電極圖案3是多個(gè)墊部分經(jīng)由連接部分而在第一方向上延伸存在來(lái)形成,所述多個(gè)第二透明電極圖案4與第一透明電極圖案3電性絕緣、且包含在與第一方向交叉的第二方向上延伸存在所形成的多個(gè)墊部分,所述絕緣層5使第一透明電極圖案3與第二透明電極圖案4電性絕緣。所述第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4、及后述的金屬配線(xiàn)部6可使用作為本發(fā)明的層疊體中的透明電極圖案的材料所列舉者,優(yōu)選為ITO膜。
使用圖3對(duì)第一透明電極圖案3及第二透明電極圖案4進(jìn)一步進(jìn)行說(shuō)明。圖3是表示本發(fā)明中的第一透明電極圖案及第二透明電極圖案的一例的說(shuō)明圖。如圖3所示,第一透明電極圖案3是墊部分3a經(jīng)由連接部分3b而在第一方向上延伸存在來(lái)形成。另外,第二透明電極圖案4通過(guò)絕緣層5而與第一透明電極圖案3電性絕緣、且包含在與第一方向交叉的方向(圖3中的第二方向)上延伸存在所形成的多個(gè)墊部分。此處,當(dāng)形成第一透明電極圖案3時(shí),可將所述墊部分3a與連接部分3b制作成一體,也可僅制作連接部分3b,而將墊部分3a與第二透明電極圖案4制作成一體(圖案化)。當(dāng)將墊部分3a與第二透明電極圖案4制作成一體(圖案化)時(shí),如圖3所示,以如下方式形成各層:連接部分3b的一部分與墊部分3a的一部分相連結(jié)、且第一透明電極圖案3與第二透明電極圖案4通過(guò)絕緣層5而電性絕緣。
另外,圖3中的未形成第一透明電極圖案3或第二透明電極圖案4或后述的金屬配線(xiàn)部6的區(qū)域相當(dāng)于本發(fā)明的層疊體中的非圖案區(qū)域22。
優(yōu)選為在掩模層2的表面設(shè)置有金屬配線(xiàn)部6。金屬配線(xiàn)部6為與第一透明電極圖案3及第二透明電極圖案4的至少一者電性連接、且與第一透明電極圖案3及第二透明電極圖案4不同的要素。
另外,優(yōu)選為以將各構(gòu)成要素全部覆蓋的方式設(shè)置有第一透明樹(shù)脂層7。第1透明樹(shù)脂層7能夠以?xún)H覆蓋各構(gòu)成要素的一部分的方式構(gòu)成。絕緣層5與第一透明樹(shù)脂層7可為相同的材料,也可為不同的材料。作為構(gòu)成絕緣層5的材料,可優(yōu)選地使用作為本發(fā)明的層疊體中的第一透明樹(shù)脂層或第二透明樹(shù)脂層的材料所列舉者。
(靜電電容型輸入裝置的制造方法)
作為制造本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的過(guò)程中所形成的形態(tài)例,可列舉圖4~圖8的形態(tài)。圖4是表示形成有開(kāi)口部8的強(qiáng)化處理玻璃的一例的俯視圖。圖5是表示形成有掩模層2的基材的一例的俯視圖。圖6是表示形成有第一透明電極圖案3的基材的一例的俯視圖。圖7是表示形成有第一透明電極圖案3及第二透明電極圖案4的基材的一例的俯視圖。圖8是表示形成有第一透明電極圖案及第二透明電極圖案與金屬配線(xiàn)部6的基材的一例的俯視圖。這些圖是表示對(duì)以下的說(shuō)明加以具體化的例子的圖,本發(fā)明的范圍并不由這些圖式限定性地進(jìn)行解釋。
在靜電電容型輸入裝置的制造方法中,當(dāng)形成所述第一透明樹(shù)脂層12及所述第二透明樹(shù)脂層7時(shí),可通過(guò)使用本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜,將所述第一透明樹(shù)脂層12及所述第二透明樹(shù)脂層7轉(zhuǎn)印至任意地形成有各要素的所述透明基板1的表面來(lái)形成。
在靜電電容型輸入裝置的制造方法中,關(guān)于掩模層2、第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4、絕緣層5、及金屬配線(xiàn)部6,也可使用具有臨時(shí)支撐體與光硬化性樹(shù)脂層的感光性膜來(lái)形成。
在使用所述感光性膜來(lái)形成利用所述掩模層、絕緣層、光硬化性樹(shù)脂層時(shí)的第一透明電極圖案、第二透明電極圖案及金屬配線(xiàn)部等永久材料的情況下,將感光性膜層壓于任意的被轉(zhuǎn)印構(gòu)件上后,視需要曝光成圖案狀,在負(fù)型材料的情況下對(duì)非曝光部分進(jìn)行顯影處理來(lái)將其去除,在正型材料的情況下對(duì)曝光部分進(jìn)行顯影處理來(lái)將其去除,由此可獲得圖案。顯影可利用不同的液體將熱塑性樹(shù)脂層與光硬化性樹(shù)脂層顯影去除,也可利用同一種液體將熱塑性樹(shù)脂層與光硬化性樹(shù)脂層去除。視需要,也可組合刷子或高壓噴射等公知的顯影設(shè)備。顯影后,視需要可進(jìn)行后曝光、后烘烤。
<感光性膜>
對(duì)制造本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置時(shí)可優(yōu)選地使用的本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜以外的所述感光性膜進(jìn)行說(shuō)明。所述感光性膜優(yōu)選為具有臨時(shí)支撐體與光硬化性樹(shù)脂層,且在臨時(shí)支撐體與光硬化性樹(shù)脂層之間具有熱塑性樹(shù)脂層。若使用具有所述熱塑性樹(shù)脂層的感光性膜來(lái)形成掩模層等,則在轉(zhuǎn)印光硬化性樹(shù)脂層而形成的要素中難以產(chǎn)生氣泡,在圖像顯示裝置中難以產(chǎn)生圖像不均等,可獲得優(yōu)異的顯示特性。
所述感光性膜可為負(fù)型材料,也可為正型材料。
-光硬化性樹(shù)脂層以外的層的制作方法-
