技術(shù)編號：12710765
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光學(xué)測量技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量方法以及測量裝置。背景技術(shù)對于樣品厚度的測量，可以采用接觸式測量(例如采用游標(biāo)卡尺、螺旋測微器等儀器進(jìn)行測量)、也可以采用非接觸式測量(例如基于邁克爾遜干涉原理的測量方法)；然而在某些特殊情況下，高精度的非接觸式測量裝置具有不可替代性，例如，在玻璃儀器的制造過程中，往往需要對處于熔融狀態(tài)的玻璃進(jìn)行厚度、折射率等屬性的測量；此時，接觸式測量方法不僅可能會影響材料的形狀與結(jié)構(gòu)，而且精度十分有限。因此，不少工業(yè)生產(chǎn)需要提...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。