技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種精密輪廓掃描測量裝置，該裝置包括：激光發(fā)射單元，用于產(chǎn)生激光束；掃描單元：激光束照射到MEMS振鏡上，振鏡將激光束反射，同時(shí)做掃描動作，使發(fā)射激光束的路徑呈一定張角的扇形區(qū)域；光學(xué)單元：用于聚焦激被被測物漫反射回來的激光，同時(shí)濾除環(huán)境中存在的光噪聲；接收單元：獲取光斑位置，并輸出用于計(jì)算距離。伺服單元：帶動測距功能部分，完成空間掃描功能。中央處理單元，用于協(xié)調(diào)其余各單元的工作，實(shí)時(shí)計(jì)算被測物距離。本發(fā)明采用可控MEMS振鏡作為掃描單元的掃描結(jié)構(gòu)，振鏡的高頻率、小體積的特點(diǎn)可實(shí)現(xiàn)整個(gè)測距裝置的小型化設(shè)計(jì)要求，且成本低廉，易于推廣。

技術(shù)研發(fā)人員：孫明;趙善文
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西安五湖智聯(lián)半導(dǎo)體有限公司
文檔號碼：201710106572
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.27
技術(shù)公布日：2017.06.27