本發(fā)明與探針裝置有關，特別是指一種具有彈簧套筒式探針的探針裝置。

背景技術：
半導體芯片進行測試時，測試機通過一探針卡與待測物電性連接，并通過訊號傳輸及訊號分析獲得待測物的測試結果。習用的探針卡通常由一電路板及一探針裝置組成，或者更包含有一設于所述電路板及所述探針裝置之間的空間轉換器，所述探針裝置設有多個對應待測物的電性接點而排列的探針，以通過這些探針同時點觸這些電性接點。圖1是一種習用的彈簧套筒式探針11的平面分解圖，探針11包含有一針體12，以及一套設于針體12外的彈簧套筒13。圖2是采用所述彈簧套筒式探針11的探針卡14的剖視示意圖，為了方便說明，圖2的比例并未對應圖1的比例，探針卡14包含有一電路板15及一探針裝置16，探針裝置16包含有一探針座17及多個探針11，圖2僅顯示出一小部分的電路板15及探針座17，以及一探針11，以便說明。探針11的針體12與彈簧套筒13的結合方式，是將彈簧套筒13一接近其下端的結合部132壓合于針體12，并通過焊接而相互固定，如此一來，結合部132具有因前述壓合程序而變形形成的二凸出部134，各凸出部134凸出于彈簧套筒13未受壓合部位的一外筒面136。探針座17由上、中、下導板171、172、173構成(也可沒有中導板172而僅有上、下導板171、173)，這些導板共同形成多個用于安裝探針11的安裝孔174(圖2僅顯示出一安裝孔174)。為了使探針11能自組裝完成的探針座17的頂面175安裝入安裝孔174，且讓探針11在點觸待測物而發(fā)生轉動時能在安裝孔174內自由轉動，安裝孔174被設計成圓孔且其半徑必需大于各凸出部134與探針11中心的最大距離。探針裝置16組裝完成后，電路板15固定于探針座17的頂面175，彈簧套筒13的頂端與電路板15的電性接點電性連接，針體12的底端用于點觸待測物的電性接點。由于頂端抵觸于電路板15的彈簧套筒13具有可彈性壓縮的二彈簧段138，而針體12的下段與彈簧套筒13下端的結合部132固接，且針體12頂端與電路板15(彈簧套筒13的頂端)存留有一間隙18，當針體12的底端抵觸于待測物的電性接點并相對進給時，針體12將內縮，進而壓縮彈簧套筒13，因此，探針11不但能與待測物的電性接點確實接觸并電性導通，更可通過彈簧套筒13所提供的緩沖功能來避免接觸力過大而造成待測物的電性接點或針體損壞或過度磨損。由于上述彈簧套筒式探針11的針徑相當小(通常為幾十微米至1百多微米之間)，而高寬比相當大(通常在10：1至100：1之間)，而且，彈簧套筒13除了各凸出部134較為接近安裝孔174的內壁面之外，其他部分均與安裝孔174的內壁面有相當距離，因此，探針11在其針體12底端受力時容易造成針身偏擺及扭曲，如圖3所示，如此不但會造成對位不準及針壓不穩(wěn)等問題，更容易造成探針斷裂，而且，探針一旦斷裂又更產(chǎn)生維修及更換不易等問題。此外，上導板171與中導板172的接合處176位置對應于彈簧套筒13的其中一彈簧段138，中導板172與下導板173的接合處177位置也對應于彈簧套筒13的另一彈簧段138，若這些導板171、172、173因組裝誤差而造成其接合處176、177非相互齊平，進而造成安裝孔174的內壁面不平整，各彈簧段138容易因接觸不平整的各接合處176、177而卡住，如此一來，探針11則需進行維修而產(chǎn)生維修不易且費時等問題。

技術實現(xiàn)要素：
針對上述問題，本發(fā)明的主要目的在于提供一種具有彈簧套筒式探針的探針裝置，可避免探針過度偏擺或扭曲。為達到上述目的，本發(fā)明所提供的一種具有彈簧套筒式探針的探針裝置，其特征在于包含有：一彈簧套筒式探針，具有一針體，以及一套設于所述針體外的彈簧套筒，所述彈簧套筒具有至少一彈簧段，以及一固定于所述針體的結合部，所述結合部具有一凸出于所述至少一彈簧段的外筒面的凸出部；一探針座，具有多個相疊的導板，以及至少一導引孔，所述彈簧套筒式探針穿設于所述至少一導引孔；其中，所述探針座的導板中包含有一下導板，以及一位于所述下導板上方的支撐導板，所述探針座的導引孔中包含有一設于所述支撐導板的支撐孔，所述支撐孔呈非圓形且能定義出一中心、一導引面及一支撐面，所述支撐面與所述中心的距離大于所述彈簧套筒的彈簧段的外筒面的半徑，所述導引面與所述中心的距離大于所述支撐面與所述中心的距離，且大于所述凸出部與所述針體的中心的最大距離。由此，所述支撐孔不但能供所述彈簧套筒的結合部以朝向所述導引面的方式通過，且所述支撐面能相當接近所述彈簧套筒的外筒面而對所述彈簧套筒產(chǎn)生限位作用，因此可避免所述彈簧套筒式探針過度偏擺或扭曲。