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片式氧傳感器芯片的制作方法

文檔序號:11946047閱讀:來源:國知局
技術總結
本發(fā)明涉及一種片式氧傳感器芯片。該片式氧傳感器芯片的氧差電池單元與發(fā)熱單元分別制作后用釬焊的方式連接。所述加熱層自上而下依次包括上絕緣層、加熱電極層、下絕緣層及加熱基底層,該加熱層可由廉價的非氧化鋯陶瓷和加熱電極制成;本發(fā)明易于實現(xiàn)片式氧傳感器芯片的批量化生產,有效解決了現(xiàn)有技術中存在的工藝難度大,制造成本高等問題,可有效提高片式氧傳感器芯片性能的一致性,降低片式氧傳感器芯片的成本。

技術研發(fā)人員:丁耀民
受保護的技術使用者:蘇州攀特電陶科技股份有限公司
文檔號碼:201610878077
技術研發(fā)日:2016.10.09
技術公布日:2016.12.07

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