技術(shù)特征：

1.一種基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量方法，其特征在于利用主要由M1反射鏡、M2反射鏡、激光源、接收器件、分光板和補(bǔ)償板構(gòu)成的光路組件對樣品厚度進(jìn)行測量，所述激光源、分光板、補(bǔ)償板和M2反光鏡沿同一方向依次排列，所述分光板與補(bǔ)償板相互平行且均與M1反射鏡鏡面成45°夾角；用于放置樣品的載物臺(tái)位于M1反射鏡和分光板之間；樣品厚度采用包括以下步驟的方法進(jìn)行測量：

S1，將待測樣品放置到載物臺(tái)上；

S2，打開激光源，調(diào)整載物臺(tái)或者光路組件至接收器件接收到干涉條紋，記錄樣品平面與M1反射鏡鏡面相對旋轉(zhuǎn)角度α₁；

S3，繼續(xù)調(diào)整載物臺(tái)或者光路組件至接收器件接收到的干涉條紋移動(dòng)L條，記錄樣品平面與M1反射鏡鏡面相對旋轉(zhuǎn)夾角α₂；

S4，將步驟S2和步驟S3所記錄的樣品平面與M1反射鏡之間的夾角α₁、α₂以及干涉條紋移動(dòng)數(shù)L帶入以下公式計(jì)算得到待測樣品的厚度：

$x=\frac{\frac{L\mathrm{\λ}}{2}}{\left|\frac{1-\cos \[{\mathrm{\α}}_1-{\sin }^{-1}\left(\frac{{\mathrm{sin\α}}_1}{n}\right)\]}{\cos \[{\sin }^{-1}\left(\frac{{\mathrm{sin\α}}_1}{n}\right)\]}-\frac{1-\cos \[{\mathrm{\α}}_2-{\sin }^{-1}\left(\frac{{\mathrm{sin\α}}_2}{n}\right)\]}{\cos \[{\sin }^{-1}\left(\frac{{\mathrm{sin\α}}_2}{n}\right)\]}\right|}$

其中，x為待測樣品的厚度，λ為激光源的波長。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量方法，其特征在于重復(fù)步驟S1至S4若干次，得到待測樣品厚度的多組數(shù)值，對所得待測樣品厚度的多組數(shù)值計(jì)算平均值，以平均值為待測樣品的厚度。

3.一種基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于包括可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)(3)以及主要由M1反射鏡(1)、M2反射鏡(2)、激光源(5)、接收器件(6)、分光板(7)和補(bǔ)償板(8)構(gòu)成的光路組件，所述激光源(5)、分光板(7)、補(bǔ)償板(8)和M2反光鏡(2)沿同一方向依次排列，所述分光板(7)與補(bǔ)償板(8)相互平行且均與M1反射鏡鏡面成45°夾角；所述可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)(3)位于M1反射鏡(1)和分光板(7)之間；分光板(7)將激光源(5)發(fā)射的激光分為兩束，其中一束激光經(jīng)位于可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)(3)上的樣品(4)入射到M1反射鏡(1)，另一束激光經(jīng)補(bǔ)償板(8)入射到M2反光鏡(2)；由M1反光鏡(1)反射回的反射光經(jīng)可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)(3)上的樣品(4)、分光板(7)由接收器件(6)接收，由M2反光鏡(2)反射回的反射光經(jīng)補(bǔ)償板(8)再由分光板(7)反射至接收器件(6)；調(diào)整可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)(3)的旋轉(zhuǎn)角度，使兩束反射光在接收器件(6)上形成干涉條紋。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于所述接收器件(6)為接收屏。

5.一種基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于包括放置待測樣品的固定載物臺(tái)(3’)以及封裝在一殼體(13)內(nèi)的光路組件；所述光路組件主要由安裝在殼體(13)內(nèi)基座上的M1反射鏡(1)、M2反射鏡(2)、激光源(5)、接收器件(6)、分光板(7)、補(bǔ)償板(8)和微機(jī)電陀螺儀(10)構(gòu)成；所述激光源(5)、分光板(7)、補(bǔ)償板(8)和M2反光鏡(2)沿同一方向依次排列，所述分光板(7)與補(bǔ)償板(8)相互平行且均與M1反射鏡鏡面成45°夾角；所述基座與微機(jī)電陀螺儀(10)安裝在中心軸(9)上，實(shí)現(xiàn)基座旋轉(zhuǎn)與角度測量聯(lián)動(dòng)；分光板(7)將激光源(5)發(fā)射的激光分為兩束，其中一束激光經(jīng)樣品(4)入射到M1反射鏡(1)，另一束激光經(jīng)補(bǔ)償板(8)入射到M2反光鏡(2)；由M1反光鏡(1)反射回的反射光經(jīng)樣品(4)、分光板(7)由接收器件(6)接收，由M2反光鏡(2)反射回的反射光經(jīng)補(bǔ)償板(8)再由分光板(7)反射至接收器件(6)；調(diào)整殼體(13)內(nèi)的基座的旋轉(zhuǎn)角度，使接收器件(6)接收到干涉條紋；所述殼體(13)上設(shè)計(jì)有大于樣品厚度的開口，固定載物臺(tái)(3’)能使放置在其上的樣品沿開口進(jìn)入殼體(13)內(nèi)位于M1反射鏡(1)和分光板(7)之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求3或5所述基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于所述接收器件6為CCD元件；所述CCD元件為平面點(diǎn)陣電荷耦合元件或者線性電荷耦合元件。

7.根據(jù)權(quán)利要求5權(quán)利要求所述基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于所述基座通過中心軸(9)安裝在殼體(13)內(nèi)，中心軸位于殼體外的一端安裝有旋轉(zhuǎn)手柄。

8.根據(jù)權(quán)利要求5權(quán)利要求所述基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于所述微機(jī)電陀螺儀(10)和接收器件(6)分別與單片機(jī)(11)電連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于所述單片機(jī)(11)安裝在殼體(13)內(nèi)基座上；所述單片機(jī)(13)與位于殼體(13)外的顯示器件(12)電連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于所述單片機(jī)(11)與顯示器件(12)電連接，且兩者位于殼體(13)的外部。