上述本發(fā)明的技術方案中，所述支撐孔與所述彈簧套筒的結合部形狀對應。所述支撐孔呈橢圓形或矩形。所述探針座的導引孔中更包含有一設于所述下導板且呈圓形的下導引孔，所述彈簧套筒的結合部位于所述下導引孔內，且所述下導引孔的半徑大于所述凸出部與所述針體中心的最大距離。由此，所述彈簧套筒式探針若因受力而轉動，所述彈簧套筒的凸出部不易卡抵于所述下導引孔的內壁面。以上所述本發(fā)明的技術方案中，所述彈簧套筒具有多個所述彈簧段，各所述彈簧段呈螺旋鏤空狀且其螺旋方向相同。在所述下導引孔呈圓形的狀況下，或者在所述下導引板不具有下導引孔而是以半開放式空間容置所述彈簧套筒的結合部的狀況下，所述彈簧套筒可僅具有一所述彈簧段，也可以具有呈螺旋鏤空狀且螺旋方向相同的多個彈簧段。由此，所述彈簧套筒式探針雖可能在受力時轉動，但不會因轉動而卡住。所述探針座的導引孔中更包含有一設于所述下導板且呈非圓形的下導引孔，所述彈簧套筒的結合部位于所述下導引孔內，其中所述下導引孔能定義出一中心、一第一支撐面及一第二支撐面，所述第一支撐面與所述中心的距離大于所述第二支撐面與所述中心的距離，且大于所述凸出部與所述針體中心的最大距離，且所述第一支撐面面對所述凸出部。由此，所述下導引孔也可對所述彈簧套筒產(chǎn)生限位作用，使得所述彈簧套筒式探針更不易偏擺或扭曲。不論所述下導引孔呈圓形或非圓形，或者所述下導引板不具有下導引孔而是以半開放式空間容置所述彈簧套筒的結合部，所述彈簧套筒具有二所述彈簧段，所述二彈簧段呈螺旋鏤空狀且其螺旋方向相反。由此，所述二彈簧段變形時產(chǎn)生的扭力可相互抵消，因此所述彈簧套筒式探針不易因受力而轉動。所述探針座的導板中包含有一上導板，以及一設于所述上導板與所述下導板之間的中導板，所述上導板與所述中導板二者至少其中之一為所述支撐導板。換言之，所述上導板與所述中導板可僅有其中一個具有所述支撐孔，另一個只要具有可供所述探針的結合部通過的穿孔或半開放空間即可；或者，所述上導板及所述中導板也可均有對所述彈簧套筒產(chǎn)生限位作用的所述支撐孔，使得所述彈簧套筒式探針更不易偏擺或扭曲。所述探針座的導板中包含有一上導板，以及一設于所述上導板與所述下導板之間的中導板，所述探針座的導引孔中包含有一設于所述上導板的上導引孔，以及一設于所述中導板的中導引孔，所述上導板及所述中導板分別為一所述支撐導板，所述上導引孔及所述中導引孔分別為一所述支撐孔；所述彈簧套筒具有三所述彈簧段，各所述彈簧段分別完全位于所述上導引孔內、所述中導引孔內及所述下導引孔內。由此，所述彈簧套筒不但具有相當良好的彈性，而且，各所述彈簧段因完全位于導引孔內而可避免與導板的接合處或導引孔的上、下緣接觸，因此不易卡住。所述彈簧套筒具有至少一非彈簧段，各所述導板的接合處位置對應于所述彈簧套筒的非彈簧段，以避免所述彈簧段接觸不平整的導板接合處而卡住。所述彈簧套筒具有至少一非彈簧段，所述探針座的導引孔位置完全對應于所述彈簧套筒的非彈簧段，以避免所述彈簧段與導引孔的上、下緣接觸而卡住?；蛘咚鰪椈商淄驳膹椈啥挝恢猛耆珜谒鎏结樧膶б?，以避免所述彈簧段接觸不平整的導板接合處或導引孔的上、下緣而卡住。所述彈簧套筒具有至少一非彈簧段，所述探針座的所述至少一導引孔的一上緣及一下緣位置對應于所述彈簧套筒的所述至少一非彈簧段。由此，所述探針的彈簧套筒可避免因其彈簧段接觸導引孔的上、下緣而卡住。所述探針座的支撐導板中包含有一上導板以及一設于所述上導板與所述下導板之間的中導板，所述彈簧套筒具有多個非彈簧段，所述上導板與所述中導板的接合處位置對應于所述彈簧套筒的一所述非彈簧段，所述中導板與所述下導板的接合處位置對應于所述彈簧套筒的另一所述非彈簧段；所述探針座的導引孔中包含有一設于所述上導板的上導引孔及一設于所述中導板的中導引孔，所述彈簧套筒的彈簧段中包含有一位置完全對應于所述上導引孔的上彈簧段，以及一位置完全對應于所述中導引孔的中彈簧段。所述支撐導板設有多個所述支撐孔，各所述支撐孔能定義出一通過其導引面及中心的長軸，各所述支撐孔沿至少一假想直線排列，每二相鄰支撐孔中包含有一直向孔及一橫向孔，所述直向孔的長軸平行于所述至少一假想直線，所述橫向孔的長軸垂直于所述至少一假想直線。所述支撐導板設有多個所述支撐孔，各所述支撐孔能定義出一通過其導引面及中心的長軸，各所述支撐孔沿多個相互平行的假想直線排成多行，且各所述支撐孔中包含有多個直向孔及多個橫向孔，各所述直向孔的長軸平行于各所述假想直線，各所述橫向孔的長軸垂直于各所述假想直線，位于同一行的支撐孔的長軸相互平行，每二相鄰行的支撐孔的長軸相互垂直。所述支撐導板設有多個所述支撐孔，各所述支撐孔能定義出一通過其導引面及中心的長軸，各所述支撐孔沿至少一假想直線排列，且各所述支撐孔的長軸與所述至少一假想直線之間有一為銳角的夾角。