本發(fā)明是有關(guān)于一種光學(xué)檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體芯片是在一半導(dǎo)體晶圓上形成集成電路而形成。半導(dǎo)體芯片最上層的表面通常會(huì)沉積一層保護(hù)層作為保護(hù)。保護(hù)層可防止半導(dǎo)體芯片受到非期望的水氣與離子污染物的損害。晶圓可使用檢測(cè)裝置以檢測(cè)保護(hù)層的厚度與均勻度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的一方面提供一種光學(xué)檢測(cè)裝置，包含分光鏡、第一光源與第一影像擷取裝置。分光鏡具有相對(duì)的第一側(cè)與第二側(cè)。分光鏡讓第一光束穿透并反射第二光束，且第二光束的波長(zhǎng)不同于第一光束的波長(zhǎng)。第一光源置于分光鏡的第一側(cè)，用以提供第一光束以穿透分光鏡。第一影像擷取裝置置于分光鏡的第二側(cè)，用以偵測(cè)自分光鏡反射的第二光束。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第一光源與第一影像擷取裝置為同軸設(shè)置。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，分光鏡為帶通濾波元件或短通濾波元件。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第一光束的波長(zhǎng)短于第二光束的波長(zhǎng)。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第一光束為紫外光，且第二光束為可見光。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，光學(xué)檢測(cè)裝置還包含濾波元件，置于分光鏡與第一影像擷取裝置之間，以阻擋第一光束并讓第二光束通過。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第一光源提供第一光束至檢測(cè)位置，且第一影像擷取裝置偵測(cè)來自檢測(cè)位置的第二光束，且光學(xué)檢測(cè)裝置還包含第二光源，用以提供第三光束沿著一路徑至檢測(cè)位置，該路徑與分光鏡相隔開。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第二光源為環(huán)形光源。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第二光源環(huán)繞由第一光源與分光鏡形成的光軸。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第三光束為可見光。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第一光源提供第一光束至檢測(cè)位置，且第一影像擷取裝置偵測(cè)來自檢測(cè)位置的第二光束，且光學(xué)檢測(cè)裝置還包含第二光源，用以提供第三光束沿著一路徑至檢測(cè)位置，分光鏡置于該路徑上。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第二光源為環(huán)形光源。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第二光源環(huán)繞第一影像擷取裝置。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第三光束為可見光。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第一光源提供第一光束至檢測(cè)位置，第一影像擷取裝置偵測(cè)來自檢測(cè)位置的第二光束，且光學(xué)檢測(cè)裝置還包含第二影像擷取裝置，用以斜向擷取檢測(cè)位置的影像。第二影像擷取裝置具有一視野，該視野未覆蓋至少部分的分光鏡與至少部分的第一影像擷取裝置。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第一影像擷取裝置為彩色相機(jī)，且具有調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)，于每毫米約50對(duì)黑白條紋線至每毫米約25對(duì)黑白條紋線時(shí)，調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)的值的范圍為約30％至約100％。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，第一影像擷取裝置為單色相機(jī)，且具有調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)，于每毫米約20對(duì)黑白條紋線至每毫米約14.2對(duì)黑白條紋線時(shí)，調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)的值的范圍為約30％至約100％。

本發(fā)明的另一方面提供一種光學(xué)檢測(cè)裝置，包含第一光源、分光鏡、第一影像擷取裝置與第二光源。第一光源提供第一光束至檢測(cè)位置。第一光束與檢測(cè)位置形成光軸。分光鏡置于光軸上，且具有相對(duì)的第一側(cè)與第二側(cè)。第一光束自第一側(cè)穿透分光鏡至檢測(cè)位置。第一影像擷取裝置置于光軸外，用以偵測(cè)自分光鏡的第二側(cè)反射的第二光束。第二光束來自檢測(cè)位置，且第二光束的波長(zhǎng)不同于第一光束的波長(zhǎng)。第一光源與第一影像擷取裝置是同軸設(shè)置。第二光源用以提供第三光束至檢測(cè)位置。第三光束的路徑與分光鏡相隔開。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，光學(xué)檢測(cè)裝置還包含第三光源，用以提供第四光束至檢測(cè)位置。第三光源環(huán)繞第一影像擷取裝置設(shè)置。

