壓力檢測(cè)裝置及其生產(chǎn)方法
【專利摘要】本發(fā)明的課題在于提供一種壓力檢測(cè)裝置及其生產(chǎn)方法，該壓力檢測(cè)裝置具有故障保護(hù)結(jié)構(gòu)，可極力地抑制作為壓力檢測(cè)對(duì)象的流體流出的情況。壓力檢測(cè)裝置(100)包括：具有流路(13)的流體流入部件(10)；檢測(cè)流入到流路(13)中的流體壓力的壓力傳感器(20)；具有包圍壓力傳感器(20)的第一樹(shù)脂部(32)的基板組件；蓋部(40)，其按照從上側(cè)覆蓋壓力傳感器(20)的方式與第一樹(shù)脂部(32)結(jié)合、形成密閉空間，該壓力傳感器(20)位于該密閉空間的內(nèi)部；端子組件；樹(shù)脂外罩部(60)，其將流體流入部件(10)、基板組件、蓋部(40)以及端子組件結(jié)合。蓋部(40)與第一樹(shù)脂部(32)結(jié)合，并且被樹(shù)脂外罩部(60)從上側(cè)按壓。
【專利說(shuō)明】壓力檢測(cè)裝置及其生產(chǎn)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及壓力檢測(cè)裝置及其生產(chǎn)方法。

【背景技術(shù)】
[0002]作為現(xiàn)有的壓力檢測(cè)裝置，比如具有在專利文獻(xiàn)I中公開(kāi)的類型。專利文獻(xiàn)I的壓力檢測(cè)裝置包括:下殼體，該下殼體具有導(dǎo)入流體壓力的壓力導(dǎo)入部；壓力傳感器(半導(dǎo)體式壓力傳感器)，該壓力傳感器經(jīng)由底板而設(shè)置于壓力導(dǎo)入部上；電路基板，該電路基板通過(guò)導(dǎo)線而與壓力傳感器電連接；上殼體，該上殼體通過(guò)加熱壓緊于下殼體上的方式設(shè)置，接納底板、壓力傳感器、電路基板等，并且形成連接部，其中，從電路基板起，按照第一引線端子、設(shè)置有用于吸收外來(lái)噪音的貫通電容器的第一引線管腳、從連接部看到的電極引線的順序，構(gòu)成通電結(jié)構(gòu)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)I JP特開(kāi)2002— 257663號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的課題
[0007]在專利文獻(xiàn)I的壓力檢測(cè)裝置中，構(gòu)成下述結(jié)構(gòu)，即，雖然壓力傳感器的上部由上殼體基本覆蓋，但是在壓力傳感器和上殼體之間仍有空間。故如果通過(guò)從壓力導(dǎo)入部流入的流體對(duì)壓力傳感器施加過(guò)大的壓力，則壓力傳感器被破壞，流體泄漏至壓力傳感器上部的空間，進(jìn)一步泄漏到上殼體的上部，無(wú)法完全解決流體流出至裝置外部的可能性。由此，在希望有故障保護(hù)結(jié)構(gòu)的今天，存在有需要改善的余地。
[0008]本發(fā)明是針對(duì)上述情況而提出的，本發(fā)明的目的在于提供一種壓力檢測(cè)裝置及其生產(chǎn)方法，該壓力檢測(cè)裝置具有故障保護(hù)結(jié)構(gòu)，可極力地抑制作為壓力的檢測(cè)對(duì)象的流體漏出的情況。
[0009]用于解決課題的技術(shù)方案
[0010]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第一方面的壓力檢測(cè)裝置的特征在于，該壓力檢測(cè)裝置包括:
[0011]流體流入部件，該流體流入部件具有可流入流體的流路；
[0012]半導(dǎo)體式壓力傳感器，該半導(dǎo)體式壓力傳感器設(shè)置于該流體流入部件的上面，檢測(cè)流入上述流路中的流體壓力；
[0013]第一組件，該第一組件設(shè)置于上述流體流入部件的上面，具有第一樹(shù)脂部和第一引線端子，該第一樹(shù)脂部包圍上述半導(dǎo)體式壓力傳感器，該第一引線端子保持于該第一樹(shù)脂部上，其一端部與上述半導(dǎo)體式壓力傳感器電連接；
[0014]蓋部，該蓋部按照從上側(cè)覆蓋上述半導(dǎo)體式壓力傳感器的方式與上述第一樹(shù)脂部結(jié)合、形成密閉空間，上述半導(dǎo)體式壓力傳感器位于該密閉空間的內(nèi)部；