各所述支撐孔的長軸與所述至少一假想直線的夾角為45度。各所述支撐孔的長軸相互平行。各所述支撐孔沿相互平行的多個所述假想直線排成多行，并垂直于各所述假想直線地排成多列，每二位于同一行且相鄰的所述支撐孔的中心的距離與每二位于同一列且相鄰的所述支撐孔的中心的距離相等。每二相鄰支撐孔的長軸之間有一為90度的夾角。各所述支撐孔沿相互平行的多個所述假想直線排成多行，并垂直于各所述假想直線地排成多列，位于同一列的支撐孔的長軸相互平行，位于同一行的每二相鄰支撐孔的長軸之間有一為90度的夾角。采用上述技術方案，本發(fā)明通過前述各種支撐孔排列方式，可提升所述支撐導板上的空間利用性，使得同一支撐導板上可設置更多支撐孔，而且這些支撐孔的中心可相互對齊，以使穿設于這些支撐孔的探針可整齊排列。附圖說明圖1是習用的彈簧套筒式探針的平面分解圖；圖2是習用的采用彈簧套筒式探針的探針卡的剖視示意圖；圖3類同于圖2，但顯示所述彈簧套筒式探針因受力而偏擺及扭曲；圖4是本發(fā)明一第一較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的剖視示意圖；圖5至圖7分別是沿圖4中剖線5-5、剖線6-6及剖線7-7的剖視圖；圖8是本發(fā)明一第二較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的一類同于圖7的剖視示意圖；圖9是本發(fā)明一第三較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的剖視示意圖；圖10是本發(fā)明第四較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的一類同于圖5的剖視示意圖；圖11是本發(fā)明一第五較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的一類同于圖5的剖視示意圖；圖12是本發(fā)明一第六較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的一類同于圖5的剖視示意圖；圖13是本發(fā)明一第七較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的剖視示意圖；圖14是本發(fā)明一第八較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的剖視示意圖；圖15是本發(fā)明一第九較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的剖視示意圖，顯示所述探針裝置在其一邊緣附近的部位；圖16類同于圖15，但顯示所述探針裝置非鄰近任何邊緣的部位；圖17是本發(fā)明一第十較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的剖視示意圖，顯示所述探針裝置在其一邊緣附近的部位；圖18類同于圖17，但顯示所述探針裝置非鄰近任何邊緣的部位；圖19類同于圖10，但所述探針裝置的一支撐孔的形狀不同；圖20是本發(fā)明一第十一較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的一支撐導板的頂視示意圖；圖21是本發(fā)明一第十二較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的一支撐導板的頂視示意圖；圖22A是本發(fā)明一第十三較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的一支撐導板的頂視示意圖；圖22B類同于圖22A，但顯示所述支撐導板轉45度后的形態(tài)；圖23是本發(fā)明一第十四較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的一支撐導板的頂視示意圖；圖24是本發(fā)明一第十五較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的一支撐導板的頂視示意圖。具體實施方式現(xiàn)舉以下實施例并結合附圖對本發(fā)明的結構、特點、組裝或使用方式進行詳細說明。然而，在本發(fā)明領域中具有通常知識者應能了解，這些詳細說明以及實施本發(fā)明所列舉的特定實施例，僅用于說明本發(fā)明，并非用來限制本發(fā)明的權利要求書。