在一或多個(gè)實(shí)施方式中，光學(xué)檢測(cè)裝置還包含第二影像擷取裝置，用以擷取檢測(cè)位置的影像。第二影像擷取裝置具有一視野，該視野未覆蓋至少部分的分光鏡、至少部分的第一影像擷取裝置與至少部分的第二光源。

因上述實(shí)施方式的光學(xué)檢測(cè)裝置利用分光鏡以整列第一光束與第二光束 的光路徑，因此第一光束與第二光束可具有較低或甚至實(shí)質(zhì)為零的能量損失。另外，因第一影像擷取裝置偵測(cè)自分光鏡反射的第二光束，因此待測(cè)物的影像不會(huì)有像差(chromaticaberration)的問題。因此，不需執(zhí)行影像補(bǔ)償程序即可直接分析影像。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一實(shí)施方式的光學(xué)檢測(cè)裝置的示意圖；

圖2為圖1的分光鏡在一些實(shí)施方式的穿透頻譜圖；

圖3為本發(fā)明另一實(shí)施方式的光學(xué)檢測(cè)裝置的示意圖；

圖4為本發(fā)明再一實(shí)施方式的光學(xué)檢測(cè)裝置的示意圖；

圖5為本發(fā)明又一實(shí)施方式的光學(xué)檢測(cè)裝置的示意圖。

具體實(shí)施方式

以下將以附圖揭露本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施方式，為明確說明起見，許多實(shí)務(wù)上的細(xì)節(jié)將在以下敘述中一并說明。然而，應(yīng)了解到，這些實(shí)務(wù)上的細(xì)節(jié)不應(yīng)用以限制本發(fā)明。也就是說，在本發(fā)明部分實(shí)施方式中，這些實(shí)務(wù)上的細(xì)節(jié)是非必要的。此外，為簡(jiǎn)化附圖起見，一些已知慣用的結(jié)構(gòu)與元件在附圖中將以簡(jiǎn)單示意的方式繪示。

圖1為本發(fā)明一實(shí)施方式的光學(xué)檢測(cè)裝置的示意圖。光學(xué)檢測(cè)裝置包含分光鏡110、第一光源120與第一影像擷取裝置130。分光鏡110具有相對(duì)的第一側(cè)112與第二側(cè)114。分光鏡110讓第一光束122穿透并反射第二光束912，且第二光束912的波長(zhǎng)不同于第一光束122的波長(zhǎng)。第一光源120置于分光鏡110的第一側(cè)112，用以提供第一光束122以穿透分光鏡110。第一影像擷取裝置130置于分光鏡110的第二側(cè)114，用以偵測(cè)自分光鏡110反射的第二光束912。

在一些實(shí)施方式中，光學(xué)檢測(cè)裝置可檢測(cè)具有波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換層(未繪示)的待測(cè)物910。波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換層可將第一光束122轉(zhuǎn)換成第二光束912。如此一來，在檢測(cè)時(shí)，第一光源120射出第一光束122，其穿透分光鏡110并打至待測(cè)物910上。待測(cè)物910的波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換層將第一光束122轉(zhuǎn)換成第二光束912，且第二光束912傳播回分光鏡110。分光鏡110接著將第二光束912反射至第一影像擷 取裝置130，使得第一影像擷取裝置130可接收到待測(cè)物910的影像。

