本發(fā)明屬于材料技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種分析類金剛石膜對飛行器液壓伺服作動器密封性能的方法。

背景技術(shù)：

液壓伺服作動器是飛行器的控制中樞，其密封性能直接影響飛行器飛行姿態(tài)的靈敏度和準(zhǔn)確性。活塞桿是作動器的驅(qū)動部件，在高溫高壓工況下，密封不好會引起漏油，磨粒進入密封圈與活塞桿之間，還會引發(fā)磨粒磨損，使作動器的工作效率降低。

飛行器工作時長期經(jīng)受這種磨損容易引發(fā)漏油影響飛控系統(tǒng)工作效率，甚至危及到正常工作。研究結(jié)果表明，活塞桿表面性能直接影響作動器的密封性能。目前，針對活塞桿表面常用的解決方法有：(1)優(yōu)化部件機構(gòu)。優(yōu)化設(shè)計和提高加工精度可降低運動副之間的摩擦，但無法消除因苛刻工況引起的磨損；(2)材料熱處理。這種方法目前技術(shù)成熟，但不能滿足部件公差和服役要求。探索一種適用于活塞桿表面改性的微米量級薄膜成為解決伺服作動器密封性能的關(guān)鍵。

密封圈和活塞桿摩擦副之間的磨損是導(dǎo)致液壓伺服作動器密封失效的主要原因。研究結(jié)果表明，活塞桿表面材料的硬度和摩擦系數(shù)是影響活塞桿表面摩擦學(xué)性能的兩個重要參數(shù)：(1)作動器工作期間，各部件運動期間承受很高的油壓和沖擊力，最高達10GPa。只有活塞桿表面硬度大于對應(yīng)的最大工作壓力，才能保證密封結(jié)構(gòu)的可靠性；(2)密封結(jié)構(gòu)摩擦副表面的摩擦系數(shù)小于0.2時，表面處于潤滑狀態(tài)下，可以有效防止磨損的發(fā)生，延長活塞桿的使用壽命。類金剛石碳膜硬度高和耐磨性能好；但純的類金剛石膜和金屬基體間結(jié)合力差，工作時容易脫落，形成碎屑影響機械運作。

伺服作動器密封失效分析：

作動器的主要作用是將飛行器控制系統(tǒng)的點指令信號，通過電液信號轉(zhuǎn)化成具有一定功率和規(guī)律的液壓信號，控制液飛行器的運行速度和姿勢。作動筒，又叫做液壓油缸或者液壓筒，主要由筒體和運動活塞兩個部分組成，活塞通過作動筒施力驅(qū)動作動器運行；活塞桿和密封結(jié)構(gòu)處的密封圈互相摩擦，把信號反饋到信號反饋裝置；通過感受活塞桿的位移或速度變化，轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電信號，形成伺服器回路。

如圖9所示，作動器通過推動油液的流動來克服載荷的壓力，油液的流動速度和流量決定活塞桿與筒體的往復(fù)運動速度和頻率，將信號傳送到信號反饋器，控制液壓系統(tǒng)的運行。作動器工作時，筒體右端固定不動，當(dāng)左邊的進油口進油，筒體左邊的油液壓力升高；油壓達到額定值后，液壓油推動活塞向右運動，和活塞相連的活塞桿帶動向右運動。進油口不斷地進油，筒體連續(xù)把油液送到筒體內(nèi)部，活塞做連續(xù)往復(fù)運動。

活塞桿的平均線速度為4.5～5.0m/s，應(yīng)力峰值為300～400MPa，工作環(huán)境溫度約為80～160℃。在筒體內(nèi)部做往復(fù)運動期間，活塞桿往往不但要承受交互變化的拉力和壓力，還要承受來自反饋裝置的沖擊載荷。作動器啟動時，信號反饋裝置給活塞桿發(fā)出信號，活塞桿做往復(fù)運動；在活塞桿做往復(fù)運動突然變向的瞬間，固體污染物和活塞桿互相摩擦，活塞桿表面承受的接觸力變大，最高可達到10GPa，極易造成磨損。

污染顆粒的硬度與系統(tǒng)磨損有著密切的關(guān)系，如果顆粒的硬度等于或小于表面的硬度，表面的磨損量??；當(dāng)顆粒硬度大于金屬表面硬度時，對金屬表面產(chǎn)生磨損。當(dāng)活塞桿表面硬度遠高于顆粒硬度時，磨損量可以忽略不計。