[0015]第二組件，該第二組件具有第二樹(shù)脂部與第二引線端子，該第二樹(shù)脂部從上側(cè)覆蓋上述蓋部，該第二引線端子保持于該第二樹(shù)脂部上，與上述第一引線端子的另一端部電連接；
[0016]樹(shù)脂外罩部，該樹(shù)脂外罩部將上述流體流入部件、上述第一組件、上述蓋部以及上述第二組件結(jié)合，覆蓋上述第一組件、上述蓋部以及上述第二組件，其中，上述第二組件中的上述第二引線端子的一部分向外部露出；
[0017]上述蓋部與上述第一樹(shù)脂部結(jié)合，并且被上述樹(shù)脂外罩部從上側(cè)按壓。
[0018]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第二方面的壓力檢測(cè)裝置的生產(chǎn)方法的特征在于，該方法包括下述的步驟:
[0019]在具有可流入流體的流路的流體流入部件的上面，設(shè)置半導(dǎo)體式壓力傳感器，該半導(dǎo)體式壓力傳感器檢測(cè)流入到上述流路中的流體壓力；
[0020]在上述流體流入部件的上側(cè)設(shè)置第一組件，該第一組件具有第一樹(shù)脂部與第一引線端子，該第一樹(shù)脂部包圍上述半導(dǎo)體式壓力傳感器，該第一引線端子保持于該第一樹(shù)脂部上，其一端部與上述半導(dǎo)體式壓力傳感器電連接；
[0021]在上述第一樹(shù)脂部上結(jié)合蓋部，該蓋部從上側(cè)覆蓋上述半導(dǎo)體式壓力傳感器，通過(guò)該蓋部形成密閉空間，上述半導(dǎo)體式壓力傳感器位于該密閉空間的內(nèi)部；
[0022]在上述蓋部的上側(cè)設(shè)置第二組件，該第二組件具有第二樹(shù)脂部與第二引線端子，該第二引線端子保持于該第二樹(shù)脂部上，與上述第一引線端子的另一端部電連接；
[0023]在設(shè)置上述第二組件后，通過(guò)外嵌成型而對(duì)樹(shù)脂外罩部成型，該樹(shù)脂外罩部將上述流體流入部件、上述第一組件、上述蓋部以及上述第二組件結(jié)合，覆蓋上述第一組件、上述蓋部以及上述第二組件，其中，上述第二組件中的上述第二引線端子的一部分向外部露出。
[0024]發(fā)明的效果
[0025]按照本發(fā)明，可提供一種壓力檢測(cè)裝置及其生產(chǎn)方法，該壓力檢測(cè)裝置具有故障保護(hù)結(jié)構(gòu)，可極力地抑制作為壓力的檢測(cè)對(duì)象的流體流出的情況。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0026]圖1為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置的主要部分的外觀結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0027]圖2為流體流入部件和半導(dǎo)體壓力傳感器的俯視圖；
[0028]圖3為底板組件的立體圖；
[0029]圖4為表示組裝流體流入部件和底板組件與蓋體的狀態(tài)的立體圖；
[0030]圖5為表示組裝流體流入部件和底板組件與蓋體以及端子組件的狀態(tài)的立體圖。

【具體實(shí)施方式】
[0031]下面參照附圖，對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置進(jìn)行說(shuō)明。
[0032]本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置100像圖1?圖5所示的那樣，包括:流體流入部件10 ;半導(dǎo)體式壓力傳感器(在下面也簡(jiǎn)稱為“壓力傳感器”)20 ;底板組件30 ;蓋部40 ;端子組件50 ;樹(shù)脂外罩部60。
[0033]另外，底板組件30為第一組件的一個(gè)例子，端子組件50為第二組件的一個(gè)例子。此外，在下面，為了容易理解壓力檢測(cè)裝置100的結(jié)構(gòu)，按照對(duì)應(yīng)于圖1所示的兩端箭頭而表示的上下方向，適當(dāng)?shù)貙?duì)各部分的配置進(jìn)行說(shuō)明。
[0034]流體流入部件10由不銹鋼(SUS)等的金屬材料形成，為由六棱柱狀的筒體部11與螺紋部12成一體地形成的部件，該螺紋部12為位于筒體部的下側(cè)的基本呈圓柱狀的部分，在該螺紋部12的外周具有螺旋狀的槽。另外，在圖1中，以省略螺紋槽的方式示出螺紋部12。
