技術(shù)編號(hào):12910330
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明與探針裝置有關(guān),特別是指一種具有彈簧套筒式探針的探針裝置。背景技術(shù)半導(dǎo)體芯片進(jìn)行測(cè)試時(shí),測(cè)試機(jī)通過(guò)一探針卡與待測(cè)物電性連接,并通過(guò)訊號(hào)傳輸及訊號(hào)分析獲得待測(cè)物的測(cè)試結(jié)果。習(xí)用的探針卡通常由一電路板及一探針裝置組成,或者更包含有一設(shè)于所述電路板及所述探針裝置之間的空間轉(zhuǎn)換器,所述探針裝置設(shè)有多個(gè)對(duì)應(yīng)待測(cè)物的電性接點(diǎn)而排列的探針,以通過(guò)這些探針同時(shí)點(diǎn)觸這些電性接點(diǎn)。圖1是一種習(xí)用的彈簧套筒式探針11的平面分解圖,探針11包含有一針體12,以及一套設(shè)于針體12外的彈簧套筒13。圖2是采用所述彈簧...
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