本實(shí)用新型涉及檢漏儀器，尤其涉及一種氦氣濃度關(guān)聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

氦氣檢漏儀使用氦氣作為檢測(cè)氣體，由于氦氣具有分子小質(zhì)量輕、擴(kuò)散穿透性強(qiáng)、反應(yīng)快且穩(wěn)定等特點(diǎn)，使氦氣檢漏裝置受到重視并廣泛使用。但是因?yàn)楹庠诳諝庵泻繕O少且價(jià)格較高，所以采用氦氣作為檢漏氣源使用不可避免地增加成本。

為了克服現(xiàn)有技術(shù)中氦氣檢漏存在高使用成本的缺陷，本實(shí)用新型提出了一種氦氣濃度關(guān)聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)。本實(shí)用新型采用氦氣混合氣源，通過(guò)稀釋氦氣濃度達(dá)到降低氦氣使用成本的目的，同時(shí)配有一體化氣體回收機(jī)構(gòu)以回收所使用的氦氣，并且為了提高泄漏率的測(cè)量精度，以氦氣濃度關(guān)聯(lián)型測(cè)量方式予以精度修正，實(shí)現(xiàn)了一種高精度低成本的氦氣檢漏系統(tǒng)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提出了一種氦氣濃度關(guān)聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)，包括：用于檢測(cè)氦氣濃度的氦氣檢漏儀，其設(shè)有相連通的嗅漏槍?zhuān)凰鲂崧屩糜诒辉囄锏耐獠?；氦氣混合氣源裝置，其與被試物的內(nèi)部空腔以輸氣管道連通；及加壓泵，其設(shè)置于所述輸氣管道的管路之上。

本實(shí)用新型提出的所述氦氣濃度關(guān)聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)中，所述氦氣混合氣源裝置為氦氣與惰性氣體的混合氣源。

本實(shí)用新型提出的所述氦氣濃度關(guān)聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)中，所述氦氣混合氣源裝置為氦氣與氮?dú)獾幕旌蠚庠?，其具有氦氣氣源、氮?dú)鈿庠础⒁约芭c兩者相連的氣體混合裝置。

本實(shí)用新型提出的所述氦氣濃度關(guān)聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)中，所述輸氣管道設(shè)有氦氣濃度計(jì)，所述氦氣濃度計(jì)與所述氦氣檢漏儀連接。

本實(shí)用新型提出的所述氦氣濃度關(guān)聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)中，所述氦氣混合氣源裝置與所述被試物的內(nèi)部空腔之間進(jìn)一步設(shè)有回收管道，所述回收管道的管路上設(shè)有回收泵。

本實(shí)用新型提出的所述氦氣濃度關(guān)聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)中，所述氦氣混合氣源裝置進(jìn)一步設(shè)有回收氣體貯藏裝置，其注入端與所述回收管道連通，輸氣端與所述輸氣管道連通。

本實(shí)用新型的有益效果在于：本實(shí)用新型采用氦氣混合氣源，通過(guò)稀釋氦氣濃度達(dá)到降低氦氣使用成本的目的，同時(shí)配有一體化氣體回收機(jī)構(gòu)以回收所使用的氦氣，并且為了提高泄漏率的測(cè)量精度，以氦氣濃度關(guān)聯(lián)型測(cè)量方式予以精度修正。

附圖說(shuō)明

圖1是一具體實(shí)施方式中氦氣檢漏系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1優(yōu)選實(shí)施例中氦氣檢漏系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖1與圖2中，1-氦氣檢漏儀，2-氦氣混合氣源裝置，3-輸氣管道，4-加壓泵，5-回收管道，6-回收泵，7-氦氣濃度計(jì)，8-回收氣體貯藏裝置，21-氦氣氣源，22-氮?dú)鈿庠矗?3-氣體混合裝置。

具體實(shí)施方式

結(jié)合以下具體實(shí)施例和附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。實(shí)施本實(shí)用新型的過(guò)程、條件、實(shí)驗(yàn)方法等，除以下專(zhuān)門(mén)提及的內(nèi)容之外，均為本領(lǐng)域的普遍知識(shí)和公知常識(shí)，本實(shí)用新型沒(méi)有特別限制內(nèi)容。

圖1顯示的是一具體實(shí)施方式中氦氣檢漏系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)施例中的氦氣濃度關(guān)聯(lián)型氦氣檢漏系統(tǒng)，包括：氦氣檢漏儀1、氦氣混合氣源裝置2、輸氣管道3、加壓泵4、回收管道5以及回收泵6。氦氣檢漏儀1用于檢測(cè)氦氣濃度，具有與其連通的嗅漏槍11。氦氣混合氣源裝置2與被試物100的內(nèi)部空腔以輸氣管道3連通，輸氣管道3設(shè)有加壓泵4?；厥展艿?同樣連通氦氣混合氣源裝置2及被試物100，回收管道5上設(shè)有回收泵6。

