技術(shù)總結(jié)
提供了一種能夠大量供給等離子氣體以使等離子穩(wěn)定并同時(shí)降低試樣稀釋率以提高檢測(cè)靈敏度的放電離子化電流檢測(cè)器。用于供給還用作稀釋氣體的等離子氣體的氣體供給管(7)連接至位于具有用于生成等離子的電極(4～6)的第一氣體通路(3)與具有用于檢測(cè)離子的電極(16和17)的第二氣體通路的連接部附近的位置處。第一氣體排出管(8)連接至第一氣體通路(3)的另一端，并且第二氣體排出管(13)連接至第二氣體通路(11)的另一端。在氣體排出管(8和13)中分別設(shè)置流量控制器(9和14)?？梢元?dú)立地調(diào)節(jié)通過等離子生成區(qū)域的氣體的流量和通過離子電流檢測(cè)區(qū)域的氣體的流量。因此，例如，可以增大前者的流量以使等離子穩(wěn)定，同時(shí)減小后者的流量以提高針對(duì)低濃度試樣的檢測(cè)靈敏度。

技術(shù)研發(fā)人員：品田惠;堀池重吉;西本尚弘
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社島津制作所
文檔號(hào)碼：201610542019
技術(shù)研發(fā)日：2011.01.31
技術(shù)公布日：2016.12.21