1.一種硅基懸臂梁耦合T型結(jié)間接加熱式毫米波信號(hào)檢測(cè)儀器，其特征是：該信號(hào)檢測(cè)儀器包括傳感器、單片機(jī)和液晶顯示屏三個(gè)部分；傳感器由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)(15)、T型結(jié)、間接加熱式微波功率傳感器和開(kāi)關(guān)構(gòu)成；其中，懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)(15)上下、左右對(duì)稱，由CPW中央信號(hào)線(3)、傳輸線地線(4)、懸臂梁(5)、懸臂梁錨區(qū)(6)構(gòu)成，懸臂梁(5)置于CPW中央信號(hào)線(3)的上方，在懸臂梁(5)的下方有一層Si3N4介電層(7)覆蓋中央信號(hào)線(3)；待測(cè)信號(hào)由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)(15)的第一端口(1-1)輸入，第二端口(1-2)接第一間接加熱式微波功率傳感器；上方兩個(gè)懸臂梁(5)耦合的信號(hào)由第三端口(1-3)和第四端口(1-4)輸出，第三端口(1-3)與第一開(kāi)關(guān)(18)的第七端口(2-1)相連，第四端口(1-4)與第二開(kāi)關(guān)(19)的第十端口(3-1)相連，第一開(kāi)關(guān)(18)的第八端口(2-2)與第二間接加熱式微波功率傳感器相連，第九端口(2-3)與第一T型結(jié)的第十三端口(4-1)相連，第二開(kāi)關(guān)(19)的第十一端口(3-2)與第三間接加熱式微波功率傳感器相連，第十二端口(3-3)與第一T型結(jié)的第十四端口(4-2)相連，最后，第一T型結(jié)的第十五端口(4-3)接第四間接加熱式微波功率傳感器；下方兩個(gè)懸臂梁(5)耦合的信號(hào)由第五端口(1-5)和第六端口(1-6)輸出，第五端口(1-5)與第三T型結(jié)的第十九端口(6-1)相連，第六端口(1-6)與第四T型結(jié)的第二十二端口(7-1)相連，待測(cè)信號(hào)從第二T型結(jié)的第十六端口(5-1)輸入，第二T型結(jié)的第十七端口(5-2)與第三T型結(jié)的第二十端口(6-2)相連，第十八端口(5-3)與第四T型結(jié)的第二十三端口(7-2)相連，第三T型結(jié)的第二十一端口(6-3)接第五間接加熱式微波功率傳感器，第四T型結(jié)的第二十四端口(7-3)接第六間接加熱式微波功率傳感器；所有微波功率傳感器的輸出端都連接到MCS51單片機(jī)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于硅基懸臂梁T型結(jié)間接加熱式毫米波信號(hào)檢測(cè)器，其特征是：間接加熱式微波功率傳感器由CPW中央信號(hào)線(3)、傳輸線地線(4)、終端電阻(9)、P型半導(dǎo)體臂(10)、N型半導(dǎo)體臂(11)、熱電堆金屬互連線(12)、輸出Pad(13)構(gòu)成，用于檢測(cè)微波信號(hào)的功率大小，在終端電阻(9)和熱電堆熱端下方的Si襯底被刻蝕，用于增大傳感器的靈敏度。