1.一種分析類金剛石膜對(duì)飛行器液壓伺服作動(dòng)器密封性能的方法，其特征在于，所述方法采用多功能離子束沉積系統(tǒng)制備若干含銀量不同的類金剛石膜，采用X射線衍射儀、能量色散譜儀、拉曼光譜、納米壓痕儀、三維白光干涉表面輪廓儀和高速往復(fù)式摩擦磨損實(shí)驗(yàn)機(jī)，分析各種類金剛石膜樣品的微觀結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能變化，探究類金剛石膜對(duì)飛行器液壓伺服作動(dòng)器密封性能的影響機(jī)理。
2.如權(quán)利要求1所述的一種分析類金剛石膜對(duì)飛行器液壓伺服作動(dòng)器密封性能的方法，其特征在于，所述方法隨類金剛石膜含銀量的不同，考察含銀量變化引起的sp2-C鍵、sp3-C鍵含量及內(nèi)應(yīng)力的變化對(duì)類金剛石膜的硬度、摩擦磨損性能的影響，揭示類金剛石膜對(duì)飛行器液壓伺服作動(dòng)器密封性能的影響機(jī)理。
3.如權(quán)利要求1所述的一種分析類金剛石膜對(duì)飛行器液壓伺服作動(dòng)器密封性能的方法，其特征在于，采用X射線衍射儀分析類金剛石膜晶體結(jié)構(gòu)，采用能量色散譜儀檢測(cè)類金剛石膜中的元素含量，采用拉曼光譜檢測(cè)類金剛石膜的價(jià)鍵結(jié)構(gòu)，采用納米壓痕儀測(cè)試類金剛石膜硬度，采用三維白光干涉表面輪廓儀測(cè)量硅基片的厚度和類金剛石膜的厚度，采用高速往復(fù)式摩擦磨損實(shí)驗(yàn)機(jī)檢測(cè)結(jié)果反映類金剛石膜與磨粒間的摩擦學(xué)性能。
4.如權(quán)利要求1所述的一種分析類金剛石膜對(duì)飛行器液壓伺服作動(dòng)器密封性能的方法，其特征在于，為探究類金剛石膜的宏觀力學(xué)性能，采用三維白光干涉表面輪廓儀測(cè)量硅基片的厚度和類金剛石膜的厚度，代入如下的Stoney公式計(jì)算出類金剛石膜的內(nèi)應(yīng)力值：
式中，tf是基體的厚度，ts是類金剛石膜的厚度，Es是基體的楊氏模量，νs為基片的泊松比，L為基片長(zhǎng)度。
5.如權(quán)利要求1所述的一種分析類金剛石膜對(duì)飛行器液壓伺服作動(dòng)器密封性能的方法，其特征在于，所述的方法包括以下步驟：
(1)類金剛石膜制備；
(2)觀察與參數(shù)測(cè)量；
(3)分析類金剛石膜的力學(xué)性能，包括硬度和摩擦磨損性能；
(4)探究類金剛石膜對(duì)飛行器液壓伺服作動(dòng)器密封性能的影響機(jī)理。
6.如權(quán)利要求5所述的一種分析類金剛石膜對(duì)飛行器液壓伺服作動(dòng)器密封性能的方法，其特征在于，步驟(1)中包括以下步驟：
(1)選用不銹鋼作為基材，將基材放入丙酮溶液中超聲波清洗；
(2)使用氮?dú)鈬姶祷谋砻嬷敝粮稍铮蠓湃胝婵斩嚯x子束沉積系統(tǒng)中待沉積；
(3)啟動(dòng)真空多離子束沉積系統(tǒng)的真空泵抽本底真空，之后啟動(dòng)高能量離子源Ar+轟擊片材表面；
(4)啟動(dòng)濺射銀靶離子源，在基材上沉積一層Ag間隔層，之后關(guān)閉濺射銀靶離子源；
(5)同時(shí)啟動(dòng)濺射銀靶離子源和濺射碳靶離子源，在基材上沉積含有銀元素的碳基薄膜，即得到類金剛石膜Ag-DLC。
7.如權(quán)利要求6所述的一種分析類金剛石膜對(duì)飛行器液壓伺服作動(dòng)器密封性能的方法，其特征在于，步驟(1)中使用的不銹鋼為440A不銹鋼，基材放入丙酮溶液中超聲波清洗的時(shí)間為20分鐘。
8.如權(quán)利要求6所述的一種分析類金剛石膜對(duì)飛行器液壓伺服作動(dòng)器密封性能的方法，其特征在于，步驟(3)中抽本底真空至1.8×10-4Pa，高能量離子源Ar+的電壓和離子束電流為5keV/20mA，高能量離子源Ar+轟擊片材表面10min。
9.如權(quán)利要求6所述的一種分析類金剛石膜對(duì)飛行器液壓伺服作動(dòng)器密封性能的方法，其特征在于，步驟(4)中濺射銀靶離子源的電壓和離子束電流為1200eV/35mA，在基材上沉積的Ag間隔層的厚度為0.2μm。
10.如權(quán)利要求6所述的一種分析類金剛石膜對(duì)飛行器液壓伺服作動(dòng)器密封性能的方法，其特征在于，步驟5)中濺射碳靶離子源的電壓和離子束電流為1300eV/80mA；濺射銀靶離子源的電壓固定為800eV，濺射銀靶離子源的離子束電流為20mA。