因本實(shí)施方式的光學(xué)檢測(cè)裝置利用分光鏡110以整列第一光束122與第二光束912的光路徑，因此第一光束122與第二光束912可具有較低或甚至實(shí)質(zhì)為零的能量損失。換言之，第一光束122與第二光束912的能量可被有效地利用。另外，因第一影像擷取裝置130偵測(cè)自分光鏡110反射的第二光束912，因此待測(cè)物910的影像不會(huì)有像差(chromaticaberration)的問題，其中像差問題肇因于一光束穿透一介質(zhì)時(shí)產(chǎn)生的光色散。因此，不需執(zhí)行影像補(bǔ)償程序即可直接分析影像。

在一些實(shí)施方式中，分光鏡110可為短通(short-pass)濾波元件或者為帶通(band-pass)濾波元件，其可由一短通濾波元件與一長(zhǎng)通(long-pass)濾波元件結(jié)合而成。短通濾波元件讓一特定波長(zhǎng)以下的光通過，且反射(或阻擋)該波長(zhǎng)以上的光。長(zhǎng)通濾波元件讓一特定波長(zhǎng)以上的光通過，且反射(或阻擋)該波長(zhǎng)以下的光。帶通濾波元件讓一特定波長(zhǎng)范圍以內(nèi)的光通過，且反射(或阻擋)該波長(zhǎng)范圍以外的光。

圖2為圖1的分光鏡110在一些實(shí)施方式的穿透頻譜圖。請(qǐng)一并參照?qǐng)D1與圖2。在圖2中，分光鏡為一短通濾波元件，其讓一波長(zhǎng)λ0以下的光通過，并反射(或阻擋)該波長(zhǎng)λ0以上的光。在一些實(shí)施方式中，第一光束122的波長(zhǎng)可低于波長(zhǎng)λ0，而第二光束912的波長(zhǎng)可高于波長(zhǎng)λ0。換言之，第一光束122的波長(zhǎng)短于第二光束912的波長(zhǎng)。如圖2所示，低于波長(zhǎng)λ0的光具有高穿透率，例如實(shí)質(zhì)為100％，而高于波長(zhǎng)λ0的光具有低穿透率，例如實(shí)質(zhì)為0％。也就是說，對(duì)于分光鏡110而言，第一光束122具有高穿透率，而第二光束912具有低穿透率(或高反射率)。因此，第一光束122與第二光束912可具有低(甚至是零)能量損失。分光鏡110的穿透頻譜圖僅為例示，并非用于限制本發(fā)明。本領(lǐng)域具通常知識(shí)者可視實(shí)際情形而選擇分光鏡110的穿透頻譜。

請(qǐng)參照?qǐng)D1。在一些實(shí)施方式中，第一光束122為紫外光，亦即第一光源120為紫外光源，而第二光束912為可見光，例如為藍(lán)光。然而本發(fā)明不以此為限。

在一些實(shí)施方式中，待測(cè)物910可為印刷電路板(printedcircuitboard,pcb)或晶圓(wafer)，而其中的波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換層可為保護(hù)層，以保護(hù)形成于其下的電路。本實(shí)施方式的光學(xué)檢測(cè)裝置可量測(cè)保護(hù)層的厚度與或均勻度。為了量測(cè)保護(hù)層 的厚度，多個(gè)波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換材料可加入保護(hù)層中。當(dāng)短波長(zhǎng)的入射光照射至待測(cè)物910時(shí)，其中的波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換材料會(huì)產(chǎn)生長(zhǎng)波長(zhǎng)的光。長(zhǎng)波長(zhǎng)的光的強(qiáng)度取決于保護(hù)層的厚度，而其光分布則取決于保護(hù)層的均勻度。在一些實(shí)施方式中，波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換材料為熒光材料，其可吸收短波長(zhǎng)的光(如紫外光)，而射出長(zhǎng)波長(zhǎng)的光(如可見光)，然而本發(fā)明的范疇不以此為限。