[0035]在流體流入部件10中形成流路13，該流路13為在上下方向貫通筒體部11和螺紋部12的孔。流體可從該流路13的下側(cè)流入(比如油)。在流路13中，越向上則呈尖頭狀。
[0036]筒體部11包括:凸部11a，該凸部Ila從筒體部11上面突出，像圖2所示的那樣從平面看呈環(huán)狀；底座11b，該底座Ilb從平面看位于凸部Ila的中間，像圖1所示的那樣，其高度與凸部Ila基本相同。由此，在凸部Ila和底座Ilb之間形成了凹部11c。
[0037]在底座Ilb上放置壓力傳感器20，通過(guò)規(guī)定的方法而固定。作為流路13的頂端部的開(kāi)口部13a位于底座Ilb的中心部。
[0038]在壓力傳感器20中，在玻璃底座21上設(shè)置有半導(dǎo)體芯片22，該半導(dǎo)體芯片22具有以較小厚度形成硅等的半導(dǎo)體基板而成的隔膜。在與隔膜相對(duì)應(yīng)的部位，通過(guò)對(duì)硼等的雜質(zhì)進(jìn)行擴(kuò)散處理，形成了具有壓電電阻效果的壓敏元件的四個(gè)電阻，通過(guò)各電阻和采用鋁等的導(dǎo)電性材料的布圖，在壓力傳感器20中構(gòu)成了電橋電路。
[0039]流路13通過(guò)隔膜而接受從下側(cè)導(dǎo)入的流體壓力，壓力傳感器20通過(guò)伴隨隔膜的位移的電橋電路的輸出電壓，檢測(cè)流體壓力。
[0040]底板組件30主要像圖3所示的那樣，包括:環(huán)狀部件31 ;第一樹(shù)脂部32 ;第一引線端子33。通過(guò)環(huán)狀部件31和第一樹(shù)脂部32，構(gòu)成基本呈圓盤(pán)狀的底板，該底板設(shè)置于流體流入部件10上，并且保持第一引線端子33。
[0041]環(huán)狀部件31和第一樹(shù)脂部32與第一引線端子33通過(guò)嵌入成型而一體地成型。即，底板組件30為通過(guò)像這樣一體地成型的各部分而構(gòu)成的組件。
[0042]環(huán)狀部件31由SUS等的金屬材料構(gòu)成，環(huán)狀的第一樹(shù)脂部32位于其內(nèi)部。通過(guò)將環(huán)狀部件31的底面部與上述凸部Ila接合(比如采用電阻焊接)，從而與流體流入部件10接合。由此，底板組件30與流體流入部件10連接。
[0043]第一樹(shù)脂部32由比如PPS(Poly Phenylene Sulfide,聚苯硫醚)樹(shù)脂形成,在其中間部形成有包圍壓力傳感器20的開(kāi)口部320。在第一樹(shù)脂部32的開(kāi)口部320的周圍設(shè)置有附近部321，該附近部321露出第一引線端子33的一端部，將該第一引線端子33的一端部置于壓力傳感器20的附近。第一樹(shù)脂部32保持第一引線端子33。
[0044]另外，第一樹(shù)脂部32具有管腳32a，該管腳32a向上方立設(shè)，用于確定蓋部40相對(duì)于底板組件30的位置。
[0045]此外，在第一樹(shù)脂部32的底面?zhèn)刃纬砂疾?2b，如果將底板組件30設(shè)置于流體流入部件10上，則在該凹部32b和形成于流體流入部件10的筒體部11上的凹部Ilc之間，形成有空間C。
[0046]第一引線端子33由比如磷青銅材料形成，像圖1所示的那樣，為截面基本呈L狀的部件。第一引線端子33像圖3所示的那樣為三個(gè)，對(duì)于每個(gè)分別為電源線、信號(hào)線、接地線。
[0047]在下面，三個(gè)第一引線端子33中的位于圖3的中間部的端子的標(biāo)號(hào)為331、位于端子331右側(cè)的端子的標(biāo)號(hào)為332、位于端子331左側(cè)的端子的標(biāo)號(hào)為333。適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行說(shuō)明。雖然三個(gè)第一引線端子331、332、333的位置不同，但是由于具有同樣的結(jié)構(gòu)，故對(duì)于三者共同的事項(xiàng)采用標(biāo)號(hào)33進(jìn)行匯總說(shuō)明。
[0048]第一引線端子33的一端部像前述那樣，位于壓力傳感器20的附近，另一方面，其另一端部朝向上方而延伸，位于可與端子組件50的后述的第二引線端子51結(jié)合的位置。第一引線端子33的各兩端部按照上述那樣設(shè)置的方式以彎曲地形成。