申請人首先在此說明，在以下將要介紹的實施例以及圖式中，相同的參考號碼，表示相同或類似的元件或其結構特征。其次，當述及一元件設置于另一元件上時，代表前述元件為直接設置在另一元件上，或者前述元件為間接地設置在另一元件上，即，二元件之間還設置有一個或多個其他元件。此外，以下實施例的各圖式的目的僅在便于說明本案的技術特征，故并非依據(jù)實際比例繪制。請參閱圖4至圖7，本發(fā)明一第一較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置20包含有一彈簧套筒式探針30(數(shù)量不限)，以及一探針座40。探針裝置20實際上可設有相當多的探針30，本實施例以及以下各實施例的各圖式僅顯示一小部分的探針座40及一探針30，以便說明。彈簧套筒式探針30具有一呈直桿狀且可導電的實心針體32，以及一套設于針體32外且也可導電的彈簧套筒34。彈簧套筒34由直徑均一的金屬圓管經(jīng)由光微影技術(photolithography)加工而成，因此，彈簧套筒34尚未與針體32相互固定時，整體呈直徑均一的直圓管狀，但具有在其一外筒面341呈螺旋鏤空狀的二彈簧段342，以及非呈鏤空狀的三個非彈簧段344，各彈簧段342位于二非彈簧段344之間，其中接近彈簧套筒34下端的非彈簧段344具有一結合部346，結合部346在彈簧套筒34套設于針體32后，受壓合并焊接固定于針體32的下段。由于前述的壓合程序，結合部346將由原本剖面呈正圓形的環(huán)狀體而被略微壓扁，變形成為概呈橢圓狀的環(huán)狀體(如圖7所示)，詳而言之，結合部346具有二個相對且凸出于彈簧段342的外筒面341(或者其他未被壓合的部位的外筒面)的凸出部348，以及二個相對且貼接于針體32外周面的固定部349。此外，針體32具有一凸伸出彈簧套筒34的點觸段322，其末端324用于點觸待測物，在本實施例中，末端324呈平面狀，但也可呈尖錐狀，如圖2所示的形狀。本發(fā)明所提供的探針裝置不但可利用各探針30的末端324點觸待測物，更可作為連接二元件并使二元件的電性接點相互導通的中間元件(interposer)，二元件例如為一電路板及一空間轉換器。探針座40包含有一上導板41、一下導板42，以及一固設于上、下導板41、42之間的中導板43。上導板41及中導板43分別為一支撐導板，本發(fā)明所定義的支撐導板，是一種設有至少一呈非圓形且可對探針30產(chǎn)生支撐功能的支撐孔(詳述于下文)的元件，上導板41的一上導引孔412及中導板43的一中導引孔432即分別為一支撐孔，下導板42設有一呈圓形的下導引孔422，以及與下導引孔422連通但直徑較小的貫穿孔423。上導引孔412及中導引孔432分別貫穿上導板41與中導板43，且上導引孔412、中導引孔432、下導引孔422以及貫穿孔423相互連通。上導引孔412及中導引孔432實質上與彈簧套筒34的結合部346形狀對應，更明確地說，概與結合部346形狀互補但尺寸略大于結合部346。上導引孔412能定義出一中心C1(實質上等同于針體32的中心)、概與結合部346的凸出部348形狀對應的二導引面414，以及概與結合部346的固定部349形狀對應的二支撐面416，各支撐面416與中心C1的距離略大于彈簧套筒34的外筒面341的半徑R，各導引面414與中心C1的距離大于各支撐面416與中心C1的距離，而且略大于各凸出部348至針體32的中心的最大距離。中導引孔432與上導引孔412形狀相同，能定義出一中心C2、二導引面434及二支撐面436，各支撐面436與中心C2的距離略大于彈簧套筒34的外筒面341的半徑R，各導引面434與中心C2的距離大于各支撐面436與中心C2的距離，而且略大于各凸出部348至針體32的中心的最大距離。而下導引孔422，如圖7所示，為一具有一中心C3的圓孔，且圓孔的半徑略大于各凸出部348至針體32的中心(實質上等于圓孔的中心C3)的最大距離。上導引孔412的中心C1及中導引孔432的中心C2實質上與下導引孔422的中心C3位于同一假想軸線L上(此假想軸線L即為針體32的中心軸線)，但也可能因各導板41、42、43的組裝誤差而略微偏離假想軸線L。通過前述各導引孔412、422、432的形狀設計，彈簧套筒34的結合部346先以二凸出部348分別朝向二導引面414而通過上導引孔412，再以二凸出部348分別朝向二導引面434而通過中導引孔432，進而設于下導板42的下導引孔422內，并使針體32的下段穿過貫穿孔423而使點觸段322凸露出下導板42之外，此時，探針30的結合部346的底面是支撐在下導引孔422的底面上，由此，探針30可以保持在上、中及下導板41、43及42中，而不會脫落。