作為所述感光性膜中的所述臨時(shí)支撐體,可使用與本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜中所使用的臨時(shí)支撐體相同者。作為所述感光性膜中所使用的所述熱塑性樹(shù)脂層,可使用日本專(zhuān)利特開(kāi)2014-10814號(hào)公報(bào)的段落0056~段落0060中所記載者。再者,也可與所述熱塑性樹(shù)脂層一并使用公知的中間層或阻氧層。另外,作為所述感光性膜的制作方法,也可使用與本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜的制作方法相同的方法。
-光硬化性樹(shù)脂層-
所述感光性膜對(duì)應(yīng)于其用途而將添加物添加至光硬化性樹(shù)脂層中。即,當(dāng)將所述感光性膜用于掩模層的形成時(shí),在光硬化性樹(shù)脂層中含有著色劑。
當(dāng)所述感光性膜為負(fù)型材料時(shí),光硬化性樹(shù)脂層優(yōu)選為含有堿可溶性樹(shù)脂、聚合性化合物、聚合引發(fā)劑或聚合引發(fā)系。進(jìn)而,可使用著色劑、其他添加劑等,但并不限定于此。
-堿可溶性樹(shù)脂、聚合性化合物、所述聚合引發(fā)劑-
作為所述感光性膜中所含有的堿可溶性樹(shù)脂、聚合性化合物、所述聚合引發(fā)劑或聚合引發(fā)系,可使用與本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜中所使用的堿可溶性樹(shù)脂、聚合性化合物、所述聚合引發(fā)劑或聚合引發(fā)系相同者。
-著色劑(用作掩模層的情況)-
另外,當(dāng)將所述感光性膜用作掩模層時(shí),可將著色劑用于光硬化性樹(shù)脂層。作為用于本發(fā)明的著色劑,可適宜地使用公知的著色劑(有機(jī)顏料、無(wú)機(jī)顏料、染料等)。再者,在本發(fā)明中,除黑色著色劑以外,可使用紅色、藍(lán)色、綠色等的顏料的混合物等。
當(dāng)將所述光硬化性樹(shù)脂層用作黑色的掩模層時(shí),就光學(xué)濃度的觀(guān)點(diǎn)而言,優(yōu)選為含有黑色著色劑。作為黑色著色劑,例如可列舉炭黑、鈦碳、氧化鐵、氧化鈦、石墨等,其中,優(yōu)選為炭黑。
當(dāng)將所述光硬化性樹(shù)脂層用作白色的掩模層時(shí),可使用日本專(zhuān)利特開(kāi)2005-7765公報(bào)的段落0015或段落0114中所記載的白色顏料。為了用作其他顏色的掩模層,也可將日本專(zhuān)利第4546276號(hào)公報(bào)的段落0183~段落0185等中所記載的顏料、或染料混合使用。具體而言,可適宜地使用日本專(zhuān)利特開(kāi)2005-17716號(hào)公報(bào)的段落0038~段落0054中所記載的顏料及染料、日本專(zhuān)利特開(kāi)2004-361447號(hào)公報(bào)的段落0068~段落0072中所記載的顏料、日本專(zhuān)利特開(kāi)2005-17521號(hào)公報(bào)的段落0080~段落0088中所記載的著色劑等。
所述著色劑(優(yōu)選為顏料,更優(yōu)選為炭黑)理想的是用作分散液。所述分散液可通過(guò)如下方式來(lái)制備:向后述的有機(jī)溶媒(或載色劑(vehicle))中添加事先將所述著色劑與顏料分散劑混合所獲得的組合物并使其分散。所述載色劑是指在涂料處于液體狀態(tài)時(shí)使顏料分散的介質(zhì)的部分,包含與所述顏料結(jié)合而形成涂膜的液狀的成分(粘合劑)、及將其溶解稀釋的成分(有機(jī)溶媒)。
作為使所述顏料分散時(shí)所使用的分散機(jī),并無(wú)特別限制,例如可列舉:朝倉(cāng)邦造著,《顏料的百科詞典》,第一版,朝倉(cāng)書(shū)店,2000年,438頁(yè)中所記載的捏合機(jī)、輥磨機(jī)、磨碎機(jī)、高速研磨機(jī)、溶解器(dissolver)、均質(zhì)混合機(jī)、砂磨機(jī)等公知的分散機(jī)。進(jìn)而,也可通過(guò)所述文獻(xiàn)310頁(yè)中記載的機(jī)械式磨碎,利用摩擦力來(lái)進(jìn)行微粉碎。
就分散穩(wěn)定性的觀(guān)點(diǎn)而言,所述著色劑優(yōu)選為數(shù)量平均粒徑為0.001μm~0.1μm者,更優(yōu)選為數(shù)量平均粒徑為0.01μm~0.08μm者。再者,此處所述的“粒徑”是指將粒子的電子顯微鏡照片圖像設(shè)為同面積的圓時(shí)的直徑,另外,“數(shù)量平均粒徑”是指對(duì)多個(gè)粒子所求出的所述粒徑中的100個(gè)的平均值。
就與其他層的厚度的差的觀(guān)點(diǎn)而言,含有著色劑的光硬化性樹(shù)脂層的層厚優(yōu)選為0.5μm~10μm,更優(yōu)選為0.8μm~5μm,特別優(yōu)選為1μm~3μm。作為著色感光性樹(shù)脂組合物的固體成分中的著色劑的含有率,并無(wú)特別限制,但就充分地縮短顯影時(shí)間的觀(guān)點(diǎn)而言,優(yōu)選為15質(zhì)量%~70質(zhì)量%,更優(yōu)選為20質(zhì)量%~60質(zhì)量%,進(jìn)而更優(yōu)選為25質(zhì)量%~50質(zhì)量%。
本說(shuō)明書(shū)中所述的總固體成分是指自著色感光性樹(shù)脂組合物中去除溶劑等后的不揮發(fā)成分的總質(zhì)量。
再者,當(dāng)使用所述感光性膜來(lái)形成絕緣層時(shí),就維持絕緣性的觀(guān)點(diǎn)而言,光硬化性樹(shù)脂層的層厚優(yōu)選為0.1μm~5μm,更優(yōu)選為0.3μm~3μm,特別優(yōu)選為0.5μm~2μm。
-其他添加劑-
進(jìn)而,所述光硬化性樹(shù)脂層也可使用其他添加劑。作為所述添加劑,可使用與本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜中所使用的添加劑相同者。另外,作為通過(guò)涂布來(lái)制造所述感光性膜時(shí)的溶劑,可使用與本發(fā)明的轉(zhuǎn)印膜中所使用的溶劑相同者。