作動器工作時，活塞桿與密封圈高速往復(fù)運動，活塞桿伸出端容易發(fā)生磨粒磨損?？梢酝ㄟ^提高活塞桿表面耐磨性降低密封裝置的故障率。密封圈的截面直徑為2.6mm，密封圈固定的溝槽寬度為3.5mm；安裝作動器時，密封圈與活塞桿的初始配合間隙為0.6mm。在活塞桿表面制備含類金剛石膜，有望在不影響活塞桿初始配合間隙的條件下，增強活塞桿表面的耐磨性，改善作動器摩擦副的抗磨損性能。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了澄清類金剛石膜Ag-DLC對飛行器液壓伺服作動器密封性能影響的機理，本發(fā)明采用多離子束沉積系統(tǒng)技術(shù)制備了六種含銀量不同的類金剛石膜Ag-DLC。以Ag-DLC為研究對象，考察了金剛石膜對飛行器液壓伺服作動器密封性能影響的機理，系統(tǒng)闡述了碳價鍵及內(nèi)應(yīng)力的變化對薄膜力學(xué)性能的影響，力學(xué)性能包括硬度和摩擦磨損性能。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種分析類金剛石膜對飛行器液壓伺服作動器密封性能的方法，所述方法采用多功能離子束沉積系統(tǒng)制備若干含銀量不同的類金剛石膜，采用X射線衍射儀、能量色散譜儀、拉曼光譜、納米壓痕儀、三維白光干涉表面輪廓儀、高速往復(fù)式摩擦磨損實驗機，分析各種類金剛石膜樣品的微觀結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能變化，探究類金剛石膜對飛行器液壓伺服作動器密封性能的影響機理。

具體內(nèi)容包括，隨類金剛石膜含銀量的不同，考察含銀量變化引起的sp²-C鍵、sp³-C鍵含量及內(nèi)應(yīng)力的變化對類金剛石膜的硬度、摩擦磨損性能的影響，揭示類金剛石膜對飛行器液壓伺服作動器密封性能的影響機理。

其中，采用X射線衍射儀分析類金剛石膜晶體結(jié)構(gòu)變化，采用能量色散譜儀檢測類金剛石膜中的元素含量，采用拉曼光譜檢測類金剛石膜的價鍵結(jié)構(gòu)，采用納米壓痕儀測試類金剛石膜硬度，采用三維白光干涉表面輪廓儀測量硅基片的厚度和類金剛石膜的厚度，采用高速往復(fù)式摩擦磨損實驗機檢測結(jié)果反映類金剛石膜與磨粒間的摩擦學(xué)性能。

其中，為探究類金剛石膜的宏觀力學(xué)性能，采用三維白光干涉表面輪廓儀測量硅基片的厚度和類金剛石膜的厚度，代入Stoney公式計算出類金剛石膜的內(nèi)應(yīng)力值：

式中，t_f是基體的厚度，t_s是類金剛石膜的厚度，E_s是基體的楊氏模量，ν_s為基片的泊松比，L為基片長度。

所述的方法包括以下步驟：

(1)類金剛石膜制備；

(2)觀察與參數(shù)測量：采用X射線衍射儀分析類金剛石膜晶體結(jié)構(gòu)變化；采用能量色散譜儀檢測類金剛石膜中的元素含量；采用拉曼光譜檢測類金剛石膜的價鍵結(jié)構(gòu)；采用納米壓痕儀測試類金剛石膜硬度；采用三維白光干涉表面輪廓儀測量硅基片的厚度和類金剛石膜的厚度，代入Stoney公式計算出類金剛石膜的內(nèi)應(yīng)力值；采用高速往復(fù)式摩擦磨損實驗機檢測結(jié)果反映類金剛石膜與磨粒間的摩擦學(xué)性能；

(3)分析類金剛石膜的力學(xué)性能，包括硬度和摩擦磨損性能；

(4)探究類金剛石膜對飛行器液壓伺服作動器密封性能的影響機理。

其中，步驟(1)中包括以下步驟：

(1)選用440A不銹鋼作為基材，將基材放入可溶解基材表面有機污染物的丙酮溶液中超聲波清洗，超聲波震蕩可在溶液內(nèi)基材的表面形成瞬時空氣氣泡，氣泡產(chǎn)生時伴隨的高沖擊力可將基體表面污染物打碎，之后脫離基體，溶于丙酮溶液，不會對基體造成二次污染；

