技術總結(jié)
本實用新型公開了一種基于懸臂梁級聯(lián)結(jié)構的高精度微波功率檢測系統(tǒng)，該懸臂梁級聯(lián)結(jié)構的高精度微波功率檢測系統(tǒng)以砷化鎵為襯底，在襯底上設計有共面波導傳輸線和四個不同長度的MEMS懸臂梁：當待測微波功率較小時，由于靜電力較小，只有較長的MEMS懸臂梁臂下拉；當待測微波功率較大時，由于靜電力較大，可以使較短的MEMS懸臂梁臂下拉。根據(jù)MEMS懸臂梁的電容變化量與微波功率是一一對應的關系，就可以測量出微波信號的功率。本實用新型系統(tǒng)結(jié)構簡單，測量幅度范圍大、不消耗直流功率，且便于集成；不僅可以擴展檢測功率的動態(tài)范圍，而且還可以提高檢測功率的精度。

技術研發(fā)人員：高波;武樂樂;張藝菲;王德波
受保護的技術使用者：南京郵電大學
文檔號碼：201620758100
技術研發(fā)日：2016.07.19
技術公布日：2016.12.28