以上,以所述感光性膜為負(fù)型材料的情況為中心進(jìn)行了說(shuō)明,但所述感光性膜也可為正型材料。當(dāng)所述感光性膜為正型材料時(shí),在光硬化性樹(shù)脂層中可使用例如日本專(zhuān)利特開(kāi)2005-221726號(hào)公報(bào)中所記載的材料等,但并不限定于此。
-熱塑性樹(shù)脂層及光硬化性樹(shù)脂層的粘度-
所述熱塑性樹(shù)脂層在100℃下所測(cè)定的粘度處于1,000Pa·sec~10,000Pa·sec的區(qū)域內(nèi),光硬化性樹(shù)脂層在100℃下所測(cè)定的粘度處于2,000Pa·sec~50,000Pa·sec的區(qū)域內(nèi),進(jìn)而,優(yōu)選為滿(mǎn)足下式(A)。
式(A):熱塑性樹(shù)脂層的粘度<光硬化性樹(shù)脂層的粘度
此處,各層的粘度可如以下般測(cè)定。通過(guò)大氣壓及減壓干燥,而自熱塑性樹(shù)脂層用涂布液或光硬化性樹(shù)脂層用涂布液中去除溶劑來(lái)作為測(cè)定樣品,然后例如可使用振動(dòng)子(DD-III型:東洋鮑德溫(股份)制造)作為測(cè)定器,在測(cè)定開(kāi)始溫度為50℃、測(cè)定結(jié)束溫度為150℃、升溫速度為5℃/min及振動(dòng)頻率為1Hz/deg的條件下進(jìn)行測(cè)定,并使用100℃的測(cè)定值。
(利用感光性膜的掩模層、絕緣層的形成)
所述掩模層2、絕緣層5可通過(guò)使用所述感光性膜將光硬化性樹(shù)脂層轉(zhuǎn)印至透明基板1等上來(lái)形成。例如,黑色的掩模層2可通過(guò)使用具有黑色光硬化性樹(shù)脂層作為所述光硬化性樹(shù)脂層的所述感光性膜,將所述黑色光硬化性樹(shù)脂層轉(zhuǎn)印至所述透明基板1的表面上來(lái)形成。絕緣層5可通過(guò)使用具有絕緣性的光硬化性樹(shù)脂層作為所述光硬化性樹(shù)脂層的所述感光性膜,將所述光硬化性樹(shù)脂層轉(zhuǎn)印至形成有第一透明電極圖案的所述透明基板1的表面上來(lái)形成。
進(jìn)而,通過(guò)將具有在光硬化性樹(shù)脂層與臨時(shí)支撐體之間具有熱塑性樹(shù)脂層的特定的層構(gòu)成的所述感光性膜用于需要遮光性的掩模層2的形成,而可防止感光性膜層壓時(shí)的氣泡產(chǎn)生,并可形成無(wú)漏光的高品質(zhì)的掩模層2。
<利用感光性膜的第一透明電極圖案及第二透明電極圖案、金屬配線(xiàn)部的形成>
所述第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4及金屬配線(xiàn)部6可利用蝕刻處理或具有導(dǎo)電性光硬化性樹(shù)脂層的所述感光性膜來(lái)形成、或者將感光性膜用作剝離(lift-off)材料來(lái)形成。
-蝕刻處理-
當(dāng)通過(guò)蝕刻處理來(lái)形成所述第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4及金屬配線(xiàn)部6時(shí),首先通過(guò)濺鍍而在形成有掩模層2等的透明基板1的非接觸面上形成ITO等的透明電極層。繼而,使用具有蝕刻用光硬化性樹(shù)脂層作為所述光硬化性樹(shù)脂層的所述感光性膜,并通過(guò)曝光·顯影而在所述透明電極層上形成蝕刻圖案。其后,對(duì)透明電極層進(jìn)行蝕刻來(lái)對(duì)透明電極進(jìn)行圖案化,并將蝕刻圖案去除,由此可形成第一透明電極圖案3等。
在將所述感光性膜用作蝕刻抗蝕劑(蝕刻圖案)的情況下,也能夠以與所述方法相同的方式獲得抗蝕劑圖案。所述蝕刻可利用日本專(zhuān)利特開(kāi)2010-152155公報(bào)的段落0048~段落0054等中所記載的公知的方法來(lái)應(yīng)用蝕刻、抗蝕劑剝離。
例如,作為蝕刻的方法,可列舉通常所進(jìn)行的浸漬于蝕刻液中的濕式蝕刻法。用于濕式蝕刻的蝕刻液只要結(jié)合蝕刻的對(duì)象而適宜選擇酸性類(lèi)型或堿性類(lèi)型的蝕刻液即可。作為酸性類(lèi)型的蝕刻液,可例示:鹽酸、硫酸、氫氟酸、磷酸等單一酸性成分的水溶液,酸性成分與氯化鐵、氟化銨、高錳酸鉀等的鹽的混合水溶液等。酸性成分也可使用將多種酸性成分組合而成者。另外,作為堿性類(lèi)型的蝕刻液,可例示:如氫氧化鈉、氫氧化鉀、氨、有機(jī)胺、氫氧化四甲基銨般的有機(jī)胺的鹽等單一堿成分的水溶液,堿成分與高錳酸鉀等的鹽的混合水溶液等。堿成分也可使用將多種堿成分組合而成者。
蝕刻液的溫度并無(wú)特別限定,但優(yōu)選為45℃以下。在本發(fā)明中,用作蝕刻掩模(蝕刻圖案)的樹(shù)脂圖案由于使用所述光硬化性樹(shù)脂層來(lái)形成,對(duì)于此種溫度范圍內(nèi)的酸性及堿性的蝕刻液發(fā)揮特別優(yōu)異的耐受性。因此,在進(jìn)行蝕刻的步驟中防止樹(shù)脂圖案剝離,而選擇性地蝕刻不存在樹(shù)脂圖案的部分。
在所述蝕刻后,為了防止線(xiàn)污染,視需要可實(shí)施進(jìn)行清洗的步驟·進(jìn)行干燥的步驟。關(guān)于進(jìn)行清洗的步驟,例如在常溫下利用純水對(duì)形成有各層的基材清洗10秒~300秒來(lái)進(jìn)行,關(guān)于進(jìn)行干燥的步驟,只要使用鼓風(fēng),并適宜調(diào)整鼓風(fēng)壓力(0.1kg/cm2~5kg/cm2左右)來(lái)進(jìn)行即可。