如此一來，彈簧套筒34同時穿設于各導引孔412、422、432，且上導引孔412及中導引孔432的支撐面416、436相當接近外筒面341而可對彈簧套筒34產(chǎn)生限位作用，因此可避免彈簧套筒式探針30受力時過度偏擺或扭曲。換言之，本發(fā)明所定義的支撐孔是具有如前述的導引面及支撐面而可產(chǎn)生前述的功能。在前述的實施例中，上導引孔412及中導引孔432分別為一支撐孔，因此上導板41及中導板43分別為一支撐導板。然而，本發(fā)明的探針裝置不限于由三導板構成，也可由三個以上的導板構成，或者僅有二導板，且本發(fā)明的探針裝置也不限于除了下導板42以外的其他導板均為支撐導板，不論導板數(shù)量為何，只要下導板42上方設有至少一支撐導板，即屬于本發(fā)明的范圍。此外，探針座40可設計成上、中導板41、43的接合處(如同圖13所示的接合處50)及中、下導板43、42的接合處分別位置對應于一非彈簧段344，如此一來，在彈簧套筒式探針30進行點測時，各非彈簧段344雖略微移動但仍會涵蓋到各接合處，也即，各接合處的位置仍會對應于非彈簧段344，如此可避免彈簧段342伸縮時與各接合處相互干涉，此部分將詳述于下述的第七較佳實施例中。值得一提的是，彈簧套筒34的彈簧段342的數(shù)量并無限制，也可僅有單一彈簧段342或者超過兩個彈簧段342，在單一彈簧段342的情況下，探針座40通常僅包含有上、下導板41、42，而不具有中導板43。在前述的實施例中，彈簧套筒34的彈簧段342的螺旋方向相同，在此狀況下，或者在彈簧套筒34僅有單一彈簧段342的狀況下，當針體32的末端324受力而使各彈簧段342彈性壓縮時，各彈簧段342會產(chǎn)生朝同一旋轉方向的扭力，進而帶動探針30整體轉動。由于前述的實施例的下導引孔422呈圓形，即使探針30轉動，彈簧套筒34的凸出部348也不會卡抵于下導引孔422的內壁面。然而，為了獲得更佳的限位效果，下導引孔422也可設計成非圓形，例如圖8所示的本發(fā)明一第二較佳實施例所提供的探針裝置21中的下導引孔422，與前述的導引孔412、432形狀相同，下導引孔422能定義出一中心C3、二第一支撐面424(分別對應凸出部348)及二第二支撐面426(分別對應固定部349)。其中，各第二支撐面426與中心C3的距離略大于彈簧套筒34的外筒面341的半徑R，而各第一支撐面424與中心C3的距離略大于各第二支撐面426與中心C3的距離，且略大于各凸出部348至針體32中心(實質上等同于中心C3)的最大距離。由此，下導引孔422可通過各第一、二支撐面424、426對彈簧套筒34產(chǎn)生限位作用，使得探針30更不易偏擺或扭曲。在前述的下導引孔422呈非圓形的狀況下，以安裝不會因受力而轉動的彈簧套筒式探針為較佳的設計，以避免彈簧套筒34的凸出部348卡抵于下導引孔422的內壁面而造成探針30的彈性失效。例如圖9所示的本發(fā)明一第三較佳實施例所提供的探針裝置22，其中探針30的彈簧套筒34具有二彈簧段342，且二彈簧段342的螺旋方向相反；由此，二彈簧段342彈性變形時所產(chǎn)生的扭力朝相反的旋轉方向而可相互抵消，因此探針30不易因受力而轉動。如同第一較佳實施例中所述，本實施例的探針座40也可設計成上、中導板41、43的接合處及中、下導板43、42的接合處分別位置對應于一非彈簧段344，以避免彈簧段342伸縮時與各接合處相互干涉。前述呈非圓形的支撐孔412、432及下導引孔422不限制為橢圓形或對應結合部346的形狀，只要具有如前述定義的導引面及支撐面即可。例如圖10所示的本發(fā)明一第四較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置23，其中上導引孔412(也可以是中導引孔或下導引孔或任一支撐孔)呈橢圓形，其內壁面中曲率半徑較小的部分可視為如前述定義的導引面414，曲率半徑較大的部分則可視為如前述定義的支撐面416；又例如圖19所示的探針裝置23’，其中上導引孔412(也可以是中導引孔或下導引孔或任一支撐孔)概呈矩形，但其四個角為圓角(不限制)，上導引孔412(也可以是中導引孔或下導引孔或任一支撐孔)的內壁面中較短的二面可視為如前述定義的導引面414，較長的另二面則可視為如前述定義的支撐面416；由此，呈橢圓形或矩形的上導引孔412(也可以是中導引孔或下導引孔或任一支撐孔)也可對彈簧套筒34產(chǎn)生限位作用而避免彈簧套筒式探針30過度偏擺或扭曲，且上導板41(也可以是中導板或下導板或任一支撐導板)更容易制造并更容易安裝探針30。