1.一種基于硅基懸臂梁T型結間接加熱在線式毫米波相位檢測器，其特征是：相位檢測器的實現(xiàn)結構選擇高阻Si為襯底，傳輸線材料為Au，主要由懸臂梁耦合結構(14)、T型結和間接加熱式微波功率傳感器構成；懸臂梁耦合結構(14)左右對稱，由CPW中央信號線(3)、傳輸線地線(4)、懸臂梁(5)、懸臂梁錨區(qū)(6)構成，在懸臂梁(5)的下方有一層Si3N4介電層(13)；懸臂梁耦合結構(14)的第三端口(1-3)和第四端口(1-4)分別與第一T型結的第八端口(3-1)和第二T型結的第十一端口(4-1)相連，待測信號從第三T型結的第五端口(2-1)輸入，第三T型結的第六端口(2-2)和第一T型結的第九端口(3-2)相連，第七端口(2-3)與第二T型結的第十二端口(4-2)相連，第一T型結的第十端口(3-3)接第一間接加熱式微波功率傳感器，第二T型結的第十三端口(4-3)接第二間接加熱式微波功率傳感器。
2.根據(jù)權利要求1所述的基于硅基懸臂梁T型結間接加熱在線式毫米波相位檢測器，其特征是：T型結由CPW中央信號線(3)、傳輸線地線(4)以及空氣橋(7)構成，其中空氣橋用于地線之間的互連，為了方便空氣橋的釋放，在空氣橋上制作了一組小孔陣列。
3.根據(jù)權利要求1所述的基于硅基懸臂梁T型結間接加熱在線式毫米波相位檢測器，其特征是：間接加熱式微波功率傳感器由CPW中央信號線(3)、傳輸線地線(4)、終端電阻(8)、P型半導體臂(9)、N型半導體臂(10)、熱電堆金屬互連線(11)、輸出Pad(12)構成。在終端電阻(8)和熱電堆的下方，高阻硅襯底(1)被刻蝕，形成SiO2薄膜結構，用于增大熱電堆的輸出靈敏度。