繼而,作為樹(shù)脂圖案的剝離方法,并無(wú)特別限定,例如可列舉:在30℃~80℃,優(yōu)選為50℃~80℃下使形成有各層的基材在攪拌中的剝離液中浸漬5分鐘~30分鐘的方法。在本發(fā)明中,用作蝕刻掩模的樹(shù)脂圖案如所述般在45℃以下顯示出優(yōu)異的耐藥液性,但若藥液溫度變成50℃以上,則顯示出因堿性的剝離液而膨潤(rùn)的性質(zhì)。根據(jù)此種性質(zhì),若使用50℃~80℃的剝離液實(shí)施進(jìn)行剝離的步驟,則具有步驟時(shí)間縮短、樹(shù)脂圖案的剝離殘?jiān)兩龠@一優(yōu)點(diǎn)。即,在所述進(jìn)行蝕刻的步驟與進(jìn)行剝離的步驟之間對(duì)于藥液溫度設(shè)定差,由此在本發(fā)明中用作蝕刻掩模的樹(shù)脂圖案在進(jìn)行蝕刻的步驟中發(fā)揮良好的耐藥液性,另一方面,在進(jìn)行剝離的步驟中顯示出良好的剝離性,而可同時(shí)滿(mǎn)足耐藥液性與剝離性這一相反的特性。
作為剝離液,例如可列舉:使氫氧化鈉、氫氧化鉀等無(wú)機(jī)堿成分,或三級(jí)胺、四級(jí)銨鹽等有機(jī)堿成分溶解于水、二甲基亞砜、N-甲基吡咯烷酮、或這些的混合溶液中而成的剝離液。也可使用所述剝離液,通過(guò)噴霧法、噴淋法、覆液法等來(lái)進(jìn)行剝離。
-具有導(dǎo)電性光硬化性樹(shù)脂層的感光性膜-
當(dāng)使用具有導(dǎo)電性光硬化性樹(shù)脂層的所述感光性膜,形成所述第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4及金屬配線(xiàn)部6時(shí),可通過(guò)將所述導(dǎo)電性光硬化性樹(shù)脂層轉(zhuǎn)印至所述透明基板1的表面來(lái)形成。
若使用具有所述導(dǎo)電性光硬化性樹(shù)脂層的感光性膜來(lái)形成所述第一透明電極圖案3等,則即便是具有開(kāi)口部的基材,抗蝕劑成分也不會(huì)自開(kāi)口部分漏出,且不會(huì)污染基板背面?zhèn)?,而能夠以?jiǎn)單的步驟制造具有薄層/輕量化的優(yōu)點(diǎn)的觸摸屏。
進(jìn)而,通過(guò)將具有在導(dǎo)電性光硬化性樹(shù)脂層與臨時(shí)支撐體之間具有熱塑性樹(shù)脂層的特定的層構(gòu)成的所述感光性膜用于第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4及金屬配線(xiàn)部6的形成,而可防止感光性膜層壓時(shí)的氣泡產(chǎn)生,并形成導(dǎo)電性?xún)?yōu)異、電阻少的第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4及金屬配線(xiàn)部6。
-感光性膜的作為剝離材料的使用-
另外,還可將所述感光性膜用作剝離材料,而形成第一透明電極層、第二透明電極層及其他導(dǎo)電性構(gòu)件。在此情況下,使用所述感光性膜進(jìn)行圖案化后,在形成有各層的基材整個(gè)面上形成透明導(dǎo)電層后,連同所堆積的透明導(dǎo)電層一起進(jìn)行所述光硬化性樹(shù)脂層的溶解去除,由此可獲得所期望的透明導(dǎo)電層圖案(剝離法)。
(圖像顯示裝置)
本發(fā)明的圖像顯示裝置的特征在于:具備本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置作為構(gòu)成要素。
本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置、及具備所述靜電電容型輸入裝置作為構(gòu)成要素的圖像顯示裝置可應(yīng)用《最新觸摸屏技術(shù)》(2009年7月6日發(fā)行,技術(shù)時(shí)代(Techno Times)(股份))、三谷雄二監(jiān)修,《觸摸屏的技術(shù)與開(kāi)發(fā)》、CMC出版(2004,12),平板顯示器國(guó)際論壇2009(FPD International 2009Forum)T-11講演教材,賽普拉斯半導(dǎo)體公司(Cypress Semiconductor Corporation)應(yīng)用指南AN2292等中所揭示的構(gòu)成。
[實(shí)施例]
以下列舉實(shí)施例來(lái)更具體地說(shuō)明本發(fā)明。只要不脫離本發(fā)明的主旨,則以下的實(shí)施例中所示的材料、使用量、比例、處理內(nèi)容、處理程序等可適宜變更。因此,本發(fā)明的范圍并不限定于以下所示的具體例。再者,只要事先無(wú)特別說(shuō)明,則“份”、“%”為質(zhì)量基準(zhǔn)。
(1.各實(shí)施例及比較例的轉(zhuǎn)印膜的制作)
<第二透明樹(shù)脂層的形成>
以變成下述表1中所記載的組成的方式制備第二透明樹(shù)脂層用的材料-A1、材料-A2及材料-A3。在厚度為25μm的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯膜即臨時(shí)支撐體上,使用狹縫狀噴嘴,以干燥后的膜厚變成8μm的方式對(duì)材料-A1~材料-A3的任一種進(jìn)行調(diào)整、涂布。其后,對(duì)其進(jìn)行干燥,而在臨時(shí)支撐體上形成第二透明樹(shù)脂層。
再者,表1中,原材料欄中所記載的%表示各原材料中所包含的化合物的含有率(質(zhì)量%),材料-A1~材料-A3的欄中所記載的數(shù)值表示各原材料的含量(質(zhì)量份),“-”的記載表示不含符合的成分。
[表1]
[化5]
再者,表示由結(jié)構(gòu)式(3)所表示的化合物中的各構(gòu)成單元的括號(hào)的右下方的數(shù)值表示質(zhì)量比,另外,環(huán)氧丁烷基中的括號(hào)的右下方的數(shù)值表示重復(fù)數(shù)。
<第一透明樹(shù)脂層的形成>
以變成下述表2~表4中所記載的組成的方式制備第一透明樹(shù)脂層用的材料-B1~材料-B16。以下述表5中所記載的組合,在第二透明樹(shù)脂層上,以干燥后的膜厚變成0.1μm的方式對(duì)材料-B1~材料-B16的任一種進(jìn)行調(diào)整、涂布。其后,對(duì)其進(jìn)行干燥,而在第二透明樹(shù)脂層上形成第一透明樹(shù)脂層。再者,在比較例2中,不進(jìn)行第一透明樹(shù)脂層用的材料的涂布,而未形成第一透明樹(shù)脂層。