[0049]第一引線端子33的一端部通過(guò)導(dǎo)線W(比如由鋁構(gòu)成)而與壓力傳感器20導(dǎo)通連接。導(dǎo)線W的連接采用引線鍵合裝置。
[0050]另外，對(duì)第一樹(shù)脂部32和第一引線端子33的接觸部位進(jìn)行浸含處理，該浸含處理為在嵌入成型時(shí)產(chǎn)生的間隙中填充密封材料的處理。同樣地，也對(duì)環(huán)狀部件31和第一樹(shù)脂部32的接觸部位進(jìn)行浸含處理。
[0051]蓋部40由比如PPS樹(shù)脂形成，其為下述的部件，該部件按照從上側(cè)覆蓋壓力傳感器20的方式與底板組件30的第一樹(shù)脂部32結(jié)合，形成壓力傳感器20位于內(nèi)部的密閉空間。在下面，將該密閉空間稱為壓力基準(zhǔn)室B(參照?qǐng)D1)。
[0052]蓋部40的內(nèi)面像圖1所示的那樣，為凹曲面41。蓋部40與第一樹(shù)脂部32的上端面焊接(比如激光焊接)，由此，在蓋部40和第一樹(shù)脂部32之間形成有壓力基準(zhǔn)室B。
[0053]在蓋部40中，形成使第一樹(shù)脂部32的管腳32a穿過(guò)的管腳插入孔42、使第一引線端子33(331、332、333)穿過(guò)的端子插入孔43、以及與后述的第二樹(shù)脂部53所具有的突起部532b進(jìn)行嵌合的突起部插入孔44。另外，圖4表示作為將蓋部40放置于第一樹(shù)脂部32上的狀態(tài)下，將兩者焊接之前的狀態(tài)。
[0054]端子組件50像圖1和圖5所示的那樣，包括第二引線端子51、噪音吸收用電容器52與第二樹(shù)脂部53。
[0055]第二引線端子51由比如磷青銅材料形成，像圖1所示的那樣，為截面基本呈L狀的部件。第二引線端子51的一端部朝向上方而延伸，與第一引線端子33的另一端部(與壓力傳感器20側(cè)相反的一側(cè)的端部)接合(比如電阻焊接)。第二引線端子51的另一端部比上述一端部更進(jìn)一步朝向上方而延伸，構(gòu)成后述的連接部70。
[0056]第二引線端子51像圖5所示的那樣有三個(gè)，每個(gè)與各第一引線端子331、332、333相對(duì)應(yīng)。即，對(duì)于三個(gè)第二引線端子51中的每個(gè)，分為電源線、信號(hào)線、接地線。
[0057]在下面，三個(gè)第二引線端子51中的與第一引線端子331結(jié)合的端子的標(biāo)號(hào)為511、與第一引線端子332結(jié)合的端子的標(biāo)號(hào)為512、與第一引線端子333結(jié)合的端子的標(biāo)號(hào)為513，適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行說(shuō)明。雖然三個(gè)第二引線端子511、512、513的位置不同，但是由于具有同樣的結(jié)構(gòu)，故對(duì)于三者共同的事項(xiàng)，采用標(biāo)號(hào)51進(jìn)行總體說(shuō)明。
[0058]噪音吸收用電容器52由比如引線型的陶瓷電容器構(gòu)成，像圖1所示的那樣，具有電容部520和側(cè)面呈L狀的引線521。電容部520設(shè)置于圖1中的第二引線端子51的左側(cè)部。與電容部520連接的引線521的前端部與第二引線端子51結(jié)合(比如電阻焊接)。噪音吸收用電容器52用于吸收與電源線和信號(hào)線重疊的外來(lái)噪音，比如沿貫穿圖1的紙面的方向而設(shè)置兩個(gè)。
[0059]第二樹(shù)脂部53由比如PPS樹(shù)脂形成，其為下述的部件，該部件保持第二引線端子51,并且從上側(cè)覆蓋噪音吸收用電容器52。第二樹(shù)脂部53通過(guò)像這樣覆蓋噪音吸收用電容器52，故在樹(shù)脂外罩部60成型時(shí)，防止噪音吸收用電容器52受到注射成型溫度和壓力的影響。
[0060]第二樹(shù)脂部53像圖5所示的那樣，呈外形為半圓柱狀的第一部分531和外形為半圓板狀的第二部分532對(duì)合的形狀。在本實(shí)施方式中，主要通過(guò)第一部分531，像上述那樣保護(hù)噪音吸收用電容器52 (電容部520)。
