技術(shù)編號(hào)：12466361
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種濕度傳感器及其制備方法，具體涉及一種基于超薄硫化物薄膜的濕度傳感器及其制備方法。背景技術(shù)濕度傳感器在工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療衛(wèi)生、環(huán)境監(jiān)測及現(xiàn)代家居等各方面都有著重要意義。傳統(tǒng)的濕度傳感器主要有毛發(fā)濕度計(jì)和干濕球濕度計(jì)，雖然現(xiàn)階段仍被使用，但由于其器件體積大、測量信號(hào)延遲嚴(yán)重、難以與電子電路集成等缺點(diǎn)，嚴(yán)重限制了該類濕度傳感器的廣泛應(yīng)用。現(xiàn)階段，新型的濕度傳感器主要包括電阻型濕度傳感器、電容型濕度傳感器、光纖濕度傳感器和質(zhì)量型濕度傳感器等。電阻型濕度傳感器主要基于濕度敏感材料在不同濕度環(huán)境...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。