再者,表2~表4中,原材料欄中所記載的%在未記載為mol%的情況下,表示各原材料中所包含的化合物的含有率(質(zhì)量%),材料-B1~材料-B16的欄中所記載的數(shù)值表示各原材料的含量(質(zhì)量份),“-”的記載表示不含符合的成分。
表5中,在金屬氧化物粒子及金屬氧化抑制劑的欄中記載為“無(wú)”的例子表示不含各個(gè)化合物,金屬氧化抑制劑的欄中所記載的%表示質(zhì)量%。
<保護(hù)膜的壓接>
針對(duì)在臨時(shí)支撐體上設(shè)置有第二透明樹(shù)脂層及第一透明樹(shù)脂層的層疊體,最后將保護(hù)膜(厚度為12μm的聚丙烯膜)壓接于其第一透明樹(shù)脂層上。
如此,制成臨時(shí)支撐體、第二透明樹(shù)脂層、第一透明樹(shù)脂層、及保護(hù)膜成為一體的轉(zhuǎn)印膜。將所獲得的轉(zhuǎn)印膜設(shè)為各實(shí)施例及比較例的轉(zhuǎn)印膜。
<折射率及第一透明樹(shù)脂層的厚度的特性>
n1、n2、T2、σ1及H1是使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000(大冢電子(股份)制造),如下述般求出。另外,以下的測(cè)定是在25℃的條件下進(jìn)行。
(1)將各實(shí)施例及比較例中所使用的臨時(shí)支撐體切出縱橫的邊的長(zhǎng)度為10cm×10cm。經(jīng)由透明粘著帶(OCA帶8171CL:3M公司制造),使黑色聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)材接觸所切出的臨時(shí)支撐體的一個(gè)表面來(lái)制作層疊體(第一層疊體)。使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000評(píng)價(jià)第一層疊體的反射光譜(波長(zhǎng):430nm~800nm),并求出各波長(zhǎng)中的臨時(shí)支撐體的折射率n0。
(2)以與各實(shí)施例及比較例相同的方式準(zhǔn)備在臨時(shí)支撐體上僅形成有第二透明樹(shù)脂層的樣品,并將其切出縱橫的邊的長(zhǎng)度為10cm×10cm。經(jīng)由透明粘著帶(OCA帶8171CL:3M公司制造),使黑色PET材接觸所切出的樣品的臨時(shí)支撐體面來(lái)制作層疊體(第二層疊體)。使用透射型電子顯微鏡(TEM)對(duì)第二層疊體進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析。在10處測(cè)定第二透明樹(shù)脂層的厚度并求出平均值,且求出第二透明樹(shù)脂層的厚度的平均值的第1預(yù)估值T2(I)。使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000評(píng)價(jià)第二層疊體的反射光譜(波長(zhǎng):430nm~800nm)。求出各波長(zhǎng)中的第二透明樹(shù)脂層的折射率n2及第二透明樹(shù)脂層的厚度的平均值的第2預(yù)估值T2(II)。將波長(zhǎng)550nm中的第二透明樹(shù)脂層的折射率n2記載于下述表中。此時(shí),因考慮到第二透明樹(shù)脂層與臨時(shí)支撐體的界面的反射,故在將所述(1)中所求出的折射率n0的值與第1預(yù)估值T2(I)代入至計(jì)算式中的狀態(tài)下,根據(jù)第二層疊體的反射光譜,通過(guò)模擬計(jì)算進(jìn)行擬合來(lái)求出折射率n2及第2預(yù)估值T2(II)。
(3)自各實(shí)施例及比較例的轉(zhuǎn)印膜上剝離保護(hù)膜,并將其切出縱橫的邊的長(zhǎng)度為10cm×10cm。經(jīng)由透明粘著帶(OCA帶8171CL:3M公司制造),使黑色PET材接觸所切出的轉(zhuǎn)印膜的臨時(shí)支撐體面來(lái)制作樣品片(第三層疊體)。使用透射型電子顯微鏡(TEM)對(duì)樣品片進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析,在10處測(cè)定第一透明樹(shù)脂層的厚度并求出平均值,且求出第一透明樹(shù)脂層的厚度的平均值的預(yù)估值T1(I)。針對(duì)樣品片,使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000,以測(cè)定點(diǎn):直徑為φ40μm,并以0.2mm間隔,在任意方向的直線(xiàn)上評(píng)價(jià)200處測(cè)定點(diǎn)(即4cm長(zhǎng))的反射光譜。在與所述直線(xiàn)方向正交的方向上每隔1cm將其分成5列,合計(jì)重復(fù)1,000處。此時(shí),因考慮到第二透明樹(shù)脂層與臨時(shí)支撐體的界面、及第二透明樹(shù)脂層與第一透明樹(shù)脂層的界面的反射,故在將所述(1)中所求出的折射率n0、所述(2)中所求出的折射率n2及第2預(yù)估值T2(II)、以及第1預(yù)估值T2(I)代入至計(jì)算式中的狀態(tài)下,根據(jù)第三層疊體的反射光譜,通過(guò)模擬計(jì)算進(jìn)行擬合來(lái)求出第一透明樹(shù)脂層的折射率n1、以及1000處測(cè)定點(diǎn)中的第二透明樹(shù)脂層及第一透明樹(shù)脂層的厚度。進(jìn)而,算出第二透明樹(shù)脂層及第一透明樹(shù)脂層的厚度的平均值、最大值、最小值及標(biāo)準(zhǔn)偏差,并求出n1、n2、T1、T2、σ1及H1。
將利用TEM對(duì)第二透明樹(shù)脂層的厚度及第一透明樹(shù)脂層的厚度進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析所獲得的預(yù)估值輸入至反射分光膜厚計(jì)中,由此可提高模擬的擬合精度。
[表2]
[表3]
[表4]
[表5]
