1.一種精密輪廓掃描測(cè)量裝置，由激光器、MEMS掃描振鏡、位置檢測(cè)系統(tǒng)、透鏡、濾光片按照一定角度及距離安裝，其特征是：激光發(fā)射光束，其光束運(yùn)動(dòng)路徑形成扇形區(qū)域，照射扇形區(qū)域內(nèi)的被測(cè)物體，被測(cè)物體反射光束作用在位置檢測(cè)系統(tǒng)上形成光斑，再根據(jù)光斑的位置計(jì)算被測(cè)物體的距離，之后跟據(jù)各點(diǎn)的距離數(shù)據(jù)計(jì)算被測(cè)對(duì)象單線上的距離由伺服單元使得被測(cè)物體和所述裝置發(fā)生相對(duì)位置運(yùn)動(dòng)從而重構(gòu)出被測(cè)物體的輪廓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密輪廓掃描測(cè)量裝置，其特點(diǎn)在于：激光光束運(yùn)動(dòng)路徑形成扇形區(qū)域的步驟為：激光光束照射的MEMS掃描振鏡中心，由MEMS掃描振鏡的掃描動(dòng)作使反射光束路徑形成扇形區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密輪廓掃描測(cè)量裝置，其特點(diǎn)在于：被測(cè)物體反射光束作用在位置檢測(cè)器上形成光斑的步驟包括：反射經(jīng)透鏡匯聚作用及濾光片的去噪后在位置檢測(cè)器表面形成光斑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密輪廓掃描測(cè)量裝置，其特點(diǎn)在于：獲得各點(diǎn)的距離信息后，采取點(diǎn)云的拼接算法，計(jì)算被測(cè)對(duì)象的輪廓。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的精密輪廓掃描測(cè)量裝置，其特征在于：激光器發(fā)射光束、準(zhǔn)直部件與光軸與振鏡的中心同軸安裝。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的精密輪廓掃描測(cè)量裝置，其特征在于：透鏡、濾光片與位置檢測(cè)系統(tǒng)同軸且平行安裝。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密輪廓掃描測(cè)量裝置，其特征在于：掃描裝置和伺服單元發(fā)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)。