在一些實(shí)施方式中，光學(xué)檢測(cè)裝置還包含濾波元件170，置于分光鏡110與第一影像擷取裝置130之間，以阻擋第一光束122，而讓第二光束912穿透。舉例而言，濾波元件170可置于第一影像擷取裝置130的收光面132。若第一光束122為紫外光，則濾波元件170可為紫外光濾波元件(ultravioletcutfilter)。因?yàn)V波元件170可阻擋第一光束122，第一影像擷取裝置130所偵測(cè)的影像則不包含第一光束122的雜訊。

在圖1中，第一光源120提供第一光束122至一檢測(cè)位置900。待測(cè)物910置于檢測(cè)位置900，而第一影像擷取裝置130則偵測(cè)來自置于檢測(cè)位置900的待測(cè)物910的第二光束912。在圖1中，第一光源120與檢測(cè)位置900形成一光軸o，而分光鏡110置于光軸o上?；蛘撸谝还庠?20與分光鏡110形成光軸o。第一光束122沿著光軸o傳播。

在一些實(shí)施方式中，第一光源120與第一影像擷取裝置130為同軸設(shè)置。亦即，第一光源120與第一影像擷取裝置130共享至少一部分的共同光路。舉例而言，第一光源120與第一影像擷取裝置130共享位于分光鏡110與檢測(cè)位置900之間的部分光軸o，而第一影像擷取裝置130則置于光軸o外。藉由如此的設(shè)置，第一光束122可正向地入射待測(cè)物910，而第一影像擷取裝置130可偵測(cè)自待測(cè)物910反射的正向光(亦即第二光束912)。根據(jù)菲涅爾(fresnel)公式，正向光具有較斜向光穩(wěn)定(或低)的反射率。因此，同軸設(shè)置可更降低第一光束122與第二光束912的能量損失。

在一些實(shí)施方式中，第一影像擷取裝置130為彩色相機(jī)，并具有一調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)(modulationtransferfunction,mtf)。詳細(xì)而言，第一影像擷取裝置130可包含鏡頭與影像感應(yīng)元件。鏡頭可將進(jìn)入第一影像擷取裝置130的光束聚焦至影像感應(yīng)元件。此處所指的調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)具體為彩色相機(jī)的鏡頭的調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)。于每毫米約50對(duì)黑白條紋線((linepair)/mm，lp/mm)(對(duì)應(yīng)至約10微米的解析度)至每毫米約25對(duì)黑白條紋線(對(duì)應(yīng)至約20微米的解析度)時(shí)，調(diào)制轉(zhuǎn) 換函數(shù)的值(module或magnitude)的范圍為約30％至約100％。舉例而言，于每毫米約33.3對(duì)黑白條紋線(對(duì)應(yīng)至約15微米的解析度)時(shí)，調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)的值的范圍大于30％。彩色相機(jī)可包含光感測(cè)元件與置于光感測(cè)元件前的彩色濾光片，而本發(fā)明的范疇不限于此。如此的設(shè)置使得第一影像擷取裝置130具有足夠高的解析度以決定其偵測(cè)影像的第二光束912的強(qiáng)度，但不會(huì)過高以至于突顯偵測(cè)影像的背景。

在一些其他的實(shí)施方式中，第一影像擷取裝置130為單色相機(jī)，并具有一調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)。此處所指的調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)具體為單色相機(jī)的鏡頭的調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)。于每毫米約20對(duì)黑白條紋線(對(duì)應(yīng)至約25微米的解析度)至每毫米約14.2對(duì)黑白條紋線(對(duì)應(yīng)至約35微米的解析度)時(shí)，調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)的值的范圍為約30％至約100％。舉例而言，于每毫米約16.7對(duì)黑白條紋線(對(duì)應(yīng)至約30微米的解析度)時(shí)，調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)的值的范圍大于30％。在一些實(shí)施方式中，單色相機(jī)可為一光感測(cè)元件以偵測(cè)光的強(qiáng)度且以灰度(grayscale)表現(xiàn)影像。如此的設(shè)置使得第一影像擷取裝置130具有足夠高的解析度以決定其偵測(cè)影像的第二光束912的強(qiáng)度，但不會(huì)過高以至于突顯偵測(cè)影像的背景。

