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一種懸臂梁結(jié)構(gòu)微力及微小位移傳感裝置的制作方法

文檔序號:12726702閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
光電子器件封裝過程中,陣列光纖與波導(dǎo)芯片之間相互接觸時(shí)產(chǎn)生的微力以及微位移是檢測的重點(diǎn),同時(shí)也需要考慮在檢測過程中陣列光纖與波導(dǎo)芯片之間填充UV膠后所帶來的應(yīng)力及微小位移。一種懸臂梁結(jié)構(gòu)微力及微小位移傳感裝置是基于懸臂梁結(jié)構(gòu)載荷與應(yīng)變之間的工作原理而設(shè)計(jì)的,此傳感器具有同時(shí)實(shí)現(xiàn)對力與位移同時(shí)檢測的目的。采用懸臂梁結(jié)構(gòu)是因?yàn)槠浣Y(jié)構(gòu)相對簡單,加工比較方便,在較小外力和位移的測量中應(yīng)用較多,因此采用在懸臂梁上進(jìn)行優(yōu)化改進(jìn),更易達(dá)到結(jié)構(gòu)簡單、性能優(yōu)越、效果較佳的目的。

技術(shù)研發(fā)人員:不公告發(fā)明人
受保護(hù)的技術(shù)使用者:深圳市中葛科技有限公司
文檔號碼:201710123231
技術(shù)研發(fā)日:2017.02.22
技術(shù)公布日:2017.06.27

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