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放電離子化電流檢測(cè)器的制作方法

文檔序號(hào):12466460閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種放電離子化電流檢測(cè)器,其包括:第一氣體通路,用于使等離子氣體通過;等離子生成器,用于利用低頻交流電場(chǎng)在所述第一氣體通路中產(chǎn)生介質(zhì)阻擋放電,以從所述等離子氣體生成等離子;從所述第一氣體通路連續(xù)延伸出的第二氣體通路;以及電流檢測(cè)器,用于在所述第二氣體通路中檢測(cè)由于試樣氣體中的試樣成分通過所述等離子的作用而被離子化所產(chǎn)生的離子電流,所述放電離子化電流檢測(cè)器還包括:

a)等離子氣體供給口和等離子氣體排出口,用于使等離子氣體通過所述第一氣體通路,其中,所述等離子氣體供給口被設(shè)置在所述第一氣體通路中由所述等離子生成器生成等離子的等離子生成區(qū)域的一側(cè),并且所述等離子氣體排出口被設(shè)置在所述第一氣體通路中所述等離子生成區(qū)域的另一側(cè);

b)試樣氣體注入器,用于將試樣氣體供給至所述第二氣體通路中;

c)稀釋氣體供給口和稀釋氣體排出口,用于在稀釋所述試樣氣體之后使所述試樣氣體通過所述第二氣體通路,其中,所述稀釋氣體供給口被設(shè)置在所述第二氣體通路中由所述電流檢測(cè)器檢測(cè)離子電流的電流檢測(cè)區(qū)域的一側(cè),并且所述稀釋氣體排出口被設(shè)置在所述第二氣體通路中所述電流檢測(cè)區(qū)域的另一側(cè);以及

d)流量控制器,其分別設(shè)置在所述等離子氣體供給口和所述稀釋氣體供給口,或者分別設(shè)置在所述等離子氣體排出口和所述稀釋氣體排出口,以根據(jù)所述試樣氣體的種類和/或濃度來獨(dú)立地控制通過所述等離子生成區(qū)域的氣體的流量和通過所述電流檢測(cè)區(qū)域的氣體的流量,從而使得上述放電離子化電流檢測(cè)器能夠應(yīng)用于寬的試樣濃度范圍的測(cè)量。

2.一種放電離子化電流檢測(cè)器,其包括:等離子生成器,用于利用低頻交流電場(chǎng)在氣體通路中產(chǎn)生介質(zhì)阻擋放電,以從等離子氣體生成等離子;和電流檢測(cè)器,用于在位于所述等離子生成器下游側(cè)的所述氣體通路中,檢測(cè)由于試樣氣體中的試樣成分通過所述等離子的作用而被離子化所產(chǎn)生的離子電流,所述放電離子化電流檢測(cè)器還包括:

a)等離子氣體供給口,用于使等離子氣體通過所述氣體通路,其中,所述等離子氣體供給口被設(shè)置在與由所述電流檢測(cè)器檢測(cè)離子電流的電流檢測(cè)區(qū)域相對(duì)的、由所述等離子生成器生成等離子的等離子生成區(qū)域的一側(cè);

b)氣體分離排出口,用于將所述等離子氣體的一部分從所述氣體通路的位于所述等離子生成區(qū)域和所述電流檢測(cè)區(qū)域之間的空間排出;

c)試樣氣體注入器,用于將試樣氣體供給至所述氣體通路的位于所述氣體分離排出口和所述電流檢測(cè)區(qū)域之間的區(qū)域中;

d)氣體排出口,其設(shè)置在所述氣體通路的位于所述電流檢測(cè)區(qū)域下游側(cè)的區(qū)域中;以及

e)流量控制器,其分別設(shè)置在所述氣體分離排出口和所述氣體排出口,以根據(jù)所述試樣氣體的種類和/或濃度來獨(dú)立地控制通過所述等離子生成區(qū)域的氣體的流量和通過所述電流檢測(cè)區(qū)域的氣體的流量,從而使得上述放電離子化電流檢測(cè)器能夠應(yīng)用于寬的試樣濃度范圍的測(cè)量。

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