(2.各實(shí)施例及比較例的銅箔層疊聚酰亞胺膜上的顯影性能評(píng)價(jià)·保護(hù)性能評(píng)價(jià))
進(jìn)行用以評(píng)價(jià)實(shí)施例及比較例的轉(zhuǎn)印膜的金屬配線(xiàn)部上的顯影性及對(duì)于金屬配線(xiàn)部的保護(hù)性的模型實(shí)驗(yàn)。作為金屬配線(xiàn)部的模型,使用層疊有銅箔的銅箔層疊聚酰亞胺膜(東麗(股份)制造)。
使用剝離了保護(hù)膜的各實(shí)施例及比較例的轉(zhuǎn)印膜,以第一透明樹(shù)脂層與銅箔層疊聚酰亞胺膜接觸的方式,將第一透明樹(shù)脂層、第二透明樹(shù)脂層及臨時(shí)支撐體轉(zhuǎn)印至銅箔層疊聚酰亞胺膜上(銅箔層疊聚酰亞胺膜的溫度:40℃,橡膠輥溫度:110℃,線(xiàn)壓:3N/cm,搬送速度:2m/min)。
其后,使用具有超高壓水銀燈的近接型曝光機(jī)(日立高科技電子工程(Hitachi High-Tech Electronics Engineering)(股份)制造),將曝光掩模(具有外涂層形成用圖案的石英曝光掩模)面與臨時(shí)支撐體之間的距離設(shè)定成125μm,隔著臨時(shí)支撐體以100mJ/cm2(i射線(xiàn))的曝光量進(jìn)行圖案曝光。將臨時(shí)支撐體剝離后,利用碳酸鈉2%水溶液在32℃下進(jìn)行60秒清洗處理來(lái)進(jìn)行顯影。自超高壓清洗噴嘴對(duì)清洗處理后的銅箔層疊聚酰亞胺膜噴射超純水,由此去除殘?jiān)@^而,吹送空氣來(lái)去除基材上的水分,然后在145℃下進(jìn)行30分鐘的后烘烤處理。如此,對(duì)在銅箔層疊聚酰亞胺膜上形成有第一透明樹(shù)脂層、在第一透明樹(shù)脂層的與銅箔層疊聚酰亞胺膜相反側(cè)形成有第二透明樹(shù)脂層的層疊體進(jìn)行了制膜。
再者,在比較例2的轉(zhuǎn)印膜中,以第二透明樹(shù)脂層與銅箔層疊聚酰亞胺膜接觸的方式,將第二透明樹(shù)脂層及臨時(shí)支撐體轉(zhuǎn)印至銅箔層疊聚酰亞胺膜上。在比較例2中,對(duì)在銅箔層疊聚酰亞胺膜上形成有第二透明樹(shù)脂層、在第二透明樹(shù)脂層的與銅箔層疊聚酰亞胺膜相反側(cè)形成有臨時(shí)支撐體的層疊體進(jìn)行了制膜。以下,關(guān)于各實(shí)施例及比較例的轉(zhuǎn)印膜的說(shuō)明之中,針對(duì)比較例2省略第一透明樹(shù)脂層的記載。
<顯影性的評(píng)價(jià)>
利用目視及光學(xué)顯微鏡觀(guān)察通過(guò)所述方法,以第一透明樹(shù)脂層與銅箔層疊聚酰亞胺膜接觸的方式,使第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層層疊于銅箔層疊聚酰亞胺膜上,并進(jìn)行曝光·顯影而成的層疊體,由此評(píng)價(jià)顯影性。A為實(shí)用水平。將評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表7中。
[評(píng)價(jià)基準(zhǔn)]
A:在目視下,在未曝光部中無(wú)法確認(rèn)到殘?jiān)?/p>
B:在目視下,在未曝光部中可確認(rèn)到殘?jiān)?/p>
C:在未曝光部中存在未被顯影的部分,在目視下可確認(rèn)到許多殘?jiān)?/p>
D:無(wú)法自基板上剝離臨時(shí)支撐體,而無(wú)法評(píng)價(jià)顯影性。
<保護(hù)性的評(píng)價(jià)>
通過(guò)所述方法,以第一透明樹(shù)脂層與銅箔層疊聚酰亞胺膜接觸的方式,使第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層層疊于銅箔層疊聚酰亞胺膜上,進(jìn)行曝光·顯影后進(jìn)行后烘烤,以目視對(duì)銅箔層疊聚酰亞胺膜的色澤進(jìn)行觀(guān)察,由此評(píng)價(jià)保護(hù)性。銅箔層疊聚酰亞胺膜在后烘烤前為淡米色,但若受到由后烘烤所產(chǎn)生的影響而在表面生成氧化銅、硫化銅等的皮膜,則因其干涉效應(yīng)而導(dǎo)致外觀(guān)如下般變化:淡米色→橙色→紫紅色→帶有綠色的紫色→淡藍(lán)色。對(duì)應(yīng)于其程度而如下述般進(jìn)行評(píng)價(jià)。A~C為實(shí)用水平,優(yōu)選為A或B,更優(yōu)選為A。將評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表7中?!捌毓獠俊睘樵阢~箔層疊聚酰亞胺膜上層疊有第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層的部分,“未曝光部”為銅箔層疊聚酰亞胺膜露出的部分。
[評(píng)價(jià)基準(zhǔn)]
A:在曝光部、未曝光部中,色澤均大致無(wú)變化(淡米色)。
B:曝光部無(wú)色澤的變化,未曝光部的一部分或整體的色澤略微變化(米色或紫紅色)。
C:曝光部無(wú)色澤的變化,未曝光部的一部分色澤大幅度變化(帶有綠色的紫色或淡藍(lán)色)。
D:曝光部無(wú)色澤的變化,未曝光部的整體的色澤大幅度變化(帶有綠色的紫色或淡藍(lán)色)。
E:在曝光部、未曝光部中,色澤均大幅度變化(帶有綠色的紫色或淡藍(lán)色)
(3.用于層疊體制作的透明電極圖案膜的制作)
<透明膜的形成>
使用高頻振蕩機(jī),并利用直徑為1.2mm的線(xiàn)狀電極,在電極長(zhǎng)度為240mm、工作電極間為1.5mm的條件下,以100%的輸出電壓、250W的輸出功率對(duì)膜厚為38μm、折射率為1.53的環(huán)烯烴樹(shù)脂膜進(jìn)行3秒電暈放電處理,而進(jìn)行表面改性。將所獲得的膜設(shè)為透明膜基板。
繼而,使用狹縫狀噴嘴,將下述表6中所示的材料-C的材料涂敷于透明膜基板上后,進(jìn)行紫外線(xiàn)照射(累計(jì)光量為300mJ/cm2),并在約110℃下進(jìn)行干燥。如此,在透明膜基板上對(duì)折射率為1.60、膜厚為80nm的透明膜進(jìn)行了制膜。