值得一提的是，通過使用不同方式將彈簧套筒34的結合部346壓合于針體34，可能會使結合部346形成不同的形狀，因此其凸出部348的數(shù)量不限制為二個。例如圖11所示的本發(fā)明一第五較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置24，其彈簧套筒34僅具有一凸出部348?；蛘?，結合部346的凸出部348數(shù)量可能超過二個，且可能為偶數(shù)或奇數(shù)。例如圖12所示的本發(fā)明一第六較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置25，其彈簧套筒34具有四凸出部348。如圖11及圖12所示，只要上導引孔412(也可以是中導引孔或下導引孔或任一支撐孔)依據(jù)結合部346的凸出部348數(shù)量而具有對應數(shù)量的導引面414及支撐面416，即可達到供結合部346通過并對探針30限位的功效。為了避免探針的彈簧套筒的彈簧段在移動及彈性變形時因接觸導引孔不平整的內壁面而卡住，探針座的導引孔的一上緣及一下緣位置可對應于彈簧套筒的非彈簧段，此特征有多種實施形態(tài)，詳述如下。如圖13所示的本發(fā)明一第七較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置26，探針座40也可僅具有上導板41及下導板42，而不具有如前述的中導板43。此外，上導板41與下導板42的接合處50位置對應于彈簧套筒34的其中之一個非彈簧段344，如此一來，上導引孔412的一下緣412a與下導引孔422的一上緣422a相接且位置對應同一非彈簧段344，而上導引孔412的一上緣412b及下導引孔422的一下緣422b位置對應于另二非彈簧段344。通過此特征，即使上、下導板41、42因組裝誤差而造成其導引孔412、422的內壁面非相互齊平，各彈簧段342也不易因接觸不平整的接合處50而卡住。如下述的第八、九、十較佳實施例，在探針座40具有上、中、下導板41、43、42的情況下，也可使上導板41與中導板43的接合處51以及中導板43與下導板42的接合處52位置分別對應于其中之一個非彈簧段344，以達成前述的功效。事實上，本發(fā)明的探針座并不限制由二導板或三導板組成，探針座也可具有更多導板，且彈簧套筒也可具有三個以上的非彈簧段，只要各導板的接合處位置均對應于彈簧套筒的非彈簧段，即可避免彈簧段伸縮時與各接合處相互干涉。如圖14所示的本發(fā)明一第八較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置27，以及如圖15、圖16所示的本發(fā)明一第九較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置28，探針座40的下導板42也可不具有導引孔，而以一半開放式的空間428容設探針30的結合部346。圖14顯示探針裝置27在其一邊緣附近的部位，包含最靠近邊緣的探針30，圖14中的探針30的結合部346與探針裝置27的其他未顯示于圖式中的探針30的結合部346位于同一空間428，而非分別設于一下導引孔內。圖15顯示探針裝置28在其一邊緣附近的部位，包含最靠近邊緣的探針30，圖16顯示探針裝置28非鄰近任何邊緣的部位，包含一非鄰近任何邊緣的探針30，圖15及圖16中的探針30的結合部346與探針裝置28的其他未顯示于圖式中的探針30的結合部346位于同一空間428，而非分別設于一下導引孔內。此外，上導引孔412與中導引孔432也可不相連接；在圖14中，上導板41具有一位于上導引孔412與中導引孔432之間的空間418，中導板43也具有一空間438，空間438與下導板42的空間428相連通，二空間418、438位置分別對應二彈簧段342；在圖15、圖16中，中導板43具有一位于上導引孔412與中導引孔432之間的空間438，空間438的位置對應于其中一非彈簧段344，而且中導引孔432位于中導板43的空間438與下導板42的空間428之間。圖17顯示本發(fā)明一第十較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置29在其一邊緣附近的部位，包含最靠近邊緣的探針30，圖18顯示探針裝置29非鄰近任何邊緣的部位，包含一非鄰近任何邊緣的探針30，如圖17、圖18所示，中導引孔432與下導引孔422也可不相連接。圖17及圖18中的探針30的結合部346位于下導引孔422。