技術總結
本發(fā)明公開了一種基于超薄硫化物薄膜的濕度傳感器及其制備方法。該傳感器包括襯底、位于襯底上的濕度敏感層以及鍍制于濕度敏感層上的叉指電極。濕度敏感層為二硫化鎢薄膜層，二硫化鎢薄膜層通過硫化金屬鎢薄膜制備而成。本發(fā)明采用超薄二硫化鎢薄膜作為濕度敏感材料，具有大的比表面積和優(yōu)異的濕敏特性，所制備的電阻型濕度傳感器具有結構簡單、易于集成、兼容柔性基底、無需加熱和功耗低的優(yōu)點，便于規(guī)模化生產(chǎn)。

技術研發(fā)人員：李春;郭華陽;蘭長勇;王帥;何天應
受保護的技術使用者：電子科技大學
文檔號碼：201610544388
技術研發(fā)日：2016.07.12
技術公布日：2016.12.21