1.一種高能束真空熔池檢測(cè)系統(tǒng),包括樣品(1),其特征在于:包括視頻檢測(cè)系統(tǒng)(2)、電子束控制系統(tǒng)(3)、雙色溫檢測(cè)系統(tǒng)(4)和真空室(5),所述的視頻檢測(cè)系統(tǒng)(2)、電子束控制系統(tǒng)(3)、雙色溫檢測(cè)系統(tǒng)(4)分別與真空室(5)相連接,所述的視頻檢測(cè)系統(tǒng)(2)、電子束控制系統(tǒng)(3)、雙色溫檢測(cè)系統(tǒng)(4)分別通過(guò)總控制系統(tǒng)(6)控制,所述的樣品(1)設(shè)在真空室(5)中;
所述的真空室(5)上部設(shè)有并與真空室(5)相連通的電子束焊槍管(7),所述的電子束焊槍管(7)的外端設(shè)有與電子束焊槍管(7)相連通的視頻檢測(cè)管(8),所述的視頻檢測(cè)管(8)中設(shè)有濾光鏡(9),所述的視頻檢測(cè)管(8)的外端設(shè)有視頻檢測(cè)攝像頭(10),所述的視頻檢測(cè)攝像頭(10)與視頻檢測(cè)系統(tǒng)(2)相連接,所述的電子束焊槍管(7)中設(shè)有若干反射鏡(11-1、11-2、11-3);
所述的電子束焊槍管(7)的上部設(shè)有電子束焊槍(13),所述的電子束焊槍(13)設(shè)在樣品(1)的正上方,所述的電子束焊槍(7)與電子束控制系統(tǒng)(3)連接,所述的電子束焊槍(13)形成電子束流(14),所述的電子束流(14)照射到樣品(1)表面形成焊接熔池(18);
所述的焊接熔池(18)產(chǎn)生的可見(jiàn)光線(12)通過(guò)反射鏡(11)放射、透過(guò)濾光鏡(9),讓視頻檢測(cè)攝像頭(10)采集到;
所述的真空室(5)上部設(shè)有并與真空室(5)相連通的檢測(cè)管(15),所述的檢測(cè)管(15)的上部設(shè)有雙色紅外檢測(cè)儀器(16),所述的雙色紅外檢測(cè)儀器(16)與采集樣品的表面熔池(18)輻射出紅外線(17),所述的雙色紅外檢測(cè)儀器(16)與雙色溫檢測(cè)系統(tǒng)(4)連接。
采集樣品的表面熔池(18)輻射出紅外線(17),所述的雙色紅外檢測(cè)儀器(16)與雙色溫檢測(cè)系統(tǒng)(4)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高能束真空熔池檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于:所述的反射鏡(11)的數(shù)量為3個(gè),3個(gè)反射鏡(11)呈錯(cuò)位上下分布。
3.一種根據(jù)權(quán)利要求1所述的高能束真空熔池檢測(cè)系統(tǒng)的檢測(cè)方法,其特征在于按以下步驟進(jìn)行:
(1)、裝配要求:
電子束焊槍管的高度要求:
整個(gè)真空室的大小為1400mmX700mmX400mm,放置樣品的工裝在腔體內(nèi)偏下方,在樣品的正上方裝裝電子束腔管,電子束焊槍與樣品的距離控制在160-240mm;
電子束焊槍管中反射鏡包括上反射鏡(11-1)、中反射鏡(11-2)和下反射鏡(11-3),上反射鏡與下反射鏡呈同側(cè)分布,上反射鏡位置與濾光鏡、視頻檢測(cè)攝像頭齊平,下反射鏡與中反射鏡中心位置和角度可調(diào),最終需要調(diào)試到熔池的可見(jiàn)光能水平發(fā)出并被攝像頭接受;
雙紅外檢測(cè)系統(tǒng)由于檢測(cè)儀器不能暴露在高溫環(huán)境中,所以將紅外檢測(cè)儀器安裝在腔室外面;
距離電子束腔100mm的位置,在真空室上開(kāi)一個(gè)孔安裝上透明玻璃并保持密封,將檢測(cè)管安裝在觀察窗外,檢測(cè)管中設(shè)有雙色紅外檢測(cè)儀器儀器,雙色紅外檢測(cè)儀器儀器斜角在10-45度,以檢測(cè)儀能對(duì)準(zhǔn)樣品上的熔池為準(zhǔn);
(2)檢測(cè)環(huán)境:
工作環(huán)境是高真空(真空度≤0.01Pa)狀態(tài);
高能束(電子束)焊接時(shí)焊區(qū)的局部溫度可以驟升到6000℃以上,局部的高溫會(huì)使金屬熔化揮發(fā),真空室內(nèi)有金屬微粒,因此紅外檢測(cè)儀不能放置在真空室內(nèi);
(3)、熔池形狀的檢測(cè):
采用的是攝像頭視頻檢測(cè)法:通過(guò)在電子束焊槍管內(nèi),布置若干反射鏡,使得攝像頭能夠拍到熔池正面圖片;
由于高能束熔池亮度很大,因此在光線進(jìn)入攝像頭之前采用濾光鏡對(duì)光進(jìn)行過(guò)濾,降低亮度;
在視頻檢測(cè)控制系統(tǒng)中,通過(guò)計(jì)算機(jī)軟件對(duì)圖片中熔池和非熔池區(qū)域進(jìn)行對(duì)比,確定出整個(gè)熔池的邊緣,從而提取出熔池的最大寬度和最大長(zhǎng)度;
(4)、熔池溫度檢測(cè):
電子束焊接熔池是斑點(diǎn)小,能量高,需要將紅外檢測(cè)設(shè)備放置在密封腔室外檢測(cè);
這樣紅外光透過(guò)密封玻璃傳到檢測(cè)設(shè)備使得能量會(huì)有一定的衰減;
常規(guī)方法分析:一般的輻射測(cè)溫法采用的是單色測(cè)溫法,原理是根據(jù)目標(biāo)物波段內(nèi)輻射量來(lái)計(jì)算出目標(biāo)物的溫度,因此需要要目標(biāo)物輻射范圍充滿視場(chǎng)才準(zhǔn)確測(cè)出溫度;因此單色測(cè)溫法對(duì)于檢測(cè)斑點(diǎn)小,并且能量有衰減的目標(biāo)溫度準(zhǔn)確度不高;
本發(fā)明采用雙色測(cè)溫法:檢測(cè)的是兩個(gè)不同波段輻射能量的比值,根據(jù)其比值大小計(jì)算出目標(biāo)物的溫度,當(dāng)目標(biāo)物輻射范圍過(guò)小,未充滿視場(chǎng),波能量有衰減時(shí),也能較準(zhǔn)確地計(jì)算出物的溫度;
(5)、控制:
總控制系統(tǒng)將測(cè)得的形狀參數(shù)和溫度反饋到電子束焊機(jī),從而實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)電子束流偏轉(zhuǎn)線圈和功率,對(duì)電子束流方向和密度進(jìn)行控制。