再者,表6中,原材料欄中所記載的%表示各原材料中所包含的化合物的含有率(質(zhì)量%),材料-C的欄中所記載的數(shù)值表示各原材料的含量(質(zhì)量份)。
[表6]
<透明電極層的形成>
將以上所獲得的在透明膜基板上層疊有透明膜的膜導(dǎo)入至真空室內(nèi),使用SnO2含有率為10質(zhì)量%的ITO靶材(銦:錫=95:5(摩爾比)),并通過(guò)DC(直流)磁控濺鍍(條件:透明膜基板的溫度為150℃,氬壓為0.13Pa,氧壓為0.01Pa)來(lái)形成厚度為40nm、折射率為1.82的ITO薄膜。如此,獲得在透明膜基板上形成有透明膜與透明電極層的膜。ITO薄膜的表面電阻為80Ω/□。
<蝕刻用感光性膜E1的制備>
使用狹縫狀噴嘴,將包含下述的配方H1的熱塑性樹(shù)脂層用涂布液涂布于厚度為75μm的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯膜即臨時(shí)支撐體上,并進(jìn)行干燥。繼而,涂布包含下述的配方P1的中間層用涂布液,并進(jìn)行干燥。進(jìn)而,涂布包含下述的配方E1的蝕刻用光硬化性樹(shù)脂層用涂布液,并進(jìn)行干燥。如此,在臨時(shí)支撐體上形成包含干燥膜厚為15.1μm的熱塑性樹(shù)脂層、干燥膜厚為1.6μm的中間層、及膜厚為2.0μm的蝕刻用光硬化性樹(shù)脂層的層疊體,最后將保護(hù)膜(厚度為12μm的聚丙烯膜)壓接于所述層疊體上。如此,制成臨時(shí)支撐體、熱塑性樹(shù)脂層、中間層(隔氧膜)、及透明硬化性樹(shù)脂層成為一體的作為轉(zhuǎn)印材料的蝕刻用感光性膜E1。
<蝕刻用光硬化性樹(shù)脂層用涂布液:配方E1>
再者,蝕刻用光硬化性樹(shù)脂層用涂布液E1的溶劑去除后的100℃的粘度為2,500Pa·sec。
<熱塑性樹(shù)脂層用涂布液:配方H1>
所述氟系聚合物為40份的C6F13CH2CH2OCOCH=CH2與55份的H(OCH(CH3)CH2)7OCOCH=CH2及5份的H(OCHCH2)7OCOCH=CH2的共聚物,且為重量平均分子量為3萬(wàn),甲基乙基酮為30質(zhì)量%的溶液(商品名:美佳法(Megafac)F780F,大日本油墨化學(xué)工業(yè)(股份)制造)。
<中間層用涂布液:配方P1>
<透明電極圖案的形成>
對(duì)在透明膜基板上形成有透明膜與透明電極層的膜進(jìn)行清洗,然后將去除了保護(hù)膜的蝕刻用感光性膜E1層壓于所述膜上(透明膜基板的溫度:130℃,橡膠輥溫度:120℃,線(xiàn)壓:100N/cm,搬送速度:2.2m/min)。將臨時(shí)支撐體剝離后,將曝光掩模(具有透明電極圖案的石英曝光掩模)面與所述蝕刻用光硬化性樹(shù)脂層之間的距離設(shè)定為200μm,并以50mJ/cm2(i射線(xiàn))的曝光量進(jìn)行圖案曝光。繼而,使用三乙醇胺系顯影液(含有30質(zhì)量%的三乙醇胺,利用純水將商品名:T-PD2(富士膠片(股份)制造)稀釋至10倍而成的液體),在25℃下進(jìn)行100秒處理,并使用含有表面活性劑的清洗液(利用純水將商品名:T-SD3(富士膠片(股份)制造)稀釋至10倍而成的液體),在33℃下進(jìn)行20秒處理,然后利用旋轉(zhuǎn)刷子、超高壓清洗液進(jìn)行殘?jiān)コ?,進(jìn)而在130℃下進(jìn)行30分鐘的后烘烤處理,而獲得在透明膜基板上形成有透明膜與透明電極層及蝕刻用光硬化性樹(shù)脂層圖案的膜。
使在透明膜基板上形成有透明膜與透明電極層及蝕刻用光硬化性樹(shù)脂層圖案的膜浸漬于加入有ITO蝕刻劑(鹽酸、氯化鉀水溶液。液溫為30℃)的蝕刻槽中,并進(jìn)行100秒處理,將未由蝕刻用光硬化性樹(shù)脂層覆蓋的露出的區(qū)域的透明電極層溶解去除。如此,獲得帶有蝕刻用光硬化性樹(shù)脂層圖案的附有透明電極圖案的膜。
繼而,使帶有蝕刻用光硬化性樹(shù)脂層圖案的附有透明電極圖案的膜浸漬于加入有抗蝕劑剝離液(N-甲基-2-吡咯烷酮、單乙醇胺、表面活性劑(商品名:薩非諾爾(surfynol)465,空氣產(chǎn)品(Air Products)(股份)制造),液溫為45℃)的抗蝕劑剝離槽中,并進(jìn)行200秒處理,將蝕刻用光硬化性樹(shù)脂層去除。如此,獲得在透明膜基板上形成有透明膜及透明電極圖案的膜。
(4.各實(shí)施例及比較例的層疊體的制作)
將各實(shí)施例及比較例的轉(zhuǎn)印膜轉(zhuǎn)印至形成有透明電極圖案的膜上。具體而言,使用剝離了保護(hù)膜的各實(shí)施例及比較例的轉(zhuǎn)印膜,以第一透明樹(shù)脂層覆蓋在透明膜基板上形成有透明膜及透明電極圖案的膜的透明膜與透明電極圖案的方式,轉(zhuǎn)印第一透明樹(shù)脂層、第二透明樹(shù)脂層及臨時(shí)支撐體(透明膜基板的溫度:40℃,橡膠輥溫度:110℃,線(xiàn)壓:3N/cm,搬送速度:2m/min)。
其后,使用具有超高壓水銀燈的近接型曝光機(jī)(日立高科技電子工程(股份)制造),將曝光掩模(具有外涂層形成用圖案的石英曝光掩模)面與臨時(shí)支撐體之間的距離設(shè)定成125μm,隔著臨時(shí)支撐體以100mJ/cm2(i射線(xiàn))的曝光量進(jìn)行圖案曝光。將臨時(shí)支撐體剝離后,利用碳酸鈉2%水溶液在32℃下進(jìn)行60秒清洗處理來(lái)進(jìn)行顯影。自超高壓清洗噴嘴對(duì)清洗處理后的透明膜基板噴射超純水,由此去除殘?jiān)@^而,吹送空氣來(lái)去除透明膜基板上的水分,然后在145℃下進(jìn)行30分鐘的后烘烤處理。如此,獲得在透明膜基板上層疊有透明膜、透明電極圖案、第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層的層疊體。再者,所述層疊體均為透明層疊體。
<透明層疊體的評(píng)價(jià)>
[透明電極圖案隠蔽性的評(píng)價(jià)]