[0061]第二樹(shù)脂部53通過(guò)嵌入成型與第二引線端子51—體地成型，由此，保持第二引線端子51。像這樣保持的第二引線端子51的一部分(與第一引線端子33所連接的端部相反一側(cè)的端部)朝向上方貫穿第一部分531，構(gòu)成后述的連接部70。
[0062]另外，與構(gòu)成第二引線端子51的連接部70的端部相反一側(cè)的端部，朝向上方貫穿第二部分532，與第一引線端子33焊接。此外，對(duì)第二樹(shù)脂部53和第二引線端子51的接觸部位，進(jìn)行浸含處理。
[0063]在第二樹(shù)脂部53的第二部分532，開(kāi)設(shè)有貫穿第一引線端子33的孔532a。S卩，有三個(gè)孔532a，各孔與第一引線端子331、332、333相對(duì)應(yīng)。另外，在第二部分532的外周側(cè)的端部，設(shè)置有朝向下側(cè)而突起的突起部532b，通過(guò)將該突起部532b插入上述蓋部40的突起插入孔44中，將端子組件50臨時(shí)固定于蓋部40上。
[0064]樹(shù)脂外罩部60為位于比如由PPS樹(shù)脂形成的流體流入部件10的上側(cè)的外罩部。樹(shù)脂外罩部60以覆蓋底板組件30、蓋部40、以及端子組件50，但端子組件50中的第二引線端子51的一部分按照向外部露出的形狀成型(B卩，第二引線端子511、512、513的一部分向樹(shù)脂外罩部60的外側(cè)露出)。
[0065]通過(guò)第二引線端子51中的從樹(shù)脂外罩部60向外側(cè)露出的部分、與樹(shù)脂外罩部60中的包圍露出的第二引線端子51的部分，構(gòu)成連接部70 (直接連接部)。該連接部70可與規(guī)定的外部設(shè)備的端子結(jié)合，由此，從已結(jié)合的外部設(shè)備對(duì)壓力傳感器20施加電源電壓，另外，可將壓力傳感器20的檢測(cè)信號(hào)提供給連接的外部設(shè)備。獲得了檢測(cè)信號(hào)的外部設(shè)備根據(jù)已獲得的檢測(cè)信號(hào)，獲得流體的壓力(比如液壓)值。
[0066]樹(shù)脂外罩部60通過(guò)外嵌于流體流入部件10而成型的方式獲得。已成型的樹(shù)脂外罩部60將流體流入部件10 (流體流入部件10的上端部)、作為第一組件的一個(gè)例子的底板組件30、蓋部40、作為第二組件的一個(gè)例子的端子組件50結(jié)合。在像這樣將各部分結(jié)合的狀態(tài)，特別是，蓋部40被樹(shù)脂外罩部60從上側(cè)而按壓。
[0067]蓋部40像前述那樣，通過(guò)激光焊接而與第一樹(shù)脂部32結(jié)合，另外，像這樣，通過(guò)樹(shù)脂外罩部60而按壓，蓋部40牢固地固定于底板組件30的第一樹(shù)脂部32上。由此，即使從流路13而流入的流體(比如油)產(chǎn)生過(guò)剩壓力，將壓力傳感器20破壞，流體到達(dá)壓力基準(zhǔn)室B內(nèi)部，仍可阻止流體從蓋部40的上部和側(cè)部流出。
[0068]本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置100像這樣，具有故障保護(hù)結(jié)構(gòu)，其極力地抑制作為壓力的檢測(cè)對(duì)象的流體流出的情況。
[0069]由以上的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的壓力檢測(cè)裝置100包括:流體流入部件10，該流體流入部件10具有可流入流體的流路13 ;半導(dǎo)體式壓力傳感器20，該半導(dǎo)體式壓力傳感器20設(shè)置于流體流入部件10的上面，檢測(cè)流入流路13中的流體壓力；底板組件30 (第一組件的一個(gè)例子)，該底板組件30設(shè)置于流體流入部件10的上面，具有第一樹(shù)脂部32和第一引線端子33，該第一樹(shù)脂部32包圍半導(dǎo)體式壓力傳感器20，該第一引線端子33保持于該第一樹(shù)脂部32上，其一端部與半導(dǎo)體式壓力傳感器20 (通過(guò)導(dǎo)線W)電連接；蓋部40，該蓋部40按照從上側(cè)覆蓋半導(dǎo)體式壓力傳感器20的方式與第一樹(shù)脂部32結(jié)合、形成密閉空間，半導(dǎo)體式壓力傳感器20位于密閉空間的內(nèi)部；端子組件50 (第二組件的一個(gè)例子)，該端子組件50具有第二樹(shù)脂部53和第二引線端子51，該第二樹(shù)脂部53從上側(cè)覆蓋蓋部40，該第二引線端子51保持于該第二樹(shù)脂部53上，與第一引線端子33的另一端部電連接；樹(shù)脂外罩部60，該樹(shù)脂外罩部60將流體流入部件10、底板組件30、蓋部40、端子組件50結(jié)合，雖然覆蓋底板組件30、蓋部40與端子組件50，但端子組件50中的第二引線端子51的一部分向外部露出，蓋部40與第一樹(shù)脂部32結(jié)合，并且通過(guò)樹(shù)脂外罩部60而從上側(cè)按壓。
