技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種二維位移測(cè)量裝置,包括:激光器,用于輸出偏振激光;分光移頻模塊,用于將偏振激光進(jìn)行分光并實(shí)現(xiàn)差動(dòng)移頻,形成至少三束光,且三束光頻率不同;匯聚模塊,用于對(duì)至少三束光進(jìn)行匯聚后入射至待測(cè)目標(biāo)上,且接收被待測(cè)目標(biāo)散射返回的激光,使返回的激光進(jìn)入激光器,以對(duì)激光器的輸出激光的光強(qiáng)進(jìn)行調(diào)制;信號(hào)檢測(cè)模塊,設(shè)置于從激光器出射的偏振激光的光路上,用于對(duì)激光器輸出激光的光強(qiáng)進(jìn)行檢測(cè)并轉(zhuǎn)換為電信號(hào);信號(hào)處理模塊,與所述信號(hào)檢測(cè)模塊連接,用于對(duì)信號(hào)檢測(cè)模塊輸出的電信號(hào)進(jìn)行處理及計(jì)算,獲得離面位移及面內(nèi)位移。本發(fā)明還提供一種位移測(cè)量方法。本發(fā)明提供的二維位移測(cè)量裝置及方法測(cè)量精度高。
技術(shù)研發(fā)人員:談宜東;郭波;朱開(kāi)毅;盧悅越;張書(shū)練
受保護(hù)的技術(shù)使用者:清華大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.25
技術(shù)公布日:2017.07.14