技術總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量方法及測量裝置，通過調(diào)整M1反射鏡與樣品平面之間的角度，使激光束光程發(fā)生變化，從而使干涉條紋產(chǎn)生移動，再依據(jù)本發(fā)明提供的公式計算得到待測樣品的厚度；由于該測量方法需要控制的物理量僅為M1反射鏡與樣品平面之間的角度，測量誤差極小，在簡化了測量過程的同時，提高了樣品厚度測量精度；用于實現(xiàn)上述測量方法的測量裝置，由于測量原理簡單且不需要高精度的昂貴儀器，因此可以將光路組件集成在一體化的裝置內(nèi)，設計成小型化的便攜裝置。

技術研發(fā)人員：譚東杰;關國業(yè);林方
受保護的技術使用者：四川大學
文檔號碼：201710011842
技術研發(fā)日：2017.01.07
技術公布日：2017.06.20