[0070]通過(guò)該結(jié)構(gòu)，像前述那樣，可極力地抑制作為壓力的檢測(cè)對(duì)象的流體泄漏的情況。即，壓力檢測(cè)裝置100具有故障保護(hù)結(jié)構(gòu)。
[0071]另外，壓力檢測(cè)裝置100的結(jié)構(gòu)為組裝簡(jiǎn)單，且可抑制部件數(shù)量和工時(shí)的增加的結(jié)構(gòu)。
[0072]其原因在于:在前述的專利文獻(xiàn)I的壓力檢測(cè)裝置100中，針對(duì)由壓力傳感器到連接部的電極引線的連接結(jié)構(gòu)，必須要求I)將經(jīng)由導(dǎo)線而與壓力傳感器導(dǎo)通的電路基板與第一引線端子連接；2)將第一引線管腳與貫通電容器連接，通過(guò)焊錫而將第一引線管腳與第一引線端子連接；3)通過(guò)焊錫而將第一引線管腳與電極引線連接的復(fù)雜步驟，組裝性的提高方面具有改進(jìn)的余地，但是，在本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置100中，從壓力傳感器20到連接部70的導(dǎo)通結(jié)構(gòu)主要由底板組件30所保持的第一引線端子33和端子組件50所保持的第二引線端子51構(gòu)成。按照該結(jié)構(gòu)，組裝作為組件化的第一組件的一個(gè)例子的底板組件30、與作為第二組件的一個(gè)例子的端子組件50等，僅僅焊接各端子的連接部即可。
[0073]由此，按照本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置100的結(jié)構(gòu)，不需要焊錫的供給、焊接的溫度管理等(或保留在必要的最小限度)，還可提高組裝性，抑制產(chǎn)品成本。
[0074]另外，按照本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置100的結(jié)構(gòu)，由于不必設(shè)置上述專利文獻(xiàn)I的壓力檢測(cè)裝置那樣的電路基板，故可抑制部件的增加。
[0075]從這里起，簡(jiǎn)單地對(duì)壓力檢測(cè)裝置100的生產(chǎn)方法的一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明。
[0076]I)將壓力傳感器20設(shè)置于流體流入部件10上。
[0077]2)配備通過(guò)嵌入成型一體地成型的底板組件30 (第一組件的一個(gè)例子)，將底板組件30設(shè)置于流體流入部件10上。
[0078]具體來(lái)說(shuō)，通過(guò)電阻焊接，將流體流入部件10的凸部Ila與底板組件30的環(huán)狀部件31接合。另外，通過(guò)引線鍵合裝置，借助導(dǎo)線W將壓力傳感器20和第一引線端子33導(dǎo)通連接。
[0079]3)在底板組件30的第一樹(shù)脂部32上通過(guò)激光焊接而結(jié)合從上側(cè)覆蓋壓力傳感器20的蓋部40，通過(guò)蓋部40，形成密閉空間，壓力傳感器20位于密閉空間的內(nèi)部。
[0080]4)配備通過(guò)嵌入成型一體地成型的端子組件50 (第二組件的一個(gè)例子)，將其設(shè)置于蓋部40的上側(cè)。
[0081]具體來(lái)說(shuō)，將端子組件50的第二樹(shù)脂部53所具有的突起部532b插入蓋部40的突起部插入孔44中，將端子組件50臨時(shí)固定于蓋部40上。接著，通過(guò)電阻焊接而將第一引線端子33和第二引線端子51結(jié)合。
[0082]5)在設(shè)置端子組件50后，通過(guò)外嵌成型而對(duì)樹(shù)脂外罩部60進(jìn)行成型。
