技術(shù)編號(hào)：12725843
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及激光應(yīng)用及精密測量技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于激光的MEMS掃描振鏡和位置檢測器的輪廓掃描測量系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)精密輪廓掃描測量的功能。背景技術(shù)激光由于具有單色性好、方向性強(qiáng)、亮度高等特點(diǎn)已廣泛應(yīng)用于社會(huì)生活的各個(gè)方面，而輪廓掃描測量技術(shù)更是激光應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域的一個(gè)重要方面。位置檢測器是一種光能/位置轉(zhuǎn)換器，將位置信息轉(zhuǎn)換成電學(xué)量輸出，具備精度高，響應(yīng)速度快，分辨率高和價(jià)格低的特點(diǎn)。MEMS振鏡是一種基于MEMS技術(shù)制作而成的微小可驅(qū)動(dòng)反射鏡。與傳統(tǒng)的光學(xué)掃描鏡相比，具有重量輕、體積小、易于大...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。