使用時(shí)，打開(kāi)加壓泵4從氦氣混合氣源裝置2內(nèi)向被試物100空腔泵入氦氣混合氣體。因?yàn)楹饣旌蠚怏w內(nèi)的氦氣具有分子小質(zhì)量輕、擴(kuò)散穿透性強(qiáng)、反應(yīng)快且穩(wěn)定等特點(diǎn)，當(dāng)被試物100存在微小裂縫或縫隙時(shí)，氦氣將從裂縫或縫隙泄漏，嗅漏槍11置于被試物100的外部，利用嗅漏槍11掃掠被試物100表面探測(cè)到氦氣時(shí)，則表示嗅漏槍11所正對(duì)的被試物100的表面存在裂縫或縫隙。在回收被試物100空腔內(nèi)的氦氣混合氣體時(shí)，打開(kāi)回收泵6將氦氣混合氣體泵入氦氣混合氣源裝置2內(nèi)收集。

具體參閱圖1，在輸氣管道3上設(shè)有氦氣濃度計(jì)7，氦氣濃度計(jì)7與氦氣檢漏儀1通信，將從氦氣混合氣源裝置2輸出的氦氣混合氣體中的氦氣濃度值發(fā)送至氦氣檢漏儀1中，氦氣檢漏儀1對(duì)嗅漏槍11探測(cè)的氦氣真實(shí)泄漏率進(jìn)行修正，具體修正方式如下：

真實(shí)泄漏率＝實(shí)測(cè)泄漏率/(氦氣濃度值×0.01)。

例如，對(duì)于相同被試物的檢漏測(cè)量，若以100％濃度的純氦氣進(jìn)行檢測(cè)，氦氣檢漏儀1所測(cè)得的泄漏率為1.0×10^-8Pa*m³/s；若氦氣混合氣源裝置2輸出的氦氣混合氣體的氦氣濃度值為80％，則氦氣檢漏儀1實(shí)際所測(cè)得的泄漏率為0.8×10^-8Pa*m³/s。如果容許泄漏率為0.9×10^-8Pa*m³/s，則以氦氣混合氣體進(jìn)行檢測(cè)，該被試物100會(huì)被判定為優(yōu)良品，從而導(dǎo)致本實(shí)用新型檢測(cè)精度下降。所以本實(shí)用新型利用氦氣濃度值對(duì)實(shí)測(cè)泄漏率進(jìn)行修正，提高了本實(shí)用新型的氦氣濃度檢測(cè)精度。

本實(shí)用新型中所涉及的氦氣混合氣體為氦氣與其他干燥的惰性的氣體所混合后的氣體。任何能與氦氣混合、不與氦氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的氣體均在本實(shí)用新型的構(gòu)思之中。氦氣混合氣體包括氦氣與氮?dú)獾幕旌蠚怏w，以下使用氦氮混合氣體為例，進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式。

圖2顯示的是一優(yōu)選實(shí)施方式中氦氣檢漏系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)施方式中的氦氣檢漏系統(tǒng)中，氦氣混合氣源裝置2中設(shè)有氦氣氣源21、氮?dú)鈿庠?2、氣體混合裝置23以及回收氣體貯藏裝置8。氣體混合裝置23將氦氣與氮?dú)饣旌虾筝斎胼敋夤艿?中，氣體混合裝置23與氦氣濃度計(jì)7通信，可將氦氣與氮?dú)饣旌现料鄳?yīng)氦氣濃度值后輸入被試物100內(nèi)。回收氣體貯藏裝置8用于存儲(chǔ)經(jīng)回收管道5所回收的氣體，本實(shí)施例中所回收的氣體為氦氮混合氣體。優(yōu)選地，將回收氣體貯藏裝置8的輸氣端與輸氣管道3連通，在該連通狀態(tài)下可關(guān)閉氣體混合裝置23，將回收氣體貯藏裝置8中的氦氣混合氣體通過(guò)輸氣管道3輸入被試物100中進(jìn)行檢測(cè)，直到氦氣濃度值低于閾值時(shí)開(kāi)啟氣體混合裝置23予以氦氣濃度補(bǔ)償。

本實(shí)用新型的保護(hù)內(nèi)容不局限于以上實(shí)施例。在不背離實(shí)用新型構(gòu)思的精神和范圍下，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠想到的變化和優(yōu)點(diǎn)都被包括在本實(shí)用新型中，并且以所附的權(quán)利要求書(shū)為保護(hù)范圍。