在圖14所示的探針裝置27中，探針座40的導引孔412、432位置分別完全對應于彈簧套筒34的一個非彈簧段344，意即同一導引孔的上、下緣對應同一非彈簧段，此特征可避免各彈簧段342因接觸導引孔412、432的上、下緣而卡住。在圖13、圖15至圖18所示的探針裝置26、28、29中，彈簧套筒34的彈簧段位置完全對應于探針座40的導引孔412、422、432，意即各彈簧段沒有任何部分對應到各空間428、438；詳而言之，圖13中的彈簧套筒34的彈簧段中包含有一位置完全對應于上導引孔412的上彈簧段342A，以及一位置完全對應于下導引孔422的下彈簧段342B，圖15至圖18中的彈簧套筒34的彈簧段中包含有一位置完全對應于上導引孔412的上彈簧段342A，以及一位置完全對應于中導引孔432的中彈簧段342C，且圖17、圖18中的彈簧套筒34更具有一位置完全對應于下導引孔422的下彈簧段342B；此特征也可避免各彈簧段342A、342B、342C因接觸導引孔412、422、432的上、下緣而卡住。換言之，在圖17、圖18所示的探針裝置29中，彈簧套筒34具有三彈簧段342A、342C、342B，各彈簧段342A、342C、342B分別完全位于上導引孔412內、中導引孔432內及下導引孔422內，如此的設計不但可避免各彈簧段因接觸導引孔412、422、432的上、下緣而卡住，且彈簧套筒34具有相當良好的彈性。在此要特別說明的是，對于本發(fā)明中所述的各導板的接合處及導引孔與彈簧套筒的非彈簧段或彈簧段的對應關系，雖然圖式中僅顯示出本發(fā)明在非測試狀態(tài)下滿足各對應關系，由于探針在非測試狀態(tài)與測試狀態(tài)之間轉換時的移動行程相當短，因此，不論是在非測試的狀態(tài)下，例如探針裝置組裝完成后，或是在測試的狀態(tài)下，本發(fā)明的探針裝置同樣會滿足上述的各對應關系。以圖14所示的探針裝置27為例，在如圖14所示的非測試狀態(tài)下，探針座40的導引孔412、432位置完全對應于彈簧套筒34的非彈簧段344，而在測試狀態(tài)下，最上方的非彈簧段344保持不動，其余非彈簧段344僅小幅度地向上位移，使得各導引孔412、432位置仍會完全對應于非彈簧段344，意即各非彈簧段344的上、下緣均不會位移到導引孔內。又以圖15、圖16所示的探針裝置28為例，在如圖15、圖16所示的非測試狀態(tài)下，彈簧套筒34的彈簧段342A、342C位置完全對應于探針座40的導引孔412、432，而在測試狀態(tài)下，各彈簧段342A、342C壓縮并小幅度地向上位移后，其位置仍會完全對應于導引孔412、432。此外，各導板41、42、43可以是一體成形的結構，或者是切割成兩塊以上的子導板進行結合，并不以此為限，以導板41為例，可以是兩塊子導板組合而成，兩塊子導板分別加工導板41的一部分，之后將兩塊子導板組裝成導板41。值得一提的是，圖14及圖15的下導板42為類同的設計，圖14及圖15的上導板41雖為不同設計但可相互替換使用，圖14及圖15的中導板43雖為不同設計但也可替換使用，也即，可由圖14的上導板41搭配圖15的中導板43并與圖14或圖15的下導板42組成探針座40，或者，也可由圖15的上導板41搭配圖14的中導板43并與圖14或圖15的下導板42組成探針座40，如此也可達成前述的功效。換言之，彈簧套筒的彈簧段位置完全對應于探針座的導引孔，以及探針座的導引孔位置完全對應于彈簧套筒的非彈簧段，此二特征可混合應用于本發(fā)明中，意即，彈簧套筒及探針座可一部分具有前述二特征的前者，且其余部分具有前述二特征的后者，以使彈簧套筒更不易卡住。不論探針座40采用何種導板組合，都不影響各導板需采用的導引孔形狀。如圖15至圖18所示，在前述的第九及第十較佳實施例中，上導引孔412的下緣412a與中導引孔432的上緣432a位置對應同一非彈簧段344，且上導引孔412的上緣412b及中導引孔432的下緣432b位置對應于另二非彈簧段344。此外，在圖17及圖18中，下導引孔422的上緣422a與中導引孔432的下緣432b對應同一非彈簧段344，而下導引孔422的下緣422b則對應于另一非彈簧段344。如圖14所示，在前述的第八較佳實施例中，上導引孔412的上、下緣412b、412a位置對應于同一非彈簧段344，且中導引孔432的上、下緣432a、432b位置對應于同一非彈簧段344。如前所述，本發(fā)明所提供的探針裝置實際上可設有相當多探針30，因此各導板也可設有相當多導引孔。