圖3為本發(fā)明另一實(shí)施方式的光學(xué)檢測(cè)裝置的示意圖。圖3與圖1的光學(xué)檢測(cè)裝置的不同處在于第二光源140與第三光源150的存在。在圖3中，光學(xué)檢測(cè)裝置還包含第二光源140以提供第三光束142沿著路徑p1而到檢測(cè)位置900，其中分光鏡110置于路徑p1上。另外，分光鏡110更反射第三光束142。第三光束142可具有與第一光束122以及第二光束912不同的波長(zhǎng)。舉例而言，第一光束122為紫外光，第二光束912為藍(lán)光，而第三光束142為紅光或黃光，即第二光源140為可見光源。濾波元件170亦讓第三光束142通過，且第一影像擷取裝置130更偵測(cè)第三光束142。為了清楚起見，圖3繪示第三光束142的邊緣。

自第二光源140發(fā)出的第三光束142被分光鏡110反射而沿著路徑p1打至待測(cè)物910上。待測(cè)物910反射至少部分的第三光束142，其傳播回分光鏡110，穿透濾波元件170后被第一影像擷取裝置130所偵測(cè)。

第三光束142可突顯第二光束912的訊號(hào)。詳細(xì)而言，在一些實(shí)施方式中，第二光束912與第三光束142于光譜上相距遙遠(yuǎn)以形成高對(duì)比度。因此，在被第一影像擷取裝置130偵測(cè)到的影像中，第二光束912可被突顯，使得待測(cè)物 910的保護(hù)層的訊號(hào)可更明顯。

在一些實(shí)施方式中，第二光源140為環(huán)形光源，如圖3所示，而第二光源140可環(huán)繞第一影像擷取裝置130設(shè)置。亦即，第三光束142可斜向入射待測(cè)物910。為了清楚起見，圖3繪示半圓狀的第二光源140。然而，在其他的實(shí)施方式中，第二光源140可為點(diǎn)光源，而本發(fā)明的范疇不以此為限。

在一些實(shí)施方式中，光學(xué)檢測(cè)裝置還包含第三光源150，用以提供一第四光束152沿著路徑p2至檢測(cè)位置900，其中路徑p2與分光鏡110相隔開。亦即，分光鏡110不會(huì)阻擋自第三光源150射出的第四光束152。為了清楚起見，圖3繪示第四光束152的邊緣。第四光束152具有與第一光束122、第二光束912以及第三光束142不同的波長(zhǎng)。舉例而言，第一光束122為紫外光，第二光束912為藍(lán)光，第三光束142為紅光，而第四光束152為黃光，亦即第三光源150為可見光源。分光鏡110更可反射第四光束152，濾波元件170亦讓第四光束152穿透，且第一影像擷取裝置130更偵測(cè)第四光束152。在一些實(shí)施方式中，第二光束912與第四光束152于光譜上相距遙遠(yuǎn)以形成高對(duì)比度。因此，在被第一影像擷取裝置130偵測(cè)到的影像中，第二光束912可被突顯，使得待測(cè)物910的保護(hù)層的訊號(hào)可更明顯。

在一些實(shí)施方式中，第三光源150為環(huán)形光源，如圖3所示，而第三光源150可環(huán)繞由第一光源120與檢測(cè)位置900(與/或分光鏡110)形成的光軸o設(shè)置。亦即，第四光束152可斜向入射待測(cè)物910。為了清楚起見，圖3繪示半圓狀的第三光源150。然而，在其他的實(shí)施方式中，第三光源150可為點(diǎn)光源，而本發(fā)明的范疇不以此為限。至于圖3的光學(xué)檢測(cè)裝置的其他細(xì)節(jié)因與圖1的光學(xué)檢測(cè)裝置相似，因此便不再贅述。