(2)使用氮氣等易揮發(fā)且不易與基材發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的氣體噴吹基材表面直至干燥，防止環(huán)境污染物重新附著在潮濕的基材表面，之后放入真空多離子束沉積系統(tǒng)中待沉積；

(3)啟動真空多離子束沉積系統(tǒng)的真空泵抽本底真空至1.8×10^-4Pa，之后啟動高能量離子源Ar⁺轟擊片材表面10min，高能量離子源Ar⁺的電壓和離子束電流為5keV/20mA，將腔體內(nèi)的空氣粒子抽除，防止其與稍后以離子轟擊的方式清洗基材表面的Ar⁺發(fā)生碰撞，削減Ar⁺能量，使污染物清洗不徹底。高能量離子源Ar⁺轟擊片材表面10min，經(jīng)XRD數(shù)據(jù)檢測可得，在轟擊時間為10min時，基材表面已不含氧化物等固體污染物；

(4)由于類金剛石膜與不銹鋼的晶格常數(shù)及熱膨脹系數(shù)存在較大差異，在受熱膨脹的時，二者之間的結(jié)合力將急劇減弱，甚至發(fā)生薄膜脫落，因此為了增強薄膜與基體結(jié)合力，啟動濺射銀靶離子源，濺射銀靶離子源的電壓和離子束電流為1200eV/35mA，為了保證較好的結(jié)合性，在基材上沉積一層0.2μm的Ag間隔層，之后關(guān)閉濺射銀靶離子源；

(5)同時啟動濺射銀靶離子源和濺射碳靶離子源，在兩種靶材濺射出的銀原子與碳原子的交互作用下，在基材上沉積含有銀元素及碳元素的薄膜，即得到類金剛石膜Ag-DLC，濺射碳靶離子源的電壓和離子束電流為1300eV/80mA，濺射銀靶離子源的電壓固定為800eV，濺射銀靶離子源的離子束電流為20mA，由試驗數(shù)據(jù)可知，相比較濺射銀靶離子源的離子束電流為10mA和30mA制備出來的Ag-DLC薄膜，該條件下制備出來的Ag-DLC薄膜摩擦系數(shù)和磨損率均為最低水平，摩擦學(xué)性能最好。

本發(fā)明的優(yōu)點是：本發(fā)明通過將制作的樣品進行多維度的觀察、測量和計算，從微觀角度分析研究了詮釋了類金剛石膜對飛行器液壓伺服作動器密封性能的影響機理，填補了理論和實踐空白。同時通過本發(fā)明中陳述的制備類金剛石膜的方法制備得到的Ag-DLC膜，能夠顯著提高了活塞桿表面硬度，最高可達24GPa，遠高于基體表面硬度(5GPa)；Ag-DLC膜摩擦系數(shù)在0.05到0.12間波動，起到良好的潤滑效果；Ag-DLC膜與對磨球表面形成的含Ag轉(zhuǎn)移層是薄膜低摩擦系數(shù)的主要原因，含銀量10.5％的Ag-DLC膜表現(xiàn)出最優(yōu)的摩擦學(xué)性能。在作動器工作期間，在鍍膜件接觸面產(chǎn)生的轉(zhuǎn)移層起到固體潤滑作用，膜層中的銀元素有助于改善薄膜韌性，石墨化和閃溫可降低膜層表面的摩擦系數(shù)據(jù)。

附圖說明

圖1為Ag-DLC薄膜的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為真空多離子束沉積系統(tǒng)示意圖；

圖3為五種Ag含量不同Ag-DLC薄膜的XRD譜圖；

圖4為六種含銀量不同的Ag-DLC膜的硬度(a)和內(nèi)應(yīng)力(b)；

圖5為六種含銀量Ag-DLC膜的(a)摩擦系數(shù)和(b)磨損率；

圖6為a:C-Ag_10.5％膜摩擦實驗期間的磨痕形貌照片，(a)表示摩擦15min，(b)表示摩擦30min，(c)表示摩擦45min，(d)表示摩擦45min；