對于設有多個非圓形的支撐孔(例如前述的上導引孔412或中導引孔432)的支撐導板(例如前述的上導板41或中導板43)而言，各支撐孔可呈下述各實施例所提供的排列方式，以提升支撐導板上的空間利用性，使得同一支撐導板上可設置更多支撐孔。圖20至圖24分別為本發(fā)明第十一至十五較佳實施例所提供的具有彈簧套筒式探針的探針裝置的一支撐導板61～65的頂視示意圖，也即，各支撐導板61～65可應用于前述各實施例而作為上導板41或中導板43，此外，下導板42也可采用各支撐導板61～65的設計。下述各實施例以呈橢圓形的支撐孔為例說明其排列方式，然而，下述各實施例所提供的支撐孔排列方式也可應用于其他形狀且符合前述本發(fā)明定義的支撐孔。下述各實施例的各圖式僅顯示一小部分的頂視示意圖，以便說明。各支撐導板61～65設有多個支撐孔70A～D，各支撐孔70A～D能定義出一通過其導引面72及中心74的長軸76。如圖20所示，支撐導板61的支撐孔70A、70B沿相互平行的二假想直線78排成二行L1、L2，不論位于同一行或位于不同行，每二相鄰支撐孔中都包含有一直向孔70A及一橫向孔70B，各直向孔70A的長軸76實質上平行于各假想直線78，更進一步說明，各直向孔70A的長軸76實質上與各假想直線78重合，而各橫向孔70B的長軸76實質上垂直于各假想直線78。如此一來，各支撐孔70A、70B的中心74相互對齊，可讓穿設于各支撐孔70A、70B的探針30整齊地排列，且各支撐孔70A、70B的排列方式可提升支撐導板61上的空間利用性。如圖21所示，支撐導板62的支撐孔70A、70B沿相互平行的三假想直線78排成三行L1、L2、L3，其中二行L1、L3中均為直向孔70A且另一行L2均為橫向孔70B，因此位于同一行的支撐孔的長軸76相互平行，更進一步說明，位于同一行的直向孔70A的長軸76實質上與其中一假想直線78重合，此外，每二相鄰行的支撐孔的長軸76相互垂直，也即，本實施例的支撐孔排列方式是使每相鄰二行分別為一行直向孔70A及一行橫向孔70B，如此也可使各支撐孔70A、70B的中心74相互對齊，并達到提升空間利用性的功效。如圖22A及圖22B所示，支撐導板63的支撐孔70C沿相互平行的三假想直線78排成三行L1、L2、L3，并垂直于各假想直線L1、L2、L3地排成四列R1、R2、R3、R4，且各支撐孔70C的長軸76與假想直線78之間有一為銳角的夾角α，各夾角α以45度為較佳設計。支撐導板63的每一支撐孔均為左斜孔70C(或者也可均為如下述實施例中的右斜孔70D)，因此各支撐孔70C的長軸76相互平行，如此也可使各支撐孔70C的中心74相互對齊，并達到提升空間利用性的功效。為達到更加良好的空間利用性，每二位于同一行且相鄰的支撐孔70C的中心74的距離D1可與每二位于同一列且相鄰的支撐孔70C的中心74的距離D2相等，也即D1＝D2。值得一提的是，探針裝置的導板通常為圓形，其邊緣形狀并無明顯的方位之分，各導板的設置方向也不一定會使假想直線78呈如圖22A所示的方向，例如可能如圖22B所示的方向。各支撐孔70C在圖22B中的排列方式乍看與圖22A中的排列方式相異，但實際上圖22B所示的支撐孔70C即為將圖22A中的支撐孔70C全部一起朝順時針方向轉動45度后的形態(tài)。因此，在判斷導板的支撐孔排列方式是否符合本發(fā)明所提供的時，應將導板轉動至各角度以進行判斷。如圖23所示，支撐導板64的支撐孔70C、70D沿二假想直線78排成二行L1、L2，且各支撐孔70C、70D的長軸76與假想直線78之間有一為銳角的夾角α，各夾角α以45度為較佳設計。支撐導板64的每二相鄰支撐孔中包含有一左斜孔70C及一右斜孔70D，因此每二相鄰支撐孔的長軸76之間有一為90度的夾角β，如此也可使各支撐孔70C、70D的中心74相互對齊，并達到提升空間利用性的功效。如圖24所示，支撐導板65也具有如前述的左斜孔70C及右斜孔70D，各支撐孔70C、70D沿相互平行的三假想直線78排成三行L1、L2、L3，并垂直于各假想直線78地排成四列R1、R2、R3、R4，位于同一列的支撐孔均為左斜孔70C(第一、三列R1、R3)或均為右斜孔70D(第二、四列R2、R4)，因此位于同一列的支撐孔的長軸76為相互平行，而位于同一行的支撐孔為左斜孔及右斜孔交錯設置，因此位于同一行的每二相鄰支撐孔的長軸76之間有一為90度的夾角β，如此也可使各支撐孔70C、70D的中心74相互對齊，并達到提升空間利用性的功效。最后，必須再次說明，本發(fā)明在前述實施例中所揭示的構成元件，僅為舉例說明，并非用來限制本發(fā)明的權利要求書，其他等效元件的替代或變化，也應被本發(fā)明的權利要求書所涵蓋。