圖4為本發(fā)明再一實(shí)施方式的光學(xué)檢測(cè)裝置的示意圖。圖4與圖3的光學(xué)檢測(cè)裝置的不同處在于第三光源的數(shù)量。在圖4中，第三光源的數(shù)量為多個(gè)，例如為第三光源150與150’。此二第三光源150與150’可為環(huán)形光源，并環(huán)繞由第一光源120與檢測(cè)位置900(與/或分光鏡110)形成的光軸o設(shè)置。第四光束152與152’可具有不同波長(zhǎng)。第四光束152沿著路徑p2傳播，而第四光束152’沿著路徑p2’傳播，路徑p2與p2’相隔開。亦即，分光鏡110與第三光源150’不會(huì)阻擋第四光束152，且分光鏡110與第三光源150不會(huì)阻擋第四光束152’。至于圖4的光學(xué)檢測(cè)裝置的其他細(xì)節(jié)因與圖3的光學(xué)檢測(cè)裝置相似， 因此便不再贅述。

圖5為本發(fā)明又一實(shí)施方式的光學(xué)檢測(cè)裝置的示意圖。圖5與圖3的光學(xué)檢測(cè)裝置的不同處在于第三光源的設(shè)置。在圖5中，圖3的第三光源150被替換為第二影像擷取裝置160。第二影像擷取裝置160用以斜向擷取檢測(cè)位置900(或待測(cè)物910)的影像。第二影像擷取裝置160具有一擷取視野(fieldofview)fov其未覆蓋至少部分的分光鏡110與至少部分的第一影像擷取裝置130。亦即，第二影像擷取裝置160并不會(huì)擷取完整的分光鏡110與第一影像擷取裝置130的完整影像。因第二影像擷取裝置160斜向擷取檢測(cè)位置900(或待測(cè)物910)的影像，一些自正向角度難以擷取的特征(例如部分置于待測(cè)物910的電路側(cè)壁的保護(hù)層的光強(qiáng)度)可被第二影像擷取裝置160所擷取。在一些其他的實(shí)施方式中，圖4的第三光源150’可加入圖5的光學(xué)檢測(cè)裝置中，或者圖4的第三光源150’可替代為第二影像擷取裝置160，本發(fā)明的范疇不以此為限。在一些實(shí)施方式中，第二影像擷取裝置160可為多個(gè)。在一些實(shí)施方式中，第二影像擷取裝置160可為彩色相機(jī)，且具有一調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)。此處所指的調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)具體為彩色相機(jī)的鏡頭的調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)。于每毫米約50對(duì)黑白條紋線(對(duì)應(yīng)至約10微米的解析度)至每毫米約25對(duì)黑白條紋線(對(duì)應(yīng)至約20微米的解析度)時(shí)，調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)的值的范圍為約30％至約100％。舉例而言，于每毫米約33.3對(duì)黑白條紋線(對(duì)應(yīng)至約15微米的解析度)時(shí)，調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)的值的范圍大于30％。在一些其他的實(shí)施方式中，第二影像擷取裝置160可為單色相機(jī)，且具有一調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)。此處所指的調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)具體為單色相機(jī)的鏡頭的調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)。于每毫米約20對(duì)黑白條紋線(對(duì)應(yīng)至約25微米的解析度)至每毫米約對(duì)黑白條紋線(對(duì)應(yīng)至約35微米的解析度)時(shí)，調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)的值的范圍為約30％至約100％。舉例而言，于每毫米約對(duì)黑白條紋線(對(duì)應(yīng)至約30微米的解析度)時(shí)，調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)的值的范圍大于30％。至于圖5的光學(xué)檢測(cè)裝置的其他細(xì)節(jié)因與圖3的光學(xué)檢測(cè)裝置相似，因此便不再贅述。

雖然本發(fā)明已以實(shí)施方式揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉此技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求書所界定的范圍為準(zhǔn)。