圖7為a:C-Ag_10.5％膜的拉曼譜圖比較；

圖8為Ag-DLC膜改善作動器密封性能作用機理的示意圖；

圖9為作動器的工作原理圖，圖中符號說明：1、筒體；2、活塞；3、活塞桿；4、端蓋；5、密封圈；6、進出管道；7、信號接收裝置。

具體實施方式

下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步的說明：

1、類金剛石膜制備：

基材選用作動器活塞桿材料440A不銹鋼，將440A不銹鋼基材做成的30個10×10cm的片材，將基材放在丙酮溶液中超聲波清洗20分鐘，用氮氣吹干，放到真空室中待沉積。

抽本底真空到1.8×10^-4Pa后，用5keV/20mA的高能量離子源Ar⁺轟擊片材表面10min；啟動濺射銀靶離子源，電壓和離子束電流為1200eV/35mA，在基材上沉積一層厚約0.2μm的Ag間隔層。之后啟動濺射碳靶離子源，在基材上沉積一層厚為1μm的Ag-DLC薄膜；濺射碳靶的離子源電壓和離子束電流恒定為1300eV/80mA；濺射銀靶離子源電壓固定為800eV，離子束電流分別設(shè)置為0、10、20、30、40、50mA。

通過調(diào)整濺射銀靶離子源的離子束電流，得到6種含銀量不同的Ag-DLC膜，分別將它們命名為A0～A5。表1列出六種a:C-Ag_x％試樣中的銀原子百分含量。由表1可知，Ag-DLC膜中的Ag含量隨著銀靶離子束電流增加而增加。

表1六種a:C-Ag_x％試樣中銀原子百分含量

2、觀察與參數(shù)測量

利用EDS(Energy Dispersive Spectrometer，能量色散譜儀)檢測薄膜中的元素含量；用XRD分析薄膜納米銀粒徑；用拉曼光譜檢測薄膜的價鍵結(jié)構(gòu)；用納米壓痕儀測試薄膜硬度。采用三維白光干涉表面輪廓儀測量硅基片的厚度和薄膜的厚度，代入Stoney公式，計算出薄膜的內(nèi)應(yīng)力值。利用高速往復(fù)式摩擦磨損實驗機檢測結(jié)果反映薄膜與磨粒間的摩擦學(xué)性能；實驗期間，鍍膜試片固定，將ф6mm的440A鋼球放到試片上，在5N的載荷作用下讓鋼球在試片表面做往復(fù)運動；在油潤滑狀態(tài)下進行，振幅30mm，往復(fù)頻率600次/min，時間15到45min；用光學(xué)顯微鏡觀測磨痕形貌。

2.1鍍膜樣品XRD分析

圖3示出五種Ag含量不同Ag-DLC薄膜的XRD譜。由圖3可知，衍射峰寬化現(xiàn)象是由于薄膜的非晶碳特性導(dǎo)致的；銀含量低的類金剛石膜，如：試樣A1和A2，只有非晶碳的漫反射峰，沒有出現(xiàn)晶體的衍射峰。A3試樣(a:C-Ag_17.9％)的XRD譜圖中開始出現(xiàn)Ag的(111)衍射峰；銀Ag(111)晶面的衍射峰強度隨著摻雜銀含量增加呈現(xiàn)增強的趨勢。

3、分析類金剛石膜的力學(xué)性能

3.1 Ag-DLC膜的硬度分析

圖4示出六種含銀量不同的Ag-DLC膜的硬度和內(nèi)應(yīng)力變化曲線。由圖4(a)可知，Ag-DLC膜試片的硬度處于16.2-23.6GPa之間，只有銀含量少的A1試片(a:C-Ag_7.3％)硬度16.2GPa比未摻雜的A0(a:C-Ag_0％)硬度18.5GPa有所降低。試片的硬度相對于原基材440A的硬度(約7GPa)得到大幅度提高，均高于最高工作壓力(10GPa)，這樣高硬度的活塞桿表面可以避免因油壓過大導(dǎo)致的漏油密封失效。另一方面，Ag-DLC膜的硬度也遠大于油液顆粒硬度，因為顆粒主要是440A鋼的磨屑；440A鋼球的硬度比膜層硬度低，球的磨損率高于對應(yīng)的鍍膜表面。鍍膜構(gòu)件與油液顆粒摩擦?xí)r，能有效減少構(gòu)件表面出現(xiàn)劃痕的幾率。