以如下方式評(píng)價(jià)透明電極圖案隱蔽性。
首先,經(jīng)由透明粘著帶(3M公司制造,商品名,OCA帶8171CL)使所述透明層疊體的透明膜基板與黑色PET材料粘著,而對(duì)所述透明膜基板的整個(gè)表面進(jìn)行遮光。即,在透明膜的2個(gè)面之中,未層疊透明膜等的一側(cè)的面上設(shè)置黑色PET材料。
繼而,使光自透明層疊體的2個(gè)面之中,未設(shè)置黑色PET材料的一側(cè)的面入射,并觀(guān)察其反射光。具體而言,在暗室中,使用熒光燈(光源),使光自第二透明樹(shù)脂層側(cè)入射,并自斜向?qū)?lái)自所述第二透明樹(shù)脂層表面的反射光進(jìn)行目視觀(guān)察。A、B或C為實(shí)用水平,優(yōu)選為A或B,更優(yōu)選為A。將評(píng)價(jià)結(jié)果匯總于表7中。
再者,表7中,在金屬氧化物粒子及金屬氧化抑制劑的欄中記載為“無(wú)”的例子表示不含各個(gè)化合物,金屬氧化抑制劑的欄中所記載的%表示質(zhì)量%,實(shí)用水平一欄的記載表示各評(píng)價(jià)基準(zhǔn)中的實(shí)用水平。
-評(píng)價(jià)基準(zhǔn)-
A:完全看不到透明電極圖案。
B:可略微看到透明電極圖案,但幾乎看不到。
C:可看到透明電極圖案,但在實(shí)用上可容許。
D:可清楚地看到透明電極圖案(容易判明)。
[顯影性的評(píng)價(jià)]
針對(duì)使透明膜、透明電極圖案、第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層以所述層構(gòu)成層疊于透明膜基板上的透明層疊體,利用目視及光學(xué)顯微鏡觀(guān)察顯影后的殘?jiān)?,并評(píng)價(jià)顯影性。A為實(shí)用水平。將評(píng)價(jià)結(jié)果匯總于表7中。
-評(píng)價(jià)基準(zhǔn)-
A:在目視下,在未曝光部中無(wú)法確認(rèn)到殘?jiān)?/p>
B:在目視下,在未曝光部中可確認(rèn)到殘?jiān)?/p>
C:在未曝光部中存在未被顯影的部分,在目視下可確認(rèn)到許多殘?jiān)?/p>
D:無(wú)法自所轉(zhuǎn)印的轉(zhuǎn)印膜上剝離臨時(shí)支撐體,而未進(jìn)行殘?jiān)挠^(guān)察。
根據(jù)所述表7,可知實(shí)施例1~實(shí)施例17的轉(zhuǎn)印膜可無(wú)損其他性能(顯影性或圖案隱蔽性),而在曝光部及未曝光部?jī)烧咧斜Wo(hù)對(duì)象的金屬表面。
再者,通過(guò)所述層疊體中的折射率的測(cè)定方法,對(duì)各實(shí)施例及比較例測(cè)定透明層疊體中的折射率的結(jié)果,第一透明樹(shù)脂層及第二透明樹(shù)脂層的折射率的測(cè)定值分別為與轉(zhuǎn)印膜中的折射率的測(cè)定值相同的值。
另一方面,在不含金屬氧化抑制劑的比較例1中,雖然殘留有第二透明樹(shù)脂層及第一透明層樹(shù)脂層的曝光部可保護(hù)金屬表面,但在第二透明樹(shù)脂層及第一透明層樹(shù)脂層被去除的未曝光部中無(wú)法保護(hù)金屬表面。另外,在未形成第一透明樹(shù)脂層的比較例2中,在圖案隱蔽性及保護(hù)性方面變成明顯欠佳的結(jié)果。
另外,在實(shí)施例1~實(shí)施例5、實(shí)施例10~實(shí)施例13中,針對(duì)保護(hù)性的評(píng)價(jià)中所制作的后烘烤后的未曝光部,使用ULVAC-PHI公司制造的TRIFTⅡ,對(duì)透明樹(shù)脂層經(jīng)去除的區(qū)域的表面進(jìn)行分析的結(jié)果,確認(rèn)生成有Cu與苯并咪唑的絡(luò)合物離子。另外,在實(shí)施例7、實(shí)施例14~實(shí)施例17中,確認(rèn)在保護(hù)性的評(píng)價(jià)中所制作的后烘烤后的未曝光部的表面生成有Cu與各苯并三唑化合物的絡(luò)合物離子。
(圖像顯示裝置(觸摸屏)的制作)
使包含從前所制造的各實(shí)施例的透明層疊體的膜貼合于利用日本專(zhuān)利特開(kāi)2009-47936號(hào)公報(bào)的段落0097~段落0119中所記載的方法所制造的液晶顯示元件上,進(jìn)而貼合前面玻璃板,由此利用公知的方法制作具備靜電電容型輸入裝置作為構(gòu)成要素的包含各實(shí)施例的透明層疊體的圖像顯示裝置。
<靜電電容型輸入裝置及圖像顯示裝置的評(píng)價(jià)>
包含各實(shí)施例的透明層疊體的靜電電容型輸入裝置及圖像顯示裝置可將透明電極圖案的視認(rèn)性抑制成實(shí)用上無(wú)問(wèn)題的水平。
在第二透明樹(shù)脂層、第一透明樹(shù)脂層中也不存在氣泡等缺陷,可獲得顯示特性?xún)?yōu)異的圖像顯示裝置。
[符號(hào)的說(shuō)明]
1:透明基板(透明膜基板或前面板)
2:掩模層
3:透明電極圖案(第一透明電極圖案)
3a:墊部分
3b:連接部分
4:透明電極圖案(第二透明電極圖案)
5:絕緣層
6:金屬配線(xiàn)部
7:第二透明樹(shù)脂層(優(yōu)選為具有透明保護(hù)層的功能)
8:開(kāi)口部
10:靜電電容型輸入裝置
11:透明膜
12:第一透明樹(shù)脂層(可具有透明絕緣層的功能)
13:透明層疊體
14:金屬配線(xiàn)部上的一部分的區(qū)域
21:以第一透明樹(shù)脂層與透明電極圖案接觸的方式層疊有透明電極圖案與第二透明樹(shù)脂層及第一透明樹(shù)脂層的區(qū)域
22:非圖案區(qū)域
α:錐角
26:臨時(shí)支撐體
29:保護(hù)剝離層(保護(hù)膜)
31:路由配線(xiàn)的終端部
33:第一透明樹(shù)脂層與第二透明樹(shù)脂層的硬化部
34:對(duì)應(yīng)于路由配線(xiàn)的末端部的開(kāi)口部(第一透明樹(shù)脂層與第二硬化性透明樹(shù)脂層的未硬化部)