技術(shù)編號:12726702
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微弱信號傳感技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種用于光電子器件封裝領(lǐng)域的微力及微小位移傳感測量裝置。背景技術(shù)光電子器件封裝時,耦合界面上微小的偏移是影響光電子性能的關(guān)鍵因素之一。由于其封裝中存在陣列波導(dǎo)芯片與光纖之間間隙難以控制、接觸時無法感知力大小的問題,導(dǎo)致光電子器件耦合間距不穩(wěn)定甚至發(fā)生損傷性碰撞,從而使得器件成品率低、性能一致性差。在實際生產(chǎn)過程中,端面之間的調(diào)整首先是實現(xiàn)兩個端面之間的準(zhǔn)靜態(tài)接觸,通過力檢測單元感觸到力后,然后在調(diào)整兩個端面之間的耦合間距,通過位移檢測單元把兩者之間的間隙控制...
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