由圖4(b)可知，隨著含銀量的增加，可以看到Ag的摻雜有效降低了薄膜的內(nèi)應(yīng)力。Ag-DLC膜樣品中薄膜內(nèi)應(yīng)力的降低，有利于避免機構(gòu)運動期間零部件表面薄膜的剝落。

3.2 Ag-DLC膜的摩擦磨損性能分析

液壓伺服作動器的磨損失效主要來源于污染物對密封結(jié)構(gòu)的破壞，通常發(fā)生在密封圈和活塞桿摩擦副之間?；钊麠U的外表面有一層薄油膜，做往復(fù)運動時，外表面附著一些顆粒污染物；污染物與油膜接觸，粘結(jié)在活塞桿表面的污染物會轉(zhuǎn)移到密封圈并聚集；活塞桿表面與密封圈嵌入顆粒之間的磨粒磨損是密封失效的主要原因。

圖5示出含銀量不同的Ag-DLC膜往復(fù)滑動45min后的穩(wěn)態(tài)摩擦系數(shù)及磨損率間的關(guān)系。由圖5(a)可知，薄膜的穩(wěn)態(tài)摩擦系數(shù)隨著含銀量的不同在0.05到0.12間波動；含銀DLC膜的摩擦系數(shù)均低于未摻雜DLC(0.17)，含銀量為10.5％薄膜(A2)的摩擦系數(shù)最低，0.04。實驗得到的Ag-DLC膜的摩擦系數(shù)均遠低于0.2，能夠起到潤滑效果。由圖5(b)可知，隨著含銀量的增加，磨損率先減小后增大，在10.5％含銀量時達到最低(3.8×10^-9mm³/N m)。銀是一種軟而韌的金屬元素，在類金剛石膜中存在的納米Ag粒子，嵌入到非晶碳網(wǎng)絡(luò)基質(zhì)中可以降低脆性，給碳基質(zhì)中內(nèi)應(yīng)力集聚的提供緩沖空間，通過提高韌性來提高膜層的摩擦學(xué)性能。

圖6示出a:C-Ag_10.5％膜(A2)四個摩擦?xí)r間段形成的磨痕形貌。由圖6a和b比較可知，隨著往復(fù)滑動摩擦?xí)r間增加，a:C-Ag_10.5％膜的磨痕和磨屑逐漸變多。在球和盤的磨痕邊緣可以看到有磨屑聚集的現(xiàn)象，并伴有轉(zhuǎn)移層形成。由圖6-c可知，薄膜的磨損加劇，在磨痕上可以看到明細的犁溝現(xiàn)象；在邊緣可以觀察到磨料堆積，膜層發(fā)生破損，轉(zhuǎn)移層變得明顯。圖6-d示出圖6-c的對偶球磨痕形貌。對偶球的磨損率高于比與其對磨的Ag-DLC膜高。原因在于440A鋼球的硬度遠低于膜層硬度。

采集球和盤的磨屑進行的能譜分析結(jié)果顯示，轉(zhuǎn)移層中有鐵、鉻、碳和銀元素，鐵、鉻元素來自440A鋼基體，碳和銀元素來自Ag-DLC膜。由此可知，轉(zhuǎn)移層是Ag-DLC膜和440A鋼基體對磨形成的。球與鍍膜表面形成的含銀轉(zhuǎn)移膜是薄膜低摩擦系數(shù)的主要原因，a:C-Ag_10.5％膜的摩擦學(xué)性能最好。

圖7示出a:C-Ag_10.5％膜的拉曼譜圖比較，從上到下分別是沉積好的薄膜、5N載荷磨痕和磨屑的拉曼譜圖。由圖7可知，拉曼譜圖中主要有兩個明顯的高斯峰：D峰和G峰，D峰與G峰的強度比(IG/ID)與微晶碳晶粒的分布有直接相關(guān)。D峰位置在1370cm^-1左右，G峰位置在1570cm^-1左右。三種譜圖具有類似的結(jié)構(gòu)，但IG/ID值有差異。薄膜的IG/ID值最低，磨屑的IG/ID的值(2.2)比磨痕的IG/ID值(2.0)高，這種變化是由sp³-C轉(zhuǎn)變?yōu)閟p²-C引起的。在兩個表面的接觸區(qū)域出現(xiàn)滑動摩擦引起的熱量累積，可能導(dǎo)致sp³-C鍵的不穩(wěn)定，部分sp³-C鍵向sp²-C鍵轉(zhuǎn)化。