[0083]壓力檢測(cè)裝置100通過(guò)比如像上述那樣而生產(chǎn)。另外，關(guān)于上述I)?4)的步驟中的一部分的順序，可適當(dāng)替換。
[0084](變形例)
[0085]另外，本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，可以有各種變形。
[0086]在下面給出變形的一個(gè)例子。
[0087]在以上的說(shuō)明中，給出了在第二引線端子51上連接由引線型的陶瓷電容器構(gòu)成的噪音吸收用電容器52的例子，但是并不限于此。作為噪音吸收用電容器，也可將芯片電容器與第二引線端子51連接。
[0088]此外，不僅與第二引線端子51連接，而且還可將噪音吸收用電容器與第一引線端子33連接。在該場(chǎng)合，比如可利用形成于第一樹(shù)脂部32的凹部32b和流體流入部件10的凹部Ilc之間的空間C(參照?qǐng)D1)，在空間C的內(nèi)部設(shè)置與第一引線端子33連接的芯片電容器。如果像這樣形成，則可進(jìn)一步降低外來(lái)噪音。
[0089]另外，在以上的說(shuō)明中，給出了通過(guò)第二引線端子51中的從樹(shù)脂外罩部60向外側(cè)露出的部分與樹(shù)脂外罩部60中的包圍已露出的第二引線端子51的部分構(gòu)成連接部70 (直接耦合部)的例子，但是并不限于此。
[0090]也可采用下述的方式等，其中，使樹(shù)脂外罩部不構(gòu)成直接耦合部，僅僅與第二引線端子51連接的(比如通過(guò)焊接)電線向外部露出，不將檢測(cè)信號(hào)從該電線而供給到外部。
[0091]此外，本發(fā)明并不受到以上的實(shí)施方式和附圖的限定。可在不改變本發(fā)明的實(shí)質(zhì)的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)馗淖?還包括結(jié)構(gòu)部件的刪除)實(shí)施方式和附圖。
[0092]產(chǎn)業(yè)上的利用可能性
[0093]在上述實(shí)施方式中，對(duì)作為適用例子的車輛用等的壓力檢測(cè)裝置為例而進(jìn)行了說(shuō)明，但是并不限于用于車輛，也可用于船舶用或農(nóng)業(yè)用機(jī)械、建筑機(jī)械等的特殊車輛等，另夕卜，顯然在客車以外，可用于各種的壓力檢測(cè)裝置。
[0094]標(biāo)號(hào)的說(shuō)明:
[0095]標(biāo)號(hào)100表示壓力檢測(cè)裝置；
[0096]標(biāo)號(hào)10表示流體流入部件；
[0097]標(biāo)號(hào)13表不流路；
[0098]標(biāo)號(hào)20表半導(dǎo)體式壓力傳感器；
[0099]標(biāo)號(hào)30表不底板組件(第一組件的一個(gè)例子);
[0100]標(biāo)號(hào)31表示環(huán)狀部件；
[0101]標(biāo)號(hào)32表不第一樹(shù)脂部；
[0102]標(biāo)號(hào)33表示第一引線端子；
[0103]標(biāo)號(hào)40表不蓋部；
[0104]標(biāo)號(hào)50表示端子組件(第二組件的一個(gè)例子)；
[0105]標(biāo)號(hào)51表示第二引線端子；
[0106]標(biāo)號(hào)52表不噪音吸收用電容器；
[0107]標(biāo)號(hào)53表示第二樹(shù)脂部；
[0108]標(biāo)號(hào)60表樹(shù)脂外罩部；
[0109]標(biāo)號(hào)70表示連接部；
[0110]符號(hào)B表示壓力基準(zhǔn)室(密閉空間)；
[0111]符號(hào)C表示空間。
【權(quán)利要求】
