1.一種電化學(xué)鍍銅洗邊裝置，其特征在于包括：用于抓住晶圓的側(cè)面的多個(gè)垂直夾具、布置在晶圓側(cè)邊的噴嘴、以及與噴嘴連接的洗邊溶液供給裝置；其中，垂直夾具具有中間鏤空結(jié)構(gòu)，使得垂直夾具與晶圓的側(cè)面接觸的區(qū)域?yàn)橹虚g鏤空結(jié)構(gòu)的邊框部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)鍍銅洗邊裝置，其特征在于，在所述電化學(xué)鍍銅洗邊裝置工作時(shí)，所述洗邊溶液供給裝置被提供有恒定電流，從而向所述噴嘴提供洗邊溶液以使所述噴嘴向晶圓邊緣噴灑洗邊溶液。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電化學(xué)鍍銅洗邊裝置，其特征在于，所述多個(gè)垂直夾具的數(shù)量為三個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電化學(xué)鍍銅洗邊裝置，其特征在于，所述多個(gè)垂直夾具均勻布置在晶圓周圍。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電化學(xué)鍍銅洗邊裝置，其特征在于，所述噴嘴向晶圓邊緣噴灑洗邊溶液時(shí)的洗邊溶液流速固定。
6.一種電化學(xué)鍍銅洗邊方法，其特征在于包括：采用多個(gè)垂直夾具抓住晶圓的側(cè)面，其中垂直夾具具有中間鏤空結(jié)構(gòu)，使得垂直夾具與晶圓的側(cè)面接觸的區(qū)域?yàn)橹虚g鏤空結(jié)構(gòu)的邊框部分；利用布置在晶圓側(cè)邊的噴嘴向晶圓邊緣噴灑洗邊溶液。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電化學(xué)鍍銅洗邊方法，其特征在于，所述多個(gè)垂直夾具的數(shù)量為三個(gè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的電化學(xué)鍍銅洗邊方法，其特征在于，所述多個(gè)垂直夾具均勻布置在晶圓周圍。
9.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的電化學(xué)鍍銅洗邊方法，其特征在于，所述噴嘴向晶圓邊緣噴灑洗邊溶液時(shí)的洗邊溶液流速固定。