D峰的強度主要表征無序金剛石碳的分布情況，非晶碳原子的間隙可以容納一部分銀粒子，這些銀粒子反過來可以改變微晶碳原子的分布。G峰的強度和sp²-C相有關(guān)，表征石墨碳的分布特點，加載磨痕處的G峰的位置向高波數(shù)方向遷移，說明磨損薄膜中的石墨含量升高，導(dǎo)致薄膜硬度降低。

4、探究類金剛石膜對飛行器液壓伺服作動器密封性能的影響機理

作動器的密封失效包含三個階段：階段I，活塞桿做回程動作，活塞桿前部的刮灰板阻擋部分大尺寸的污染物混入，但尺寸小的顆粒容易進入系統(tǒng)內(nèi)部或者隨著液壓油混入活塞桿摩擦副之間。階段II，附著在活塞桿表面的固體顆粒在往復(fù)運動期間嵌入密封圈。密封圈由保持器和滾珠構(gòu)成，保持器由塑料制成，質(zhì)地軟。油液固體顆粒主要是金屬磨屑，比塑料的強度和硬度高，在內(nèi)部高壓力作用下，容易嵌入保持器。階段III，在活塞桿往復(fù)運動期間，嵌進密封圈的固體污染物相當(dāng)于磨粒，不斷地與活塞桿相互對磨，油液顆粒在活塞桿表面產(chǎn)生磨粒磨損，持續(xù)的磨粒磨損作用在在活塞桿表面形成磨痕。這種磨損隨工作時間加劇，導(dǎo)致漏油，作動器發(fā)生密封失效故障。

圖8示出Ag-DLC膜改善作動器密封性能作用機理的示意圖。由圖8可知，上部左側(cè)為活塞桿和密封圈摩擦副的截面圖，上部右側(cè)為摩擦副的側(cè)視圖；磨粒與活塞桿表面的接觸區(qū)為關(guān)注區(qū)，下部左側(cè)為接觸區(qū)的顯微圖，右側(cè)為轉(zhuǎn)移層的顯微圖。

鑲嵌在密封圈里的磨粒和活塞桿表面相互摩擦。磨粒在Ag-DLC膜試樣表面來回摩擦?xí)r，對磨的雙方相互接觸，先使接觸表面平整，膜層元素與對磨球表面的元素相互轉(zhuǎn)移形成轉(zhuǎn)移層(下部左側(cè)圖)，形成了含有Ag、Cr、Fe以及sp³-C和sp²-C的轉(zhuǎn)移層(下部右側(cè)圖)；轉(zhuǎn)移層在界面處形成，Ag和sp²-C起到了固體潤滑的作用。適量的銀(白色顆粒)嵌入非晶態(tài)碳網(wǎng)絡(luò)基質(zhì)中，降低內(nèi)應(yīng)力起到提高韌性的作用；銀作為軟韌相在摩擦過程中起到自潤滑作用。相互接觸的上表面和轉(zhuǎn)移層中發(fā)生了石墨化，摩擦引發(fā)的閃溫導(dǎo)致sp³-C向sp²-C轉(zhuǎn)化(下部右側(cè)圖中的黃色sp³-C向藍色sp²-C轉(zhuǎn)變)。金屬相互摩擦過程中，接觸微區(qū)會出現(xiàn)閃溫，就是瞬時溫度升高。轉(zhuǎn)移層的石墨化可以起到潤滑磨損表面的效果，讓鍍有鍍膜件獲得低的摩擦系數(shù)和磨損率。

在作動器工作期間，在鍍膜件接觸面產(chǎn)生的轉(zhuǎn)移層起到固體潤滑作用，鍍有Ag-DLC膜的活塞桿表面處于潤滑狀態(tài)。膜層中的銀元素有助于提高工件的韌性，有利于避免薄膜從基層表面脫落；石墨化和閃溫可降低膜層表面的摩擦系數(shù)，讓鍍膜件表面具有優(yōu)異的摩擦學(xué)性能。

最后應(yīng)說明的是：顯然，上述實施例僅僅是為清楚地說明本發(fā)明所作的舉例，而并非對實施方式的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而由此所引申出的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明的保護范圍之中。