技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種檢測(cè)系統(tǒng)，尤其涉及一種高能束真空熔池檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)方法。包括樣品，包括視頻檢測(cè)系統(tǒng)、電子束控制系統(tǒng)、雙色溫檢測(cè)系統(tǒng)和真空室，所述的視頻檢測(cè)系統(tǒng)、電子束控制系統(tǒng)、雙色溫檢測(cè)系統(tǒng)分別與真空室相連接，所述的視頻檢測(cè)系統(tǒng)、電子束控制系統(tǒng)、雙色溫檢測(cè)系統(tǒng)分別通過(guò)總控制系統(tǒng)控制，所述的樣品設(shè)在真空室中。一種高能束真空熔池檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)方法結(jié)構(gòu)緊湊，提高檢測(cè)準(zhǔn)確性，滿足現(xiàn)有檢測(cè)需求。

技術(shù)研發(fā)人員：沈華勤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：杭州雷神激光技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼：201710187609
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.27
技術(shù)公布日：2017.06.30