1.一種壓力檢測(cè)裝置，其特征在于，該壓力檢測(cè)裝置包括: 流體流入部件，該流體流入部件具有能流入流體的流路； 半導(dǎo)體式壓力傳感器，該半導(dǎo)體式壓力傳感器設(shè)置于該流體流入部件的上面，檢測(cè)流入上述流路中的流體壓力； 第一組件，該第一組件設(shè)置于上述流體流入部件的上面，具有第一樹(shù)脂部和第一引線端子，該第一樹(shù)脂部包圍上述半導(dǎo)體式壓力傳感器，該第一引線端子保持于該第一樹(shù)脂部上，其一端部與上述半導(dǎo)體式壓力傳感器電連接； 蓋部，該蓋部按照從上側(cè)覆蓋上述半導(dǎo)體式壓力傳感器的方式與上述第一樹(shù)脂部結(jié)合、形成密閉空間，上述半導(dǎo)體式壓力傳感器位于該密閉空間的內(nèi)部； 第二組件，該第二組件具有第二樹(shù)脂部與第二引線端子，該第二樹(shù)脂部從上側(cè)覆蓋上述蓋部，該第二引線端子保持于該第二樹(shù)脂部上，與上述第一引線端子的另一端部電連接; 樹(shù)脂外罩部，該樹(shù)脂外罩部將上述流體流入部件、上述第一組件、上述蓋部以及上述第二組件結(jié)合，覆蓋上述第一組件、上述蓋部以及上述第二組件，其中，上述第二組件中的上述第二引線端子的一部分向外部露出； 上述蓋部與上述第一樹(shù)脂部結(jié)合，并且被上述樹(shù)脂外罩部從上側(cè)按壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于，上述第一引線端子通過(guò)與上述第一樹(shù)脂部一體地成型，被保持于上述第一樹(shù)脂部上； 上述第二引線端子通過(guò)與上述第二樹(shù)脂部一體地成型，被保持于上述第二樹(shù)脂部上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于，在上述第一引線端子和/或上述第二引線端子上連接噪音吸收用電容器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任何一項(xiàng)所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于，上述第一引線端子和上述第二引線端子通過(guò)焊接而電連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1?4中任何一項(xiàng)所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于，上述蓋部由樹(shù)脂材料構(gòu)成，通過(guò)激光焊接而與上述第一樹(shù)脂部結(jié)合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?5中任何一項(xiàng)所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于，從上述樹(shù)脂外罩部露出的上述第二引線端子的一部分與上述樹(shù)脂外罩部的一部分形成連接部。
7.一種壓力檢測(cè)裝置的生產(chǎn)方法，其特征在于，該方法包括下述的步驟: 在具有能流入流體的流路的流體流入部件的上面，設(shè)置半導(dǎo)體式壓力傳感器，該半導(dǎo)體式壓力傳感器檢測(cè)流入到上述流路中的流體壓力； 在上述流體流入部件的上側(cè)設(shè)置第一組件，該第一組件具有第一樹(shù)脂部與第一引線端子，該第一樹(shù)脂部包圍上述半導(dǎo)體式壓力傳感器，該第一引線端子保持于該第一樹(shù)脂部上，其一端部與上述半導(dǎo)體式壓力傳感器電連接； 在上述第一樹(shù)脂部上結(jié)合蓋部，該蓋部從上側(cè)覆蓋上述半導(dǎo)體式壓力傳感器，通過(guò)該蓋部形成密閉空間，上述半導(dǎo)體式壓力傳感器位于該密閉空間的內(nèi)部； 在上述蓋部的上側(cè)設(shè)置第二組件，該第二組件具有第二樹(shù)脂部與第二引線端子，該第二引線端子保持于該第二樹(shù)脂部上，與上述第一引線端子的另一端部電連接； 在設(shè)置上述第二組件后，通過(guò)外嵌成型而對(duì)樹(shù)脂外罩部成型，該樹(shù)脂外罩部將上述流體流入部件、上述第一組件、上述蓋部以及上述第二組件結(jié)合，覆蓋上述第一組件、上述蓋部以及上述第二組件，其中，上述第二組件中的上述第二引線端子的一部分向外部露出。
【文檔編號(hào)】G01L19/14GK104246465SQ201380021746
【公開(kāi)日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2013年4月5日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月25日
【發(fā)明者】佐藤修治, 上村惠宏, 鶴卷桂司, 小出茂樹(shù) 申請(qǐng)人:日本精機(jī)株式會(huì)社