技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于氦氣分離膜的壓力產(chǎn)品總漏率測試系統(tǒng)，主要包括檢漏收集室、氦氣分離膜窗口、真空泵、氦質(zhì)譜檢漏儀和標定系統(tǒng)，檢漏收集室室壁上設(shè)置有氦氣分離膜窗口，該窗口與真空泵連通，氦質(zhì)譜檢漏儀對氦氣分離膜窗口分離出來的氦氣量進行測試，給出壓力產(chǎn)品的總漏率測量值，標定系統(tǒng)向收集室中充入已知恒定流量示漏氣體氦氣的流量，檢漏儀通過流量反應(yīng)值來標定最終狀態(tài)下壓力產(chǎn)品的總漏率；其中，本發(fā)明的測試方法提高了壓力產(chǎn)品總漏率測試的靈敏度，且對收集室的密封性要求較低，大大降低了壓力產(chǎn)品總漏率測試系統(tǒng)的建設(shè)成本。

技術(shù)研發(fā)人員：任國華;孫立臣;孟冬輝;王勇;孫偉;邵容平;綦磊;趙月帥;李唯丹;李征
受保護的技術(shù)使用者：北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所
文檔號碼：201510547944
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.31
技術(shù)公布日：2017.03.08