技術(shù)編號(hào):11946047
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及汽車(chē)尾氣技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種片式氧傳感器芯片。背景技術(shù)隨著人們環(huán)保意識(shí)的提高,對(duì)汽車(chē)尾氣排放的要求越來(lái)越高。氧傳感器是汽車(chē)尾氣處理中的關(guān)鍵器件,而氧傳感器芯片的制備是氧傳感器生產(chǎn)中的關(guān)鍵。到目前為止國(guó)內(nèi)還沒(méi)有一家能夠大批量生產(chǎn)片式氧傳感器芯片的企業(yè)。片式氧傳感器的生產(chǎn)制備難點(diǎn)在于:(1)異質(zhì)疊層共燒:不同材料在燒結(jié)過(guò)程中由于熱膨脹系數(shù)的不匹配而最終引起芯片變形、開(kāi)裂,最終引起器件失效,目前解決該問(wèn)題的方法是:通過(guò)摻雜改性調(diào)節(jié)各層材料的熱膨脹系數(shù),改善燒結(jié)匹配問(wèn)題。例如:專(zhuān)利CN10...
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