1.一種基于超薄硫化物薄膜的濕度傳感器，其特征是，包括：
襯底、位于襯底上的濕度敏感層以及鍍制于所述濕度敏感層上的叉指電極；
所述濕度敏感層為二硫化鎢薄膜層，所述二硫化鎢薄膜層通過硫化金屬鎢薄膜制備而成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超薄硫化物薄膜的濕度傳感器，其特征是，所述二硫化鎢薄膜層通過在所述襯底上磁控濺射或電子束蒸發(fā)一層金屬鎢薄膜后，再經(jīng)過硫蒸氣硫化制得；所述二硫化鎢薄膜層的厚度為0.7～5nm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超薄硫化物薄膜的濕度傳感器，其特征是，所述襯底包括硬質(zhì)襯底和/或柔性襯底；
所述硬質(zhì)襯底為SiO2/Si、Al2O3、石英、耐高溫玻璃或耐高溫陶瓷；
所述柔性襯底為聚二甲基硅氧烷、聚酰亞胺、聚醚酰亞胺或聚對苯二甲酸乙二醇酯。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超薄硫化物薄膜的濕度傳感器，其特征是，所述叉指電極為金屬電極或透明電極；
金屬電極為鈦-金、鋁或銀電極；
透明電極為ITO、FTO或AZO電極；
電極間距為10～100μm，電極厚度為50～100nm。
5.權(quán)利要求1-4任一項所述的基于超薄硫化物薄膜的濕度傳感器的制備方法，其特征是，包括：
(一)采用磁控濺射或電子束蒸發(fā)法在襯底上形成一層鎢薄膜，鎢薄膜再經(jīng)硫蒸氣硫化后，制得二硫化鎢薄膜層；
(二)在所述二硫化鎢薄膜層上鍍制叉指電極，制得二硫化鎢薄膜濕度傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于超薄硫化物薄膜的濕度傳感器的制備方法，其特征是，步驟(一)的具體過程為：
(1)制備鎢薄膜層：
當(dāng)采用磁控濺射法時，具體步驟為：將襯底放置于磁控濺射腔體中，采用金屬鎢作為靶材，控制腔體的本底真空度低于9×10-4Pa，通入氬氣，其流量為60-90sccm，射頻功率為50～100W，濺射壓強(qiáng)為0.3～0.5Pa，濺射10～60s，制得鎢薄膜層；
當(dāng)采用電子束蒸發(fā)法時，具體步驟為：將襯底放置于電子束蒸發(fā)腔體中，控制腔體的本底真空度低于5×10-4Pa，調(diào)節(jié)電子束流為20～50mA，制得鎢薄膜層；
(2)將步驟(1)制得的鎢薄膜層置于管式爐的石英管中，將石英管中的氣壓抽至170～190Pa，并在管式爐前端通入氬氣，其流量控制為40～60sccm；在石英管前端放入硫粉，硫粉區(qū)域加熱溫度為110～130℃，管式爐中央?yún)^(qū)域在20～40min內(nèi)從室溫升高至500～700℃，并保持50～60min，再自然降溫，制得二硫化鎢薄膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于超薄硫化物薄膜的濕度傳感器的制備方法，其特征是，在步驟(1)中，所述襯底為SiO2/Si。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于超薄硫化物薄膜的濕度傳感器的制備方法，其特征是，步驟(一)還包括步驟(3)：
(3)將二硫化鎢薄膜層轉(zhuǎn)移至柔性襯底上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基于超薄硫化物薄膜的濕度傳感器的制備方法，其特征是，所述步驟(3)的具體過程為：
(31)取生長在SiO2/Si襯底上的二硫化鎢薄膜層，將質(zhì)量分?jǐn)?shù)為5％的PMMA苯甲醚溶液旋涂在二硫化鎢薄膜層表面；
(32)將步驟(31)處理后的產(chǎn)品于90～100℃下烘烤5～10min；
(33)將步驟(32)烘烤后的產(chǎn)品置于濃度為0.1％的氫氟酸溶液中反應(yīng)3～5min；
(34)將步驟(33)處理后的產(chǎn)品放入去離子水中清洗至將PMMA連同二硫化鎢薄膜層剝離下來，漂浮在去離子水中；
(35)用柔性襯底將步驟(34)中剝離的二硫化鎢薄膜撈起，并在60～80℃烘烤5min；
(36)將步驟(35)制得的產(chǎn)品放入丙酮中清洗掉表面的PMMA，制得轉(zhuǎn)移至柔性襯底上的二硫化鎢薄膜層。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基于超薄硫化物薄膜的濕度傳感器的制備方法，其特征是，所述步驟(3)的具體過程為：
(311)取生長在SiO2/Si襯底上的二硫化鎢薄膜層放置在空氣中暴露15～30天；
(322)將質(zhì)量分?jǐn)?shù)為5％的PMMA苯甲醚溶液旋涂在(311)中處理過的二硫化鎢薄膜表面，并于90～100℃下烘烤5～10min；
(333)將(322)中處理過的產(chǎn)品放置于去離子水中，通過水的表面張力使二硫化鎢薄膜層連同PMMA剝離下來并漂浮在水中；
(344)用柔性襯底將步驟(333)中剝離的二硫化鎢薄膜撈起，并在60～80℃烘烤5min；
(355)將步驟(344)制得的產(chǎn)品放入丙酮中清洗掉表面的PMMA，制得轉(zhuǎn)移至柔性襯底上的二硫化鎢薄膜層。