技術(shù)編號：12658260
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提出了一種基于硅基懸臂梁T型結(jié)間接加熱在線式毫米波相位檢測器，屬于微電子機械系統(tǒng)(MEMS)的技術(shù)領域。背景技術(shù)在微波技術(shù)領域，相位是表征微波信號的一個重要的參數(shù)，微波信號相位檢測系統(tǒng)在相位調(diào)制器、相移鍵控(PSK)、微波定位、天線相位方向圖的測試和近場診斷等方面都有著極其廣泛的應用。實現(xiàn)微波信號相位的在線式檢測是一個重要的課題，同終端式檢測相比，在線式檢測后的微波信號可以繼續(xù)輸入到下一級電路使用，避免了信號的浪費。在線式檢測可通過耦合部分待測信號的方式實